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エレクトロニクス実装を志向した高調波発生の解析と制御

研究課題

研究課題/領域番号 16360068
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関大阪大学

研究代表者

大村 悦二  大阪大学, 工学研究科, 助教授 (90144435)

研究分担者 森 勇介  大阪大学, 工学研究科, 助教授 (90252618)
佐野 智一  大阪大学, 工学研究科, 助手 (30314371)
竹野 祥瑞  三菱電機(株), 生産技術センター, 研究員
研究期間 (年度) 2004 – 2006
研究課題ステータス 完了 (2006年度)
配分額 *注記
8,700千円 (直接経費: 8,700千円)
2006年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
2005年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
2004年度: 5,100千円 (直接経費: 5,100千円)
キーワード高調波発生 / 波長変換 / 非線形光学結晶 / パルスレーザ / 繰り返し照射 / レーザ光吸収 / ビーム品質 / エレクトロニクス実装 / 高周波発生
研究概要

非線形光学結晶を用いた波長変換技術は,レーザ精密微細加工,特に全固体レーザの応用に重要な技術である.波長変換は,一般に繰り返し照射下で多く用いられるが,繰り返し照射下での高調波発生に関する従来の研究・開発は,実験的・経験的立場がとられており,理論的な研究は1パルス照射または連続照射による定常状態を対象としたものしかみられない.波長変換に不可欠な位相整合は結晶の温度に敏感で,温度変化があると変換効率が低下する.繰り返し照射の非定常状態下では,レーザ吸収の影響があるため結晶の温度変動が生じる.よってこれが波長変換に与える影響を解析するには,1パルス照射や連続照射による定常状態を想定した従来の理論解析では不可能である.
このような研究背景,問題に対し,本研究では,繰り返し照射におけるレーザ吸収による熱の影響を考慮した非定常理論解析を行った.まず第二高調波発生について,レーザ吸収を考慮した高調波発生の支配方程式を導き,熱伝導方程式と連成した解析モデルを構築した.非線形光学結晶には,KDP結晶,KTP結晶を想定した.つぎに,第二高調波発生(SHG)について,入力基本波を集光し,集光効果による入力パルスの高強度化に伴う高効率化と,結晶温度の大きな変化に伴う効率低下に関する理論的解析を行った.さらに,構築した解析手法と解析結果に基づいて,最適な位相整合温度を調べ,結晶内部に生じる最大温度に位相整合温度を合わせると高変換効率化が図れることを見出した.本方法を用いると,先に明らかとなったビーム広がり角や繰り返し周波数の影響をほとんど受けることなく高変換効率が得られることをシミュレーションによって確認した.
エレクトロニクス分野応用の基礎として,シリコンの吸収係数の温度依存性測定,シリコン単結晶のレーザ内部加工に関する研究,レーザの多重反射と蒸発を考慮したレーザ穴あけ加工の熱流体解析なども行った.

報告書

(4件)
  • 2006 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2005 実績報告書
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (127件)

すべて 2007 2006 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文 (126件) 図書 (1件)

  • [雑誌論文] 単結晶シリコンの吸収係数温度依存性測定2007

    • 著者名/発表者名
      福世文嗣
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 14-1

      ページ: 22-26

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 集光ビーム繰り返し照射下における第二高調波発生の温度分布解析とその高効率化の検討2007

    • 著者名/発表者名
      野村和史
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 14-1

      ページ: 27-32

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] レーザの多重反射と蒸発を考慮したレーザ穴あけ加工の熱流体解析-第1報,光線追跡を用いたレーザの多重反射シミュレーション-2007

    • 著者名/発表者名
      野口 暁
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 14-1

      ページ: 33-38

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] レーザの多重反射と蒸発を考慮したレーザ穴あけ加工の熱流体解析-第2報,レーザの多重反射と材料の蒸発を考慮したレーザ穴あけシミュレーション-2007

    • 著者名/発表者名
      野口 暁
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 14-2

      ページ: 113-119

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] セラミックス溶射皮膜のレーザによる表面改質2007

    • 著者名/発表者名
      植木章太
    • 雑誌名

      Proceedings of the 13th Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics"

      ページ: 61-66

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Measurement of Temperature Dependence of Absorption Coefficient of Single Crystal Silicon2007

    • 著者名/発表者名
      F.Fukuyo et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Laser Processing Soc. 14-1

      ページ: 22-26

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Temperature Distribution Analysis of Second Harmonic Generation with Repetitive Irradiation of a Focused beam and Examination of Improvement of High Conversion Efficiency2007

