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次世代生産システムにおける三次元計測を中心とした測定の不確かさの研究

研究課題

研究課題/領域番号 16206025
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関東京大学

研究代表者

高増 潔  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (70154896)

研究分担者 高橋 哲  東京大学, 大学院・工学系・研究科, 准教授 (30283724)
古谷 涼秋  東京電機大学, 工学部, 教授 (50219119)
研究期間 (年度) 2004 – 2007
研究課題ステータス 完了 (2007年度)
配分額 *注記
26,780千円 (直接経費: 20,600千円、間接経費: 6,180千円)
2007年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円)
2006年度: 6,370千円 (直接経費: 4,900千円、間接経費: 1,470千円)
2005年度: 6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
2004年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
キーワード測定の不確かさ / 三次元測定機 / 座標測定 / 精度評価 / 次世代生産システム / 校正 / 不確かさ / 三次元計測 / ナノメートル計測
研究概要

1.幾何公差を中心とした製品の寸法及び幾何特性仕様及び検証
GPS(Geometrical Product Specification)は,自動車関係を含む機械産業を中心とした生産システムにおいて曖昧さをなくし,数学的にきちんと定義された表現を設計,加工,測定を通じて行うことを目指している.GPSの普及が次世代生産システムおよびそのグローバリゼーションでキーとなる技術である.この中で,以下の3つの点が重要な技術となることを明確化した.
(1)三次元座標測定機:数学的な取り扱いが容易で三次元的な形状を測定する
(2)不確かさ評価:三次元座標測定機を含めた測定とその測定結果における測定の不確かさ評価
(3)実際の現場環境への適応方法
2.三次元座標計測における測定の不確かさの重要性の評価
GUM(計測の不確かさの表現のガイド)が発行されたこともあり,計測における測定の不確かさの評価は国際的に非常に重要になってきている.座標計測では,複雑な三次元形状の座標,位置,寸法の測定が可能である.しかし,このような測定値の不確かさは,測定点の不確かさおよび測点の位置などにより決定されるため簡単に評価できない.
(1)三次元座標測定機の校正手法を含めて,校正後の三次元座標測定機の不確かさを評価する
(2)形体の形状偏差の影響による不確かさについて,直線形体を対象として区分多項式により形体を表現した場合の形状偏差モデルを構築した

報告書

(5件)
  • 2007 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2006 実績報告書
  • 2005 実績報告書
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (86件)

すべて 2008 2007 2006 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文 (42件) (うち査読あり 20件) 学会発表 (36件) 図書 (5件) 備考 (2件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Uncertainty Estimation Using Monte-Carlo Method Constrained by Correlations of the Data2008

    • 著者名/発表者名
      M. Nara, M. Abbe, K. Takamasu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 381-382

      ページ: 587-590

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on Scanning Squareness Measurement Method and Uncertainty Estimation2008

    • 著者名/発表者名
      X. Chen, K. Takamasu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 381-382

      ページ: 569-572

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Intelligent Profile Measurement for Wide-Area Resist Surface Using Multi-Sensor AFM System2008

    • 著者名/発表者名
      S. Liu, K. Watanabe, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 381-382

      ページ: 407-410

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Postural-induced phase shift of respiratory sinus arrhythmia and blood pressure variations: insight from respiratory-phase domain analysis2008

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Kotani, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiko Jimbo, Yoshiharu Yamamoto
    • 雑誌名

      American Journal of Physiology-Heart and Circulatory Physiology 294

      ページ: 1481-1489

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evanescent light photopolymerization and measurement of cure depth in nanostereolithography2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kajihara, Y. Inazuki, T. Takeuchi, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 92

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Postural-induced phase shift of respiratory sinus arrhythmia and blood pressure variations : insight from respiratory-phase domain analysis2008

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Kotani, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiko Jimbo, Yoshiharu Yamamoto
    • 雑誌名

      American Journal of Physiology-Heart and Circulatory Physiology 294

      ページ: 1481-1489

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Uncertainty Estimation Usin Monte-Carlo Method Constrained by Correlations of the Data2008

    • 著者名/発表者名
      M.Nara, M.Abbe K.Takamasu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 381-382

      ページ: 587-590

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on Scanning Squareness Measurement Method and Uncertainty Estimation2008

