FCC結晶構造に起因する界面強度局所変動の定量評価

• 研究課題/領域番号: 15K17936
• 研究種目: 若手研究(B)
• 配分区分: 基金
• 研究分野: 機械材料・材料力学
• 研究機関: 名古屋工業大学
• 研究代表者: 宍戸 信之 名古屋工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 研究員 (00570235)
• 研究期間 (年度): 2015-04-01 – 2017-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2016年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2016年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円); 2015年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
• キーワード: 信頼性 / 界面強度 / 電子デバイス / ナノテク / 結晶塑性 / 微視組織 / FCC金属 / その場試験 / 異種材界面 / 塑性変形 / 強度 / 単結晶

研究成果の概要

本研究は、半導体配線のようなマイクロ・ナノスケール構造体の界面破壊現象について、その局所強度を支配する主因子の抽出し、配線構造に内在する界面強度の統計的な分布挙動を明らかにすることを狙った。配線金属単結晶材料ならびに単結晶からなる界面構造体の試験評価によって、界面強度がその結晶方位に強く依存することを明らかにし、多結晶金属配線構造における強度変動を予測可能にする知見を得た。

研究成果

• [雑誌論文] Investigation of continuous deformation behavior around initial yield point of single crystal copper by using micro scale torsion test (2016)
  • 著者名/発表者名: Kozo Koiwa, Nobuyuki Shishido, Chuantong Chen, Masaki Omiya, Shoji Kamiya, Hisashi Sato, Masahiro Nishida, Takashi Suzuki, Tomoji Nakamura, Toshiaki Suzuki, Takeshi Nokuo
  • 雑誌名: Scripta Materialia 巻: 111 ページ: 94-97
  • DOI: 10.1016/j.scriptamat.2015.08.022
  • 査読あり
• [学会発表] Possible strategy toward a design scheme to avoid catastrophic failure in interconnect structures under chip package interaction (2016)
  • 著者名/発表者名: Shoji Kamiya, Masaki Omiya, Nobuyuki Shishido, Tomoji Nakamura
  • 学会等名: 14th International conference on reliability and stress-related phenomena in nano electronics
  • 発表場所: Bad Schandau, Germany
  • 年月日: 2016-05-30
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] 微小な単結晶銅ねじり試験における初期降伏の寸法効果 (2015)
  • 著者名/発表者名: 横山孝幸、宍戸信之、小岩康三、神谷庄司、佐藤尚
  • 学会等名: 日本機械学会第７回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
  • 発表場所: 新潟、朱鷺メッセ
  • 年月日: 2015-10-28
• [学会発表] 応力勾配下の転位挙動観察を目的とした単結晶銅ねじり試験の試み (2015)
  • 著者名/発表者名: 横山孝幸、宍戸信之、小岩康三、神谷庄司、佐藤尚、大宮正毅、中村友二、鈴木貴志、野久尾毅、鈴木俊明
  • 学会等名: 日本機械学会2015年度年次大会
  • 発表場所: 北海道、北海道大学
  • 年月日: 2015-09-13
• [学会発表] Microscale torsion test to investigate initial yielding phenomena of a single crystal copper (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Yokoyama, N. Shishido, K. Koiwa, S. Kamiya, H. Sato, M. Omiya, T. Nokuo, T. Suzuki
  • 学会等名: Microscopy and Microanalysis
  • 発表場所: Portland OR, USA
  • 年月日: 2015-08-02
  • 国際学会