    • 著者名/発表者名
      K.Nomura et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Laser Processing Soc. 14-1

      ページ: 27-32

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermohydrodynamics Analysis of Laser Drilling Considering Multiple Reflection of Laser and Evaporation-1st Report, Multiple Reflection Simulation of Laser Using Ray Tracing Technique-2007

    • 著者名/発表者名
      S.Noguchi et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Laser Processing Soc. 14-1

      ページ: 33-38

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermohydrodynamics Analysis of Laser Drilling Considering Multiple Reflection of Laser and Evaporation-2nd Report, Laser Drilling Simulation Considering Multiple Reflection of Laser and Evaporation-2007

    • 著者名/発表者名
      S.Noguchi et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Laser Processing Soc. 14-2

      ページ: 113-119

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermal Stress Analysis on Laser Scribing of Glass2007

    • 著者名/発表者名
      K.Yamamoto et al.
    • 雑誌名

      Proc.ICALEO2004 (CD-ROM)

      ページ: 1-7

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Surface Modification of Thermal Sprayed Ceramics Coatings with Laser Irradiation2007

    • 著者名/発表者名
      S.Ueki et al.
    • 雑誌名

      Proc. 13th Symp. on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics"

      ページ: 61-66

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] レーザの多重反射と蒸発を考慮したレーザ穴あけ加工の熱流体解析-第2報,レーザの多重反射と材料の蒸発を考慮したレーザ穴あけシミュレーション-2007

    • 著者名/発表者名
      野口 暁
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 14-2(印刷中)

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Analysis of Second Harmonic Pulse Distortion Induced by Repetitive Irradiation2006

    • 著者名/発表者名
      Kazufumi Nomura
    • 雑誌名

      Materials Science Forum 512

      ページ: 343-348

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要 2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Synthesis of the High-Pressure Phase of Iron2006

    • 著者名/発表者名
      Tomokazu Sano
    • 雑誌名

      Materials Science Forum 512

      ページ: 349-354

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] フェムト秒レーザによるタングステン表面のマイクロスパイクアレイ生成機構の解析2006

    • 著者名/発表者名
      野村泰光
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72-5

      ページ: 668-673

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Elementary Process of Coating by a High-Temperature, High-Speed Droplet (Flattening Process and Atomic Behavior of a Droplet)2006

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu
    • 雑誌名

      JSME International Journal C 49-2

      ページ: 505-511

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Internal Modified-layer Formation Mechanism into Silicon with Nanosecond Laser2006

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering 17

      ページ: 381-384

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ガラスのレーザスクライブにおける三次元熱応力解析2006

    • 著者名/発表者名
      山本幸司
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集,C編 72-724

      ページ: 3927-3933

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermo-Elastic-Plastic Analysis on Internal Processing Phenomena of Single-Crystal Silicon by Nanosecond Laser2006

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Monodane
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering 1-3

      ページ: 231-235

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Theoretical Analysis of second harmonic generation considering laser absorption with repetitive irradiation of focused beam2006

    • 著者名/発表者名
      Kazufumi Nomura
    • 雑誌名

      Journal of Laser Micro/Nanoengineering 1-3

      ページ: 247-252

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Second Harmonic Generation Considering Laser Absorption with Repetitive Irradiation2006

    • 著者名/発表者名
      Kazufumi Nomura
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 6259

      ページ: 183-191

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Microspike Array Formation by Diffraction of Femtosecond Laser through Aperture2006

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Proceedings of 2006 International Symposium on Flexible Automation (2006ISFA)

      ページ: 280-287

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of second harmonic generation with repetitive irradiation of focused beam2006

    • 著者名/発表者名
      Kazufumi Nomura
    • 雑誌名

      Proceedings of 2006 International Symposium on Flexible Automation (2006ISFA)

      ページ: 288-294

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Finite Element Analysis on Laser Drilling of Printed Circuit Board Considering Evaporation of Resin2006

    • 著者名/発表者名
      Satoru Noguchi
    • 雑誌名

      Proceedings of 2006 International Symposium on Flexible Automation (2006ISFA)

      ページ: 303-310

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis on Resin Removal in Laser Drilling of Printed Circuit Board Considering Diffraction in Image Formation Optical System2006

    • 著者名/発表者名
      Satoru Noguchi
    • 雑誌名

      Online Proceedings of the 4th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2006)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of second harmonic generation considering laser absorption with repetitive irradiation of focused beam2006