    • 著者名/発表者名
      X.Chen, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Key Enineering Materials 381-382

      ページ: 569-572

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Intelligent Profile Measurement for Wide-Area Resist Surface Using Multi-Sensor AFM System2008

    • 著者名/発表者名
      S.Liu, K.Watanabe, S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Key Emgineering Materials 381-382

      ページ: 407-410

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Postural-induced phase shift of respiratory sinus arrhythmia and blood pressure variations:insight from respiratory-phase domain analysis2008

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Kotani, Kiyoshi Takamasu, Yasuhiko Jimbo, Yoshiharu Yamamoto
    • 雑誌名

      American Journal of Phsiolo-Heart and Circulatory Physiology 294

      ページ: 1481-1489

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evanescent light photopolymerization and measurement of cure depth in nanostereolithography2008

    • 著者名/発表者名
      Y.Kajihara, Y.Inazuki, T.Takeuchi, S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 92

      ページ: 931201-3

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Respiratory-phase Domain Analysis of Heart Rate Variability can Accurately Estimate Cardiac Vagal Activity during a Mental Arithmetic Task2007

    • 著者名/発表者名
      K. Kotani, M. Tachibana, K. Takamasu
    • 雑誌名

      Methods of Information in Medicine 46,3

      ページ: 376-385

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 空間周波数領域2点法に関する研究(第1報)-2組の2点法を組合わせる場合の系統誤差の補2007

    • 著者名/発表者名
      陳欣, 小谷潔, 高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73,6

      ページ: 653-658

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第2報)-直角誤差補正-2007

    • 著者名/発表者名
      大西徹, 高瀬省徳, 高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73,7

      ページ: 818-822

    • NAID

      110006342951

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第2報)-定在エバネッセント光を利用2007

    • 著者名/発表者名
      梶原優介, 稲月友一, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73,8

      ページ: 934-939

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 体動の影響下におけるリアルタイム副交感神経活動推定法の開発とインタラクティブCGの生成2007

    • 著者名/発表者名
      小谷潔, 飯田文明, 赤川智洋, 斉藤
    • 雑誌名

      電気学会論文誌C 127,10

      ページ: 1762-1769

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Study on Spatial Frequency Domain 2-point Method (1st Report)-Calibration of Systematic Error in Case of Combining Two Sets of 2-point Method2007

    • 著者名/発表者名
      Xin CHEN, Kiyoshi KOTANI, Kiyoshi TAKAMASU
    • 雑誌名

      Journal of Japan Society for Precision Engineering 73,6

      ページ: 653-658

    • NAID

      110006278973

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Study on Improvement Methods of CMM (Coordinate Measuring Machine) in Workshop Environment-Correction of Squareness Error2007

    • 著者名/発表者名
      Tohru Ohnishi, Shotoku Takase, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Journal of Japan Society for Precision Engineering 73,7

      ページ: 818-822

    • NAID

      110006342951

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Study on Nano-Stereolithography Using Evanescent Light (2nd report)-Photofabrication of Fine Lattice Structures Using Standing Evanescent Light2007

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Kajihara, Yuichi Inazuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Journal of Japan Society for Precision Engineering 73,8

      ページ: 934-939

    • NAID

      110006368886

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of the Method for Estimating Cardiac Vagal Activity in Real-Time during Body Motion and Generation of the Interactive CG2007

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Kotani, Fumiaki Iida, Tomohiro Akagawa, Takashi Saitoh Yasuhiko Jimbo, Yoichiro Kawaguchi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      IEEJ Trans. EIS 127,10

      ページ: 1762-1769

    • NAID

      10019958910

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Respiratory-phase Domain Analysis of Heart Rate Variability can Accurately Estimate Cardiac Vagal Activity during a Mental Arithmetic Task2007

    • 著者名/発表者名
      K.Kotani, M.Tachibana, K, Takamasu
    • 雑誌名

      Methods of Information in Medicine 46,3

      ページ: 376-385

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 空間周波数領域2点法に関する研究(第1報)-2組の2点法を組合わせる場合の系統誤差の補2007

    • 著者名/発表者名
      陳 欣, 小谷 潔, 高 増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73,6

      ページ: 653-658

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 現場環算における三次元測定機の高度化に関する研究(第2報)一直角誤差補正-2007

    • 著者名/発表者名
      大西 徹, 高瀬 省徳, 高増 潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73,7

      ページ: 818-822

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形疾に関する研究(第2報)一定在エバネッセント光を利用2007

    • 著者名/発表者名
      幌原 優介, 稲月 友一, 高橋 哲, 高増 潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73,8

      ページ: 934-939

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 体動の影響下におけるリアルタイム副交感神経活動推定法の開発とインタラクティブCGの生成2007

    • 著者名/発表者名
      小谷 潔, 飯田 文明, 赤川 智洋, 斉藤
    • 雑誌名

      電気学会論文誌C 127,10

      ページ: 1762-1769

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Investigation of the Influence of Swalloing, Coughing and Vocalizationon Heart Rate Variability with Respiratory-phase Domain Analysis2007

    • 著者名/発表者名
      K.Kotani
    • 雑誌名

      Methods of Information in Medicine 46・2

      ページ: 179-185

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 現場環境における三時限測定機の高度化に関する研究(第1報) : 温度ドリフトの評価および補正2007

    • 著者名/発表者名
      大西徹
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73・2

      ページ: 270-274

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Development of a Multi-Ball-Cantilever AFM for Measuring Resist Surface2006

    • 著者名/発表者名
      Shujie Liu
    • 雑誌名

      Journal of Robotics and Mechatronics 18・8

      ページ: 698-704

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第1報)2006

    • 著者名/発表者名
      梶原優介
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72・11

      ページ: 1391-1396

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 平面リニアモータの精度校正に関する研究(第1報) -反射ミラーの形状計測-2006

    • 著者名/発表者名
      陳欣
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72・12

      ページ: 1542-1546

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] 輪帯エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハの表面異物欠陥検出法に関する研究(第1報) : 欠陥検出原理とその検証実験2006

    • 著者名/発表者名
      吉岡淑江
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72・7

      ページ: 878-883

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] リングビームを用いた三次元変位測定法(第2報)-リングイメージの楕円近似による非線形性の改善-2006

    • 著者名/発表者名
      臼杵深
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72・1

      ページ: 13-22

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 座標測定機のアーティファクト校正(第3報)-校正後の測定の不確かさの推定-2005

    • 著者名/発表者名
      高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71・7

      ページ: 890-894

    • NAID

      10016464429

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 形体計測における不確かさの見積り(第3報)-区分多項式による直線形体の形状偏差モデル-2005

    • 著者名/発表者名
      高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71・11

      ページ: 1454-1458

    • NAID

      110002238043

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection2005

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 295-296

      ページ: 15-20

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Evaluation of Thrust Force and Positioning Accuracy of a New Linear Motor2005

    • 著者名/発表者名
      X.Chen
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 295-296

      ページ: 613-618

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 3D profile measurement using color multi-line stripe pattern with one shot scanning2005

    • 著者名/発表者名
      Chanin Sinlapeecheewa
    • 雑誌名

      Integrated Computer-Aided Engineering 12・4

      ページ: 333-341

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] GPS(製品の幾何特性仕様)に基づいた検証方法-幾何公差の解釈と三次元測定機の不確かさ評価2005

    • 著者名/発表者名
      高増潔
    • 雑誌名

      設計工学 40・2

      ページ: 79-85

    • NAID

      10014331322

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 座標測定機のアーティファクト校正(第3報)-校正後の測定の不確かさの推定-2005

    • 著者名/発表者名
      高増潔, 佐藤理, 下嶋賢, 古谷涼秋
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71・7(発表予定)

    • NAID

      10016464429

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 座標測定機のアーティファクト校正(第2報)-冗長座標測定機の自己校正-2004

    • 著者名/発表者名
      高増潔, 下嶋賢, 古谷涼秋, 佐藤理
    • 雑誌名

      精密工学会誌 70・5

      ページ: 711-715

    • NAID

      110001823998

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] パラレルメカニズムを用いたマイクロフライス盤の開発(第1報,設計パラメータの決定と試作機の製作)2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤理, 高増潔, 無類井格, Gheorghe Olea
    • 雑誌名

      設計工学 39・4

      ページ: 175-181

    • NAID

      10012869260

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 計測標準高度化に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      高瀬省徳, 大西徹, 高増潔
    • 雑誌名

      技研所報 40・3

      ページ: 17-23

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第5報)-定在波照明の2方向シフトを用いた2次元超解像特性の検討-2008

    • 著者名/発表者名
      工藤 良太, 臼杵 深, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第3報)-STEM画像による線幅のエッジおよびピッチの決定2008

    • 著者名/発表者名
      桑原 一樹, 澤内 佑介, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] レジスト表面形状の計測(第五報)-マルチトポセンサの提案-2008

    • 著者名/発表者名
      徳田 雄一郎 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第2報)-創製構造体の気相取り出し方法の実験的検討-2008

    • 著者名/発表者名
      吉田 大助, 武内 徹, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Uncertainty Evaluation of CMM by Modeling with Spatial Constraint2007

    • 著者名/発表者名
      M. Abbe, M. Nara, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMQC2007
    • 発表場所
      India
    • 年月日
      2007-11-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Thin Film Thickness Measurement for Evaluation of Residual layer of Nano-Imprint Lithography Using Near-Field Optics2007

    • 著者名/発表者名
      S. Minamiguchi, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMQC2007
    • 発表場所
      India
    • 年月日
      2007-11-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Calibration of 6 DOF Parallel Mechanism Driven by Planar Motors2007

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Keisuke Yoshida, Tatsuya Senoo, Xin Chen, Kiyoshi
    • 学会等名
      ISMQC2007
    • 発表場所
      India
    • 年月日
      2007-11-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology:Calibration, Form Deviation and Strategy of Measurement2007

    • 著者名/発表者名
      K. Takamasu, S. Takahashi, M. Abbe, R. Furutani
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Intelligent Profile Measurement for Wide-Area Resist Surface Using Multi-Sensor AFM System2007

    • 著者名/発表者名
      Shujie Liu, Kentaro Watanabe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Experimental Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illuminatio Shift2007

    • 著者名/発表者名
      S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Study on Scanning Squareness Measurement Method and Uncertainty Estimation2007

    • 著者名/発表者名
      X. Chen, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Analysis of Lateral Resolution Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Lisht2007

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] An Optical and Confocal Microscopic System for Nanostereolithography Using Evanescent Light Eliminate of the Nonlinearity in Heterodyne Interferometer2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Kajihara, T. Takeuchi, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Uncertainty Estimation Using Monte-Carlo Method Constrained by Correlations of the Data2007

    • 著者名/発表者名
      M. Nara, M. Abbe, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書 2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Study on algorithm of reconstructing topography based on topography difference2007

    • 著者名/発表者名
      X. Chen, K. Kotani, K. Takamasu
    • 学会等名
      Euspen 2007
    • 発表場所
      Germany
    • 年月日
      2007-05-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Development for a High Percisin Positioning Systems Family with Parallel Structure and Short Planar Motion2007

    • 著者名/発表者名
      G. Olea, S. Rathmann, J. Hesselbach, K. Takamasu
    • 学会等名
      Euspen 2007
    • 発表場所
      Germany
    • 年月日
      2007-05-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書 2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Development of laser-assisted microfabrication sysetm for three-dimensional metal structures by photocatalysis2007

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, M. Okuno, Y. Kajihara, K. Takamasu
    • 学会等名
      Euspen 2007
    • 発表場所
      Germany
    • 年月日
      2007-05-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書 2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology : Calibration, Form Deviation and Strategy of Measurement2007

    • 著者名/発表者名
      K. Takamasu, S. Takahashi, M. Abbe, R. Furutani
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Experimenta Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007

    • 著者名/発表者名
      S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Analysis of Lateral Resolution Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Light2007

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [学会発表] Study on alorithm of reconstructing topography based on topography difference2007

    • 著者名/発表者名
      X. Chen, K. Kotani, K. Takamasu
    • 学会等名
      Euspen 2007
    • 発表場所
      Germany
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology: Calibration, Form Deviation and Strategy of Measurement2007

    • 著者名/発表者名
      K. Takamasu, S. Takahashi, M. Abbe, R. Furutani
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Experimental Verification fbr Super-resolution Optical Inspection fbr Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007

