| 研究課題/領域番号 |
15K17989
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| 研究種目 |
若手研究(B)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 研究分野 |
熱工学
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
福永 鷹信 九州大学, 工学研究院, 技術職員 (60591196)
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| 研究期間 (年度) |
2015-04-01 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2017年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2016年度: 390千円 (直接経費: 300千円、間接経費: 90千円)
2015年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
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| キーワード | 水素検知器 / MEMSセンサ / 白金薄膜 / デバイス開発 / 水素センサ / 常温駆動形 / MEMS / 水素漏洩検知器 |
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| 研究成果の概要 |
本研究は，金属薄膜の電気的・熱的特性に及ぼす水素の影響を定量的に明らかにするとともに，その結果に基づいて水素センサの開発の可能性を検討した．精密な暴露実験を行うための水素ガス暴露用真空容器とガス供給システムを設計製作した．白金薄膜で作られたMEMSセンサを用いて，その電気的・熱的特性に及ぼす水素ガスへの暴露時間，ガス圧力，センサ温度等の影響を調べた．その結果，白金薄膜の電気抵抗値は水素暴露により3%低下し，その後ガスを加圧しても1.0MPaまでは一定の値を示した．さらに，電気抵抗値の低下は不可逆であることが示された．
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