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ナノポジショニングによるナノ・メガシステムの強度物性ゆらぎマップ測定システム

研究課題

研究課題/領域番号 16206013
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関東北大学

研究代表者

三浦 英生  東北大学, 大学院工学研究科, 教授 (90361112)

研究分担者 高 偉  東北大学, 大学院工学研究科, 助教授 (70270816)
小川 和洋  東北大学, 大学院工学研究科, 助教授 (50312616)
笹川 和彦  弘前大学, 理工学部, 助教授 (50250676)
岩崎 富生  (株)日立製作所, 機械研究科, 主任研究員(研究職)
研究期間 (年度) 2004 – 2006
研究課題ステータス 完了 (2006年度)
配分額 *注記
50,310千円 (直接経費: 38,700千円、間接経費: 11,610千円)
2006年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2005年度: 19,240千円 (直接経費: 14,800千円、間接経費: 4,440千円)
2004年度: 28,470千円 (直接経費: 21,900千円、間接経費: 6,570千円)
キーワードナノ強度物性 / 信頼性 / 薄膜 / 原子構造解析 / ナノインデンテーション / 半導体 / ナノ計測 / ナノポジショニング / 強度物性
研究概要

本研究は,ナノテクノロジーを基盤技術として開発するナノ・メガシステムを対象とし,これらの信頼性を支配するナノメートルオーダーの材料強度物性のゆらぎ分布を測定する技術を開発することを目的としている.
独自に開発したナノ・メガシステムの強度物性ゆらぎマップ測定システムを活用し,次世代半導体用微細薄膜配線材料,高誘電率薄膜材料,次世代高温ガスタービン動翼材料等のナノスケール結晶構造,組織変化に基づく各種物性変動メカニズムの解明研究を推進した.その結果,薄膜配線材料においては,ナノスケールの柱状組織が形成されることで,機械特性(弾性率や破壊強度等)に強い三次元異方性が発現するとともに,ナノスケールで複雑な三次元分布が形成されることを実証した.また,高誘電率薄膜材料においては,原子レベルでの欠損に基づき、局所的な著しいバンドギャップ低減が発生し,絶縁特性の低下とともに,点欠陥の拡散に基づく大きな経時変化が生じることを解析的に明らかにした.これらの解析結果を,(財)高輝度光科学研究センター(SPring-8)内の光電子分光分析設備を活用して実証した.さらに,次世代高温ガスタービン向け耐熱合金において,高温高応力負荷環境でナノスケールの微細分散組織が構成原子の応力起因の異方的拡散挙動に起因して粗大化層状化し,急激に高温強度が劣化する現象の大気中可視化を実現し,その劣化損傷メカニズムを明らかにした.
以上の研究から,本研究の当初目標であった,「ナノメートルオーダーの分解能(位置再現分解能:20nm)で測定対象領域を特定し,最小位置分解能100nm以下で材料表面の強度物性(弾性率,硬度,降伏応力,残留応力,界面接着強度等)のゆらぎ分布マップを,最小変位分解能0.2pm,荷重分解能1nN単位で測定する技術」を完成するとともに,その有用性を実証した.

報告書

(4件)
  • 2006 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2005 実績報告書
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (59件)

すべて 2007 2006 2005 2004

すべて 雑誌論文 (52件) 図書 (4件) 産業財産権 (3件)

  • [雑誌論文] 銅めっき薄膜機械特性の微細組織依存性2007

    • 著者名/発表者名
      玉川 欣治
    • 雑誌名

      材料(Journal of the Society of Materials Science, Japan) 56・11(印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of Evaluation Method for Estimating Stress-Induced Change in Drain Current in Deep- sub-micron MOSFETs2007

    • 著者名/発表者名
      Yukihiro Kumagai
    • 雑誌名

      Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering 1・1

      ページ: 93-101

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 三次元フリップチップ実装構造における薄化チップの局所変形と残留応力2007

    • 著者名/発表者名
      三浦 英生
    • 雑誌名

      (社)電子情報通信学会 信学技報 CPM2006-140

      ページ: 67-72

    • NAID

      110006202417

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Micro-texture dependence of mechanical properties of electroplated copper thin films2007

    • 著者名/発表者名
      Kinji Tamakawa
    • 雑誌名

      Journal of the Society of Materials Science, Japan vol.56, No.11(In print)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of Evaluation Method for Estimating Stress-Induced Change in Drain Current in Deep-sub-micron MOSFETs2007

    • 著者名/発表者名
      Yukihiro Kumagai
    • 雑誌名

      Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering Vol.1, No.1

      ページ: 93-101

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Local Deformation and Residual Stress of Thinned Stacked Silicon Chip Mounted Using Flip Chip Technology2007

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 雑誌名

      IEICE Technical Report Vol.CPM2006-140

      ページ: 67-72

    • NAID

      110006202417

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 三次元フリッブチッブ実装構造における薄化チップの局所変形と残留応力2007

    • 著者名/発表者名
      三浦英生
    • 雑誌名

      (社)電子情報通信学会 信学技報 CPM2006-140

      ページ: 67-72

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] ナノスケールの材料力学2006

    • 著者名/発表者名
      三浦 英生
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集A編 72・717

      ページ: 595-601

    • NAID

      110004731569

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Influence of Intrinsic Defects and Strain on Electronic Reliability of Gate Oxide films2006

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki
    • 雑誌名

      2006MRS (Materials Research Society) Spring Meeting 917E・E05-28(CDROM)

      ページ: 1-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quantum chemical molecular dynamics analysis of the effect of oxygen vacancies and strain on dielectric characteristic of HfO_2-x films2006

    • 著者名/発表者名
      Yuta Ito
    • 雑誌名

      2006 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices 1

      ページ: 150-153

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] フリップ実装構造における微小バンプ接続部の非破壊検査法の提案2006

    • 著者名/発表者名
      佐藤 祐規
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C J89-C・11

      ページ: 778-785

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Residual Stress Distribution in Stacked LSI Chips Mounted by Flip Chip Technology2006

    • 著者名/発表者名
      Nobuki Ueta
    • 雑誌名

      IEEE International Conference on Electronic Materials and Packaging

      ページ: 158-163

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fluctuation mechanism of Mechanical Properties of Electroplated Copper Thin Films Used for Three-Dimensional Electronic Modules2006

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 雑誌名

      Asian Pacific Conference on Fracture and Strength of Materials (CDROM)

      ページ: 1-4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] エレクトロニクス実装構造信頼性の分析・計測技術2006

    • 著者名/発表者名
      三浦 英生
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌 9・3

      ページ: 152-156

    • NAID

      110004724977

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Mechanics and Materials in Nano-Scale2006

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 雑誌名

      Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Vol.72, No.717A

      ページ: 595-601

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Influence of Intrinsic Defects and Strain on Electronic Reliability of Gate Oxide films2006

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki
    • 雑誌名

      2006 MRS (Materials Research Society) Spring Meeting Vol.917E, No.E05-28(CDROM)

      ページ: 1-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quantum chemical molecular dynamics analysis of the effect of oxygen vacancies and strain on dielectric characteristic of HfO_<2-X> films2006

    • 著者名/発表者名
      Yuta Ito
    • 雑誌名

      2006 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices

      ページ: 150-153

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Proposal of a Non-destructive Inspection Method for Micro Bump Joints in Flip Chip Structures2006

    • 著者名/発表者名
      Yuki Sato
    • 雑誌名

      The IEICE Transactions on Electronics Vol.J89-C, No.11

      ページ: 778-785

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Experimental Methods for Reliability Evaluation of Electronic Packages and Modules2006

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura
    • 雑誌名

      Journal of Japan Institute of Electronics Packaging Vol.9, No.3

      ページ: 152-156

    • NAID

      110004724977

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ナノスケールの材料力学2006

    • 著者名/発表者名
      三浦 英生
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集 72・717A

      ページ: 595-601

    • NAID

      110004731569

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Quantum Chemical Molecular Dynamics Analysis of the Effect of Oxygen Vacancies and Strain on Dielectric Characteristic of HfO2-x Films2006

    • 著者名/発表者名
      Yuta Ito
    • 雑誌名

      IEEE Int. Conf. on Simulation of Semiconductor Processes and Devices

      ページ: 150-153

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] フリップ実装構造におけるSiチップ内の局所残留応力評価2005

    • 著者名/発表者名
      上田 啓貴
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌C J88-C・11

      ページ: 859-865

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Verification of Prediction Method for Electromigration Failure Using Angled Polycrystalline Line2005

    • 著者名/発表者名
      S.Uno
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 297-300

      ページ: 263-268

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成2005

    • 著者名/発表者名
      田野 誠
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集C編 71・712

      ページ: 3602-3607

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of oxide film formed on austenitic stainless steel by in-situ Micro Raman Spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      A.Kai
    • 雑誌名

      KEY ENGINEERING MATERIALS 297-300

      ページ: 2806-2812

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Molecular-Dynamics Study of Interfacial Diffusion between High-permittivity Gate Dielectrics and Germanium Substrates2005

