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長尺・高密度カーボンナノチューブ作製技術の開拓とナノデバイス応用

研究課題

研究課題/領域番号 16206004
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関大阪大学

研究代表者

尾浦 憲治郎  大阪大学, 超高圧電子顕微鏡センター, 特任教授 (60029288)

研究分担者 片山 光浩  大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授 (70185817)
本多 信一  大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手 (90324821)
大門 秀朗  九州工業大学, 工学研究科, 助教授 (20324816)
研究期間 (年度) 2004 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
50,310千円 (直接経費: 38,700千円、間接経費: 11,610千円)
2005年度: 10,530千円 (直接経費: 8,100千円、間接経費: 2,430千円)
2004年度: 39,780千円 (直接経費: 30,600千円、間接経費: 9,180千円)
キーワードナノチューブ・フラーレン / 電子・電気材料 / マイクロ・ナノデバイス / 電気化学デバイス / センサー / カーボンナノチューブ / 長尺 / 高密度 / 成長制御 / 触媒金属微粒子 / 電気二重層キャパシター / 冷電子エミッター
研究概要

カーボンナノチューブ(CNT)は、様々なデバイスへの応用が期待されている魅力的な材料である。例えば、スーパーキャパシタなどの電気化学デバイスや、生体分子や有機分子を超高感度で検知可能な多機能生化学センサーに応用することが考えられている。このようなデバイス応用を進める際に、デバイスの機能に応じてCNTの形状を任意に制御できる技術を確立することが必要となる。
一般に、CNT合成に化学気相蒸着法(CVD)が用いられており、長尺のCNTを作製するのには熱CVD法が有効であり、一方、垂直配向CNTを作製するのにはプラズマCVD法が有効である。しかし、長さと配向性の両方を精密に制御できるCVD法は、確立されていないのが現状である。また、従来、CNTの密度は高くて10^8〜10^9/cm^2であり、10^<10>/cm^2以上の高密度のCNTを作製する技術は確立されていない。しかし、デバイス応用を考えるうえで高密度化が必要であり、例えば、CNTの生化学センサー応用では、センシング部の表面積を大きくすることで高い感度が実現できる。このように、CNTの長尺・高密度化は、センシングや電気化学反応にかかわる有効表面積を飛躍的に向上させるうえで重要となる。
そこで、本研究では、電気化学デバイス・多機能生化学センサー応用のためのCNT形態制御技術として、長尺・高密度カーボンナノチューブを作製する技術を開拓し、この技術にもとづいて長尺・高密度CNTを用いたナノデバイスを開発することを目的とした。
特筆すべき結果は、長尺・高密度CNTを電極材料に用いた電気化学デバイスの一つである電気二重層キャパシタの試作に成功し、充放電特性を調べた結果、1万サイクル試験後も特性の劣化が見られず、優れた特性を示した。

報告書

(3件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (18件)

すべて 2006 2005 2004

すべて 雑誌論文 (18件)

  • [雑誌論文] Carbon Nanostructures Grown on Graphite Substrates without Catalyst by Pulsed Laser Deposition2006

    • 著者名/発表者名
      K.Oura 他4名
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45・part1

      ページ: 3690-3692

    • NAID

      40007227528

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Low-Temperature Synthesis of Aligned Carbon Nanofibers on Glass Substrates by Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition2006

    • 著者名/発表者名
      K.Oura 他5名
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys. 45(印刷中)

    • NAID

      10018149655

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Carbon Nanostructures Grown on Graphite Substrates without Catalyst by Pulsed Laser Deposition2006

    • 著者名/発表者名
      T.Ikuno, S.Honda, K.Aoki, K.Oura, M.Katayama
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45, Part 1, No.4A

      ページ: 2872-2874

    • NAID

      40007227528

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Low-Temperature Synthesis of Aligned Carbon Nanofibers on Glass Substrates by Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition2006

    • 著者名/発表者名
      S.Honda, K.-Y.Lee, K.Aoki, T.Hirao, K.Oura, M.Katayama
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45, Part 1 (in press)

