MEMSを用いた可変メタマテリアルによるTHzビームステアリング素子

• 研究課題/領域番号: 15K17452
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: ナノマイクロシステム
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 磯崎 瑛宏 東京大学, 大学院理学系研究科(理学部), 特任研究員 (10732555)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2018-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2017年度)
• 配分額: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円); 2017年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2016年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
• キーワード: MEMS / メタマテリアル / テラヘルツ

研究成果の概要

本研究は、可変マイクロ構造を用いてテラヘルツ光をアクティブに操作する光学素子を新規開発することを目的として行った。これまでの研究の多くが、可変マイクロ構造の光学的応答を調べることに終始していたことに対して、本研究では、実用化へ向けて大面積化の課題抽出やシンプルな駆動方法の基礎検討を進めたことが主な成果である。具体的には、大面積化に向けてマイクロ構造の支持構造を入れたときの悪影響に関して実験・シミュレーションの両面から丁寧に解析を行った。また、シンプルな駆動方法として、音響波による駆動を試みて、実現可能であることを示す結果を得た。

研究成果

• [雑誌論文] 薄膜メタマテリアル実現に向けたフレーム構造のTHz応答解析 (2018)
  • 著者名/発表者名: 磯崎 瑛宏, 菅 哲朗, 高橋 英俊, 松本 潔, 下山 勲
  • 雑誌名: 電気学会論文誌E 巻: 印刷中
  • NAID: 130007386929
  • 査読あり
• [雑誌論文] Out-of-plane Actuation with a Sub-micron Initial Gap for Reconfigurable Terahertz Micro-electro-mechanical Systems Metamaterials (2015)
  • 著者名/発表者名: Akihiro Isozaki, Tetsuo Kan, Hidetoshi Takahashi, Kiyoshi Matsumoto, and Isao Shimoyama
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 23 号: 20 ページ: 26243-26251
  • DOI: 10.1364/oe.23.026243
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [学会発表] 薄膜基板上のテラヘルツMEMSメタマテリアル (2017)
  • 著者名/発表者名: 磯崎 瑛宏
  • 学会等名: COMSOL CONFERENCE 2017 Tokyo
• [学会発表] 自立構造型メタマテリアル (2017)
  • 著者名/発表者名: 磯崎 瑛宏, 菅 哲朗, 高橋 英俊, 松本 潔, 下山 勲
  • 学会等名: 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム