| 研究課題/領域番号 |
16078206
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| 研究種目 |
特定領域研究
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
岩附 信行 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 教授 (70193753)
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| 研究分担者 |
森川 広一 東京工業大学, 大学院・理工学研究科, 助教 (00282830)
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| 研究期間 (年度) |
2004 – 2008
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| 研究課題ステータス |
完了 (2008年度)
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| 配分額 *注記 |
48,600千円 (直接経費: 48,600千円)
2008年度: 6,400千円 (直接経費: 6,400千円)
2007年度: 6,200千円 (直接経費: 6,200千円)
2006年度: 12,300千円 (直接経費: 12,300千円)
2005年度: 9,100千円 (直接経費: 9,100千円)
2004年度: 14,600千円 (直接経費: 14,600千円)
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| キーワード | 圧電アクチュエータ / マイクロアクチュエータ / マイクロマシン / 知能機械 / 運動制御 / 群の制御 / 共振駆動 / 繊毛アクチュエータ群 / 水熱合成法 / パイプモルフアクチュエータ / 静電植毛法 / ニッケルめっき / はんだぬれ性 / 繊毛運動 / アクチュエータ群 / ニッケルメッキ / パルプモルフアクチュエータ / 電極形成 |
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| 研究概要 |
実用的なマイクロ/ナノマシンに利用可能な人工のマイクロ繊毛アクチュエータ群の開発を目的とし, はんだ付け静電植毛法と電気ニッケルめっきによるチタン製内部電極群の配向整列接合, 水熱合成法による圧電セラミクス薄膜形成, マスキング利用真空蒸着法による選択的外部電極形成の主要製造プロセスを明らかにしてマイクロ繊毛アクチュエータ群の試作に成功し, 駆動実験を行って, アクチュエータの共振駆動ならびにマイクロ搬送機に適用し, 6mm四方の微小シートの搬送に成功した.
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