    • 著者名/発表者名
      Shujie Liu, Kentaro Watanabe, Satoru Takahashi, Kioshi Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Experimental Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007

    • 著者名/発表者名
      S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Stud on Scanning Suareness Measurement Method and Uncertainty Estimation2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Chen, Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Analysis of Lateral Resoltition Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Light2007

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] An Optical and Confocal Microscopic System for Nanostereolithography Using Evanescent Light Eliminate of the Nonlinearity in Heterode Interferometer2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Kajihara, T. Takeuchi, S. Takahashi K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Uncertain Evaluation of CMM b Modelin with Satial Constraint2007

    • 著者名/発表者名
      M. Abbe M. Nara K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMQC 2007
    • 発表場所
      India
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Thin Film Thickness Measurement for Evaluation of Residual layer of Nano-Imprint Lithography Using Near-Field Optics2007

    • 著者名/発表者名
      S. Minamiguchi, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMQC 2007
    • 発表場所
      India
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Calibration of 6 DOF Parallel Mechanism Driven by Planar Motors2007

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Keisuke Yoshida, Tatsuya Senoo, Xin Chen, Kiyoshi
    • 学会等名
      ISMQC 2007
    • 発表場所
      India
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] エバネッセント光を利用したナノ光造形法の研究(第9報)-DMDによるエバネッセント強度分布制御法の検討-2007

    • 著者名/発表者名
      武内 徹, 梶原 優介, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 平面リニアモータシステムの開発(第6報)-6自由度パラレルメカニズムの校正実験-2007

    • 著者名/発表者名
      吉田 敬亮, 妹尾 達也, 陳 欣, 小谷 潔, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 現場環境における三次元測定機の高精度化に関する研究(第5報)-時間的な影響を考慮した温度補正-2007

    • 著者名/発表者名
      大西 徹, 高瀬 省徳, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第2報)-ラインエッジの不確かさ要因-2007

    • 著者名/発表者名
      澤内 佑介, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第4報)-定在波シフトによる変調散乱光観察実験-2007

    • 著者名/発表者名
      岡田 真一, 臼杵 深, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] 近接場光を用いたナノインプリント残膜測定法に関する研究(第3報)-偏光特性を利用した残膜厚計測-2007

    • 著者名/発表者名
      南口 修一, 臼杵 深, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] 日本機械学会編:機械工学便覧デザイン編β5計測工学2007

    • 著者名/発表者名
      高増潔他
    • 総ページ数
      350
    • 出版者
      日本機械学会
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [図書] 日本機械学会編:機械工学便覧デザイン編β5計測工学2007

    • 著者名/発表者名
      高増 潔, 他
    • 総ページ数
      350
    • 出版者
      日本機械学会
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [図書] 機械工学便覧デザイン編β3 加工学・加工機器(日本機械学会編 : )2006

    • 著者名/発表者名
      日本機械学会
    • 総ページ数
      250
    • 出版者
      日本機械学会
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [図書] Precision Assembly Technologies for Mini and Micro Products (IFIP (International Federation for Information Processing) series Vol.198) (edited by Svetan Ratchev)2006

    • 著者名/発表者名
      Gheorghe Olea
    • 総ページ数
      336
    • 出版者
      Precision Multi-Degrees-Of-Freedom Positioning Systems - Modular Design For Assembly Applications -
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [図書] 人と共存するコンピュータ・ロボット学(実世界情報システム)2004

    • 著者名/発表者名
      高増潔, 小谷潔(東京大学21世紀COE実世界情報プロジェクト)
    • 総ページ数
      292
    • 出版者
      オーム社
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [備考] 「研究成果報告書概要(和文)」より

    • URL

      http://www.nanolab.t.u-tokyo.ac.jp/research.html

    • 関連する報告書
      2007 研究成果報告書概要
  • [備考]

    • URL

      http://www.nanolab.t.u-tokyo.ac.jp/research.html

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [産業財産権] 移動システム2005

    • 発明者名
      高増潔, 高橋哲, 小谷潔, 大和淳司
    • 権利者名
      高増潔, 高橋哲, 小谷潔, 大和淳司
    • 産業財産権番号
      2005-134471
    • 出願年月日
      2005-05-02
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書

URL: 

公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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