| 研究課題/領域番号 |
15K17485
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
応用物理学一般
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| 研究機関 | 名古屋工業大学 (2016)
同志社大学 (2015) |
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研究代表者 |
高柳 真司 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (00735326)
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| 研究協力者 |
盛 一馬
日山 彰子
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2017-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2016年度)
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| 配分額 *注記 |
4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2016年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2015年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | 圧電デバイス / 酸化亜鉛薄膜 / 弾性波 / 表面波 / 横波型 / 導電率センサ / 粘度センサ |
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| 研究成果の概要 |
横波型弾性波は液体中に音波を漏洩せずに伝搬するため、導電率や粘度などが測定可能である。c軸が基板面に対して平行に配向したZnO膜は横波型弾性波の励振に適している。一方、球表面などに音波を多重周回させることで長距離伝搬が可能となり、液体の特性による音速や振幅の変化を高感度に検出できる。そこで本研究では、c軸平行ZnO膜を用いたプレート型センサにより液体の粘度や導電率の測定手法を検討した。次に、c軸平行ZnO膜を石英パイプ側面に成膜してパイプ型センサを作製し、多重周回波の伝搬特性を測定した。本研究で励振された横波型弾性波の多重周回により、粘度や導電率の高感度計測が期待される。
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