    • 著者名/発表者名
      Kazufumi Nomura
    • 雑誌名

      Online Proceedings of the 4th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2006)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] The Mechanism of Semiconductor Wafer Dicing by Stealth Dicing Technology2006

    • 著者名/発表者名
      Kenshi Fukumitsu
    • 雑誌名

      Online Proceedings of the 4th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2006)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermo-Elastic-Plastic Analysis on Internal Processing Phenomena of Single-Crystal Silicon by Nanosecond Laser2006

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Monodane
    • 雑誌名

      Online Proceedings of the 4th International Congress on Laser Advanced Materials Processing (LAMP2006)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Advanced dicing technology for semiconductor wafer -Stealth dicing-2006

    • 著者名/発表者名
      Masayoshi Kumagai
    • 雑誌名

      Proceedings of 15th International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM2006)

      ページ: 215-218

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Modified Layer Formation into Silicon Wafer by Permeable Nanosecond Laser2006

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Proceedings of ICALEO2006 (CD-ROM)

      ページ: 24-31

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] アルミナ溶射皮膜のCO_2レーザによる改質2006

    • 著者名/発表者名
      植木章太
    • 雑誌名

      Proceedings of the 12th Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics "

      ページ: 511-516

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ステルスダイシングにおける内部改質層形成機構の解析2006

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      第66回レーザ加工学会講演会講演論文集

      ページ: 19-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 機械工学年鑑(2005年) 加工学・加工機器,16・2エネルギービーム加工2006

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      日本機械学会誌 109-1053

      ページ: 670-670

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] レーザアブレーションによる材料への穴あけ加エシミュレーション2006

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌 9-5

      ページ: 399-404

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] レーザ加工における回折を考慮した表面生成機講の解析2006

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 13-3

      ページ: 177-182

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] レーザによる熱加工2006

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      伝熱 45-193

      ページ: 43-48

    • NAID

      10018342036

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] LAMP2006参加報告2006

    • 著者名/発表者名
      宮本 勇
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 13-4

      ページ: 275-290

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Second Harmonic Pulse Distortion Induced by Repetitive Irradiation2006

    • 著者名/発表者名
      K.Nomura et al.
    • 雑誌名

      Mater.Sci.Forum 512

      ページ: 343-348

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Synthesis of the High-Pressure Phase of Iron2006

    • 著者名/発表者名
      T.Sano et al.
    • 雑誌名

      Mater.Sci.Forum 512

      ページ: 349-354

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis of Elementary Process of Coating by a High-Temperature, High-Speed Droplet (Flattening Process and Atomic Behavior of a Droplet)2006

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu et al.
    • 雑誌名

      JSME Int.J., C 49-2

      ページ: 505-511

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Internal Modified-layer Formation Mechanism into Silicon with Nanosecond Laser2006

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      J.Achiev. in Mater.Manuf.Eng. 17

      ページ: 381-384

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Three Dimensional Thermal Stress Analysis on Laser Scribing of Glass2006

    • 著者名/発表者名
      K.Yamamoto et al.
    • 雑誌名

      Tran.Japan Soc.Mech.Eng., Ser.C 72-724

      ページ: 3927-3933

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Theoretical Analysis of second harmonic generation considering laser absorption with repetitive irradiation of focused beam2006

    • 著者名/発表者名
      K.Nomura et al.
    • 雑誌名

      J.Laser Micro/Nanoengineering 1-3

      ページ: 247-252

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Second Harmonic Generation Considering Laser Absorption with Repetitive Irradiation2006

    • 著者名/発表者名
      K.Nomura et al.
    • 雑誌名

      Proc.SPIE Vol.6259

      ページ: 183-191

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Microspike Array Formation by Diffraction of Femtosecond Laser through Aperture2006

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      Proc. 2006 Int.Symp. on Flexible Automation (2006ISFA)

      ページ: 280-287

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of second harmonic generation with repetitive irradiation of focused beam2006

    • 著者名/発表者名
      K.Nomura et al.
    • 雑誌名

      Proc. 2006 Int.Symp. on Flexible Automation (2006ISFA)

      ページ: 288-294

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Modified Layer Formation into Silicon Wafer by Permeable Nanosecond Laser2006

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      Proc.ICALEO2006 (CD-ROM)

      ページ: 24-31

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Advanced dicing technology for semiconductor wafer-Stealth dicing-2006

    • 著者名/発表者名
      M.Kumagai et al.
    • 雑誌名

      Proc. 15th Int.Symp. on Semiconductor Manuf. (ISSM2006)

      ページ: 215-218

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Modification of Al_2O_3 Thermal Sprayed Coatings by Irradiating CO_2 Laser2006

    • 著者名/発表者名
      S.Ueki et al.
    • 雑誌名

      Proc. 12th Symp. on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics"

      ページ: 511-516

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Internal Modified-Layer Formation Mechanism in Stealth Dicing2006

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      Proc. 67th Laser Mater.Processing Conf.

      ページ: 19-22

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Computer Simulation of Laser Drilling with Ablation2006

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura
    • 雑誌名

      J.Japan Inst.Electronics Packaging 9-5

      ページ: 399-404

    • NAID

      110004799339

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Surface Generation Mechanism Considering Diffraction of Laser Beam2006

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura
    • 雑誌名

      J.Japan Laser Processing Soc. 13-3

      ページ: 177-182

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermal Processing with Laser2006

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura
    • 雑誌名

      J.Heat Transfer Soc. Japan 45-193

      ページ: 43-48

    • NAID

      10018342036

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Report on LAMP20062006

    • 著者名/発表者名
      I.Miyamoto et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Laser Processing Soc. 13-4

      ページ: 275-290

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Second Harmonic Generation Considering Laser Absorption with Repetitive Irradiation2006

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE Vol.6259

      ページ: 183-191

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Advanced dicing technology for semiconductor wafer - Stealth dicing-2006

    • 著者名/発表者名
      Masayoshi Kumagai
    • 雑誌名

      Proceedings of 15th International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM2006)

      ページ: 215-218

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Analysis of Modified Layer Formation into Silicon Wafer by Permeable Nanosecond Laser2006

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Proceedings of ICALEO2006, Laser Microfabrication Conference

      ページ: 24-31

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] レーザアブレーションによる材料への穴あけ加工シミュレーション2006

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      エレクトロニクス実装学会誌 9-5

      ページ: 399-404

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] フェムト秒レーザによるタングステン表面のマイクロスパイクアレイ生成機構の解析2006

    • 著者名/発表者名
      野村泰光
    • 雑誌名

      精密工学会誌 72(掲載決定)

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Analysis of Second Harmonic Generation Considering Laser Absorption with Repetitive Irradiation2006

    • 著者名/発表者名
      Kazufumi Nomura
    • 雑誌名

      Proceedings of ICONO/LAT 2005 (掲載予定)

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] アルミナ溶射皮膜のCO2レーザによる改質2006

    • 著者名/発表者名
      植木章太
    • 雑誌名

      Proceedings of Mate 2006

      ページ: 511-516

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析-液滴の偏平過程と原子挙動-2005

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集,C編 71-701

      ページ: 298-303

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Driven Shock Quenching of the Nanocrystalline High-Pressure Phase of Iron2005

    • 著者名/発表者名
      Tomokazu Sano
    • 雑誌名

      Materials Science Forum 475-479

      ページ: 3475-3478

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] フェムト秒レーザダブルパルスによるクロム薄膜アブレーション2005

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71-2

      ページ: 284-289

    • NAID

      110001824129

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Analytical Study on Metal Microstructures Using Femtosecond Laser2005

    • 著者名/発表者名
      Tomohiro Okamoto
    • 雑誌名

      Applied Physics A 81

      ページ: 639-643

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Fabrication of Microspike-Arrays on Tungsten Surface2005

    • 著者名/発表者名
      Tomokazu Sano
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 247

      ページ: 340-346

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Driven Shock Quenching of the High-PressurePhase of Iron2005

    • 著者名/発表者名
      Tomokazu Sano
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 247

      ページ: 571-576

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ガラスのレーザスクライブにおける熱応力解析2005

    • 著者名/発表者名
      山本幸司
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71-9

      ページ: 1157-1162

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 結像光学系の回折を考慮したプリント基板レーザ穴あけの樹脂除去解析2005

    • 著者名/発表者名
      野口 暁
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71-10

      ページ: 1296-1302

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Microspike Array Formation on Tungsten Surface with Femtosecond Laser2005

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Proceedings of ICALEO2005 (CD-ROM)

      ページ: 232-238

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2005 実績報告書
  • [雑誌論文] フェムト秒レーザーによる鉄の非平衡相合成2005

    • 著者名/発表者名
      佐野智一
    • 雑誌名

      Proceedings of the 11th Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics "

      ページ: 471-476

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] ガラスのレーザスクライブ2005

    • 著者名/発表者名
      山本幸司
    • 雑誌名

      レーザ協会誌 30-3,4

      ページ: 7-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Analysis on Elementary Process of Coating by High-Temperature and High-Speed Droplet (Flattening Process and Atomic Behavior of Droplet)2005

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu et al.
    • 雑誌名

      Tran.Japan Soc.Mech.Eng., Ser.C 71-701

      ページ: 298-303

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Driven Shock Quenching of the Nanocrystalline High-Pressure Phase of Iron2005

    • 著者名/発表者名
      T.Sano et al.
    • 雑誌名

      Mater.Sci.Forum 475-479

      ページ: 3475-3478

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Chromium Thin Film Ablation with Double Pulses of Femtosecond Laser2005

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Soc., Prec.Eng. 71-2

      ページ: 284-289

    • NAID

      110004056110

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analytical Study on Metal Microstructures Using Femtosecond Laser2005

    • 著者名/発表者名
      T.Okamoto et al.
    • 雑誌名

      Appl.Phys.A 81

      ページ: 639-643

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Fabrication of Microspike-Arrays on Tungsten Surface2005

    • 著者名/発表者名
      T.Sano et al.
    • 雑誌名

      Appl.Surface Sci. 247

      ページ: 340-346

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Driven Shock Quenching of the High-Pressure Phase of Iron2005

    • 著者名/発表者名
      T.Sano et al.
    • 雑誌名

      Appl.Surface Sci. 247

      ページ: 571-576

    • NAID

      110003827716

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermal Stress Analysis on Laser Scribing of Glass2005

    • 著者名/発表者名
      K.Yamamoto et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Soc., Prec.Eng. 71-9

      ページ: 1157-1162

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis on Resin Removal in Laser Drilling of Printed Circuit Board Considering Diffraction in Image Formation Optical System2005

    • 著者名/発表者名
      S.Noguchi et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Soc., Prec.Eng. 71-10

      ページ: 1296-1302

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Formation of Microspike-Arrays on Tungsten Surface by Femtosecond Laser Irradiation2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Nomura et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Soc., Prec.Eng. 72-5

      ページ: 668-673

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermo-Elastic-Plastic Analysis on Internal Processing Phenomena of Single-Crystal Silicon by Nanosecond Laser2005

    • 著者名/発表者名
      T.Monodane et al.
    • 雑誌名

      J.Laser Micro/Nanoengineering 1-3

      ページ: 231-235

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Microspike Array Formation on Tungsten Surface with Femtosecond Laser2005

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      Proc.ICALEO2005 (CD-ROM)

      ページ: 232-238

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Nonequilibrium High-Pressure Phase Synthesis of Iron Using Femtosecond Laser2005

    • 著者名/発表者名
      T.Sano et al.
    • 雑誌名

      Proc. 11th Symp. on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics"

      ページ: 471-476

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Laser Scribing of Glass2005

    • 著者名/発表者名
      K.Yamamoto et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Soc.Laser Tech. 30-3, 4

      ページ: 7-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Driven shock Quenching of the High-Pressure Phase of Iron2005

    • 著者名/発表者名
      Tomokazu Sano
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 247

      ページ: 571-576

    • NAID

      110003827716

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 結像光学系の回折を考慮したプリント基板レーザ穴あけの樹脂除去解析2005

    • 著者名/発表者名
      野口暁
    • 雑誌名

      精密工学会誌 71-10

      ページ: 1296-1302

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] ガラスのレーザスクライブ2005

    • 著者名/発表者名
      山本幸司
    • 雑誌名

      レーザ協会誌 30-3

      ページ: 7-12

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 高温高速液滴による皮膜形成素過程の分子動力学解析-液滴の偏平過程と原子挙動-2005

    • 著者名/発表者名
      清水 淳
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集,C編 71(掲載予定)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] フェムト秒レーザー駆動衝撃による鉄の高圧相凍結2004

    • 著者名/発表者名
      佐野智一
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌 80-6

      ページ: 482-485

    • NAID

      110003827716

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] KH_2PO_4結晶により発生する第二高調波のビームプロファイル解析2004

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集,C編 70-697

      ページ: 2737-2743

    • NAID

      110006264074

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 二軸性正結晶KTiOPO_4結晶により発生する第二高調波のビームプロファイル解析2004

