| 研究課題/領域番号 |
16360006
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
応用物性・結晶工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
田渕 雅夫 名古屋大学, 工学研究科, 助教授 (90222124)
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| 研究分担者 |
竹田 美和 (武田 美和) 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (20111932)
大渕 博宣 名古屋大学, 工学研究科, 助手 (40312996)
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| 研究期間 (年度) |
2004 – 2005
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| 研究課題ステータス |
完了 (2005年度)
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| 配分額 *注記 |
6,500千円 (直接経費: 6,500千円)
2005年度: 3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
2004年度: 3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
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| キーワード | 化合物半導体 / エピタキシャル / 複雑な多層構造の解析 / X線CTR散乱 / X線回折 / 結晶成長 / OMVPE / OMCVD / 界面 / 回折測定の簡便な高速化 / 回折測定の簡便な高精度化 / 2次元検出器 / 1次元検出器 / 装置調整法の確立 |
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| 研究概要 |
本研究では、X線CTR散乱法を応用して、実用的なデバイスと同じレベルの膜厚と複雑さを持った多層構造を評価する技術の確立を目的とした。すなわち、測定の高分解能化と、高分解能で測定した複雑なスペクトルを解析する解析技術の確立を目指した。
この目標に対しての第一の問題点は、薄膜試料の膜厚が大きくなり、層構造が複雑になった時、X線CTR散乱スペクトルはそれに応じて複雑化し、より高い解像度で測定を行なう必要が出てくることである。この問題に対して、X線CTR散乱測定にスリットと1次元のアレイ型測定器を併用することで、測定時間の増大を最低限度に押えながら解像度を上げることを試みた。実際には1次元検出器ではなく、2次元検出器を導入し、この1列分のアレイを1次元検出器として利用する測定系を作製した。この場合には、スリットを外せば、2次元の検出器でX線CTR散乱を測定する従来の測定系を簡便に再現することができるという大きなメリットがある。
第二の問題点は、複雑層構造の信号を解析する技術の確立であった。そこには、二つの困難があった。第一には、測定時の試料やゴニオメータのアライメントのずれを推測し、補正することが困難となる。第二の困難は、スペクトルが複雑になること、それ自体である。
第一の問題点に対処するために、遠隔操作で試料とゴニオメータのアライメントを変化できる試料台を準備した。また、2θスリットを抜き、2次元にした検出器を組み合わせて使用することで、高精度のアライメント調整プロセスを確立した。
第二の問題点に対処するため、解析プログラムと併せて使用するデータベースの構築を開始した。これは、スペクトル解析を行う際の、初期状態をデータベース検索によって決定することを目的とした。現在、データベースへのデータ登録システム並びに初期的な機能を有する検索システムを構築した。今後、データの登録数が増えることにより実用的に動作するシステムになると考えられる。
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