| 研究課題/領域番号 |
15K17450
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
猪股 直生 東北大学, 工学研究科, 助教 (40712823)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2016年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2015年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
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| キーワード | 熱センサ / 酸化バナジウム / MEMS / 機械振動子 |
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| 研究成果の概要 |
VOxの加工方法を確立し，実際にVOxの任意形状機械振動子を作製し，その共振周波数温度係数(TCRF)とQ値を評価した(-1308ppm/K，約500程度)．高感度化に重要な高いTCRFを得るために，Si薄膜による両もち梁の共振熱センサを有するチップ型計測デバイスを作製し，評価した(TCRF:1900ppm/K，熱分解：79uK&1.90nW)．単一褐色脂肪細胞の熱計測にも成功した．また，VOxサーミスタによる熱計測デバイスも作製し，評価した(熱分解能:0.3mK/√Hz)．グルコースとコレステロールによる発熱反応の検知に成功し，各々の濃度分解能は各々30，15uM/√Hzであった．
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