    • 著者名/発表者名
      Tomio Iwasaki
    • 雑誌名

      Journal of Materials Research 20・5

      ページ: 1300-1307

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Quantum Chemical Molecular Dynamics Analysis of the Effect of Intrinsic Defects and Strain on Dielectric Characteristic of Gate Oxide Films2005

    • 著者名/発表者名
      Ken Suzuki
    • 雑誌名

      2005 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices

      ページ: 327-330

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] NON-DESTRUCTIVE INSPECTION METHOD FOR DETECTIONG OPEN FAILURES IN FLIP CHIP STRUCTURES2005

    • 著者名/発表者名
      Yuhki Sato
    • 雑誌名

      ASME Summer Heat Transfer Conference & InterPACK'05 IPACK2005-73109(CDROM)

      ページ: 1-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Local Residual Stress in a Si Chip Mounted by Flip Chip Technology2005

    • 著者名/発表者名
      Nobuki Ueta
    • 雑誌名

      The IEICE Transactions on Electronics Vol.J88-C, No.11

      ページ: 859-865

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Verification of Prediction Method for Electromigration Failure Using Angled Polycrystalline Line2005

    • 著者名/発表者名
      S.Uno
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vols.297-300

      ページ: 263-268

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] High-accuracy Fabrication of a Sinusoidal Grid surface Over a Large Area by Fast Tool Servo2005

    • 著者名/発表者名
      Makoto Tano
    • 雑誌名

      Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers Vol.71, No.712C

      ページ: 3602-3607

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of oxide film formed on austenitic stainless steel by in-situ Micro Raman Spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      Akira Kai
    • 雑誌名

      KEY ENGINEERING MATERIALS Vols.297-300

      ページ: 2806-2812

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Molecular-Dynamics Study of Interfacial Diffusion between High-permittivity Gate Dielectrics and Germanium Substrates2005

    • 著者名/発表者名
      Tomio Iwasaki
    • 雑誌名

      Journal of Materials Research Vol.20, No.5

      ページ: 1300-1307

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] NON-DESTRUCTIVE INSPECTION METHOD FOR DETECTIONG OPEN FAILURES IN FLIP CHIP STRUCTURES2005

    • 著者名/発表者名
      Yuhki Sato
    • 雑誌名

      ASME Summer Heat Transfer Conference & InterPACK'05 No.IPACK2005-73109(CDROM)

      ページ: 1-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] フリップチップ実装におけるSiチップ内の局所残留応力評価2005

    • 著者名/発表者名
      上田 啓貴, 三浦 英生
    • 雑誌名

      電子情報通信学会論文誌 Vol.J88-C, No.11

      ページ: 859-865

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Local Thermal Deformation and Residual Stress of a Thin Si Chip Mounted on a Substrate Using An Area-Arrayed Flip Chip Structure2005

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura, Nobuki Ueta, Yuhki Sato
    • 雑誌名

      2005 International Symposium on Electronics Materials and Packaging

      ページ: 220-225

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Verification of Prediction Method for Electromigration Failure Using Angled Polycrystalline Line2005

    • 著者名/発表者名
      S.Uno, M.Hasegawa, K.Sasagawa, M.Saka
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vol.297-300

      ページ: 263-268

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成2005

    • 著者名/発表者名
      田野 誠, 高 偉, 荒木 武, 清野 慧
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集(C) Vol.71,No.712

      ページ: 3602-3607

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Characterization of oxide film formed on austenitic stainless steel by in-situ Micro Raman Spectroscopy2005

    • 著者名/発表者名
      A.Kai, Y.Terayama, K.Ogawa, T.Shoji
    • 雑誌名

      KEY ENGINEERING MATERIALS Vols.297-300

      ページ: 2806-2812

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Molecular-Dynamics Study of Interfacial Diffusion between High-permittivity Gate Dielectrics and Germanium Substrates2005

    • 著者名/発表者名
      Tomio Iwasaki
    • 雑誌名

      Journal of Materials Research Vol.20,NO.5

      ページ: 1300-1307

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Measurement of Local Residual Stress of a Flip Chip Structure Using a Stress Sensing Chip2005

    • 著者名/発表者名
      N.Ueta
    • 雑誌名

      Proceedings of ASME InterPACK'05 (CD-ROM)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Derivation of Film Characteristic Constants of Polycrystalline Line for Reliability Evaluation against Electromigration Failure2005