    • NAID

      10018149655

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Carbon Nanostructures Grown on Graphite Substrates without Catalyst by Pulsed Laser Deposition2006

    • 著者名/発表者名
      K.Oura他4名
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45(印刷中)

    • NAID

      40007227528

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Low-Temperature Synthesis of Aligned Carbon Nanofibers on Glass Substrates by Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition2006

    • 著者名/発表者名
      K.Oura他5名
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 45(印刷中)

    • NAID

      10018149655

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 誘導結合RFプラズマCVD法によるカーボンナノチューブ配向成長2005

    • 著者名/発表者名
      尾浦 他2名
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌 81・No.9

      ページ: 660-664

    • NAID

      110006281969

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Synthesis of Aligned Carbon Nanotubes by Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition2005

    • 著者名/発表者名
      S.Honda, K.Oura, M.Katayama
    • 雑誌名

      J.Plasma Fusion Res. (in Japanese) 81, No.9

      ページ: 660-664

    • NAID

      110006281969

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 誘導結合RFプラズマDVD法によるカーボンナノチューブ配向成長2005

    • 著者名/発表者名
      尾浦他2名
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌 81・No.9

      ページ: 660-664

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Ultra-low-threshold field electron emission from pillar array of aligned carbon nanotube bundles2004

    • 著者名/発表者名
      Kenjiro Oura 他4名
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.43,No.6B

    • NAID

      10013161271

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Synthesis of conical Si array Si(100) for a field electron emitter by plasma-enhanced chemical vapor deposition2004

    • 著者名/発表者名
      Kenjiro Oura 他8名
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 464-465

      ページ: 194-198

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Synthesis of randomly oriented carbon nanotubes on SiO_2 substrates by thermal chemical vapor deposition toward field electron emitters2004

    • 著者名/発表者名
      Kenjiro Oura 他10名
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 464-465

      ページ: 290-294

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Synthesis of Nanostructured Hybrid between Carbon Nanotube and Inorganic Material towards Nanodevice Application2004

    • 著者名/発表者名
      Kenjiro Oura 他6名
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 2

      ページ: 244-255

    • NAID

      130004438924

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Ultra-Low-Threshold Field Electron Emission from Pillar Array of Aligned Carbon Nanotube Bundles2004

    • 著者名/発表者名
      M.Katayama, K.-Y.Lee, S.Honda, T.Hirao, K.Oura
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys. 43, Part 2, No.6B, Express Letter

    • NAID

      10013161271

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Synthesis of Conical Si Array on Si(100) for a Field Electron Emitter by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2004

    • 著者名/発表者名
      K.-Y.Lee, S.Honda, M.Katayama, T.Kuzuoka, Y.-G.Baek, S.Ohkura, K.Aoki, T.Hirao, K.Oura
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 464-465

      ページ: 194-198

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Synthesis of Randomly Oriented Carbon Nanotubes on SiO_2 Substrates by Thermal Chemical Vapor Deposition towards Field Electron Emitters2004

    • 著者名/発表者名
      S.Honda, Y.-G.Beak, K.-Y.Lee, T.Ikuno, T.Kuzuoka, J.-T.Ryu, S.Ohkura, M.Katayama, K.Aoki, T.Hirao, K.Oura
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 464-465

      ページ: 290-294

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Synthesis of Nanostructured Hybrid between Carbon Nanotube and Inorganic Material towards Nanodevice Application2004

    • 著者名/発表者名
      M.Katayama, S.Honda, T.Ikuno, K.-Y.Lee, M.Kishida, Y.Murata, K.Oura
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 2

      ページ: 244-255

    • NAID

      130004438924

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Synthesis of conical Si array on Si(100) for a field electron emitter by plasma-enhanced chemical vapor deposition2004

    • 著者名/発表者名
      Kenjiro Oura 他8名
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 464-465

      ページ: 194-198

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書

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公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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