    • 著者名/発表者名
      M.Hasegawa
    • 雑誌名

      Mechanics of Materials (発表予定)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] A Surface Motor-Driven Planar Motion Stage Integrated with an XY□ Surface Encoder for Precision Positioning2004

    • 著者名/発表者名
      W.Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering 28・3

      ページ: 329-337

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Molecular-dynamics analysis of interfacial diffusion between high-permitivity gate dielectrics and silicon substrate2004

    • 著者名/発表者名
      T.Iwasaki
    • 雑誌名

      Journal of Materials Research 19・4

      ページ: 1197-1202

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Effect of Cerium and Silicon Additions to MCrAIY on the High-Temperature Oxidation Behavior and Bond Strength of Thermal Barrier Coatings2004

    • 著者名/発表者名
      M.Tanno
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 261-263

      ページ: 1061-1066

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Mechanical Reliability Issues of LSI Chips in Multi Devices Sub-assembly (MDS) Structures2004

    • 著者名/発表者名
      H.Miura
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 ASME International Mechanical Engineering Congress and RD&D Expo IMECE-6250(CDROM)

      ページ: 1-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Surface Motor-Driven Planar Motion Stage Integrated with an XY□ Surface Encoder for Precision Positioning2004

    • 著者名/発表者名
      W.Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering Vol.28, No.3

      ページ: 329-337

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Molecular-dynamics analysis of interfacial diffusion between high-permitivity gate dielectrics and silicon substrate2004

    • 著者名/発表者名
      T.Iwasaki
    • 雑誌名

      Journal of Materials Research Vol.19, No.4

      ページ: 1197-1202

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Effect of Cerium and Silicon Additions to MCrAlY on the High-Temperature Oxidation Behavior and Bond Strength of Thermal Barrier Coatings2004

    • 著者名/発表者名
      M.Tanno
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials Vols.261-263

      ページ: 1061-1066

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Mechanical Reliability Issues of LSI Chips in Multi Devices Sub-assembly (MDS) Structures2004

    • 著者名/発表者名
      H.Miura
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 ASME International Mechanical Engineering Congress and RD&D Expo No.IMECE-62500(CDROM)

      ページ: 1-6

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Mechanical Reliability Issues of LSI Chips in Multi Devices Sub-assembly (MDS) Structures2004

    • 著者名/発表者名
      H.Miura
    • 雑誌名

      Proceedings of 2004 ASME International Mechanical Engineering Congress and RD&D Expo (CD-ROM)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] A Surface Motor-Driven Planar Motion Stage Integrated with an XYθ Surface Encoder for Precision Positioning2004

    • 著者名/発表者名
      W.Gao
    • 雑誌名

      Precision Engineering 28-3

      ページ: 329-337

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [図書] 機械工学便覧 デザイン編β2 材料学・工業材料2006

    • 著者名/発表者名
      三浦 英生, 他76名
    • 総ページ数
      285
    • 出版者
      丸善株式会社
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [図書] 最新シリコンデバイスと結晶技術 -先端LSIが要求するウエーハ技術の現状-2005

    • 著者名/発表者名
      三浦 英生, 他27名
    • 総ページ数
      330
    • 出版者
      REALIZE Science & Engineering
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [図書] Advanced Technology for Silicon Devices and Crystal Growth2005

    • 著者名/発表者名
      Hideo Miura, et al.
    • 総ページ数
      330
    • 出版者
      REALIZE Science and Engineering
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [図書] 最新シリコンデバイスと結晶技術-先端LSIが要求するウェーハ技術の現状-2005

    • 著者名/発表者名
      三浦 英生, 他27名
    • 総ページ数
      330
    • 出版者
      REALIZE Science & Engineering
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [産業財産権] Semiconductor Device and Process for Producing The Same2005

    • 発明者名
      N. Ishi-tsuka, H. Miura, S. Ikeda
    • 権利者名
      Renesas Technology Corp.
    • 出願年月日
      2005-04-19
    • 取得年月日
      2005-09-08
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] Semiconductor Device and Process for Producing The Same2005

    • 発明者名
      N.Ishitsuka, H.Miura, S.Ikeda, et al.
    • 権利者名
      Renesas Technology Corp.
    • 出願年月日
      2005-04-19
    • 取得年月日
      2005-09-08
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [産業財産権] 半導体装置およびその製造方法2004

    • 発明者名
      岩崎富生, 三浦英生, 石塚典男
    • 権利者名
      ルネサステクノロジー(株)
    • 出願年月日
      2004-07-30
    • 取得年月日
      2006-11-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要

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公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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