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集,C編 70-697

      ページ: 2744-2752

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 第二高調波発生に及ぼすパルス波形の影響2004

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集,C編 70-697

      ページ: 2753-2759

    • NAID

      110006264076

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 繰り返し照射下における第二高調波パルスのひずみ解析2004

    • 著者名/発表者名
      野村和史
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 11-3

      ページ: 167-174

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Distortion Analysis of Beam Profile and Pulse Shape of Second Harmonic Due to Repetitive Irradiation of Picosecond Pulses2004

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 5456

      ページ: 19-27

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004

    • 著者名/発表者名
      Jun Shimizu
    • 雑誌名

      Proceedings of ITSC2004 (CD-ROM)

      ページ: 7-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Driven Shock Quenching of the High -Pressure Phase of Iron2004

    • 著者名/発表者名
      Tomokazu Sano
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 5662

      ページ: 678-683

    • NAID

      110003827716

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of Microspike-Arrays on Tungsten Surface Using Femtosecond Laser2004

    • 著者名/発表者名
      Tomokazu Sano
    • 雑誌名

      Proceedings of SPIE 5662

      ページ: 760-765

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Chromium Thin Film Ablation with Double Pulse of Femtosecond Laser2004

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Proceedings of ICALEO2004 (CD-ROM)

      ページ: 1-7

    • NAID

      110004056110

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermal Stress Analysis on Laser Scribing of Glass2004

    • 著者名/発表者名
      Koji Yamamoto
    • 雑誌名

      Proceedings of ICALEO2004 (CD-ROM)

      ページ: 1-7

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 伝熱工学シミュレーションの基礎と応用2004

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      軽金属 54-6

      ページ: 225-235

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] レーザ加工のための熱伝導解析2004

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 雑誌名

      レーザ加工学会誌 11-2

      ページ: 103-110

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Femtosecond-Laser-Driven Shock Quenching of the High-Pressure Phase of Iron2004

    • 著者名/発表者名
      T.Sano et al.
    • 雑誌名

      J.Plasma Fusion Res. 80-6

      ページ: 482-485

    • NAID

      110003827716

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Beam Profile Analysis of Second Harmonic Generated by KH_2PO_42004

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      Tran.Japan Soc.Mech.Eng., Ser.C 90-697

      ページ: 2737-2743

    • NAID

      110006264074

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Beam Profile Analysis of Second Harmonic Generated by KTiOPO_42004

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      Tran.Japan Soc.Mech.Eng., Ser.C 70-697

      ページ: 2744-2752

    • NAID

      110006264075

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Influence of Temporal Pulse Shape on Second Harmonic Generation2004

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      Tran.Japan Soc.Mech.Eng., Ser.C 70-697

      ページ: 2753-2759

    • NAID

      110006264076

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of Second Harmonic Generation and Output Pulse Distortion Considering Laser Absorption with Repetitive Irradiation2004

    • 著者名/発表者名
      K.Nomura et al.
    • 雑誌名

      J.Japan Laser Processing Soc. 11-3

      ページ: 167-174

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Distortion Analysis of Beam Profile and Pulse Shape of Second Harmonic Due to Repetitive Irradiation of Picosecond Pulses2004

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      Proc.SPIE Vol.5456

      ページ: 19-27

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Molecular Dynamics Simulation on Flattening Process of a High-Temperature and High-Speed Droplet2004

    • 著者名/発表者名
      J.Shimizu et al.
    • 雑誌名

      Proc.ITSC2004 (CD-ROM)

      ページ: 7-12

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Driven Shock Quenching of the High-Pressure Phase of Iron2004

    • 著者名/発表者名
      T.Sano et al.
    • 雑誌名

      Proc.SPIE Vol.5662

      ページ: 678-683

    • NAID

      110003827716

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of Microspike-Arrays on Tungsten Surface Using Femtosecond Laser2004

    • 著者名/発表者名
      T.Sano et al.
    • 雑誌名

      Proc.SPIE Vol.5662

      ページ: 760-765

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Chromium Thin Film Ablation with Double Pulse of Femtosecond Laser2004

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura et al.
    • 雑誌名

      Proc.ICALEO2004 (CD-ROM)

      ページ: 1-7

    • NAID

      110004056110

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fundamentals of Heat Transfer Simulation and Their Applications2004

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura
    • 雑誌名

      J.Japan Inst.Light Metals 54-6

      ページ: 225-235

    • NAID

      10013136630

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Heat Conduction Analysis for Laser Materials Processing2004

    • 著者名/発表者名
      E.Ohmura
    • 雑誌名

      J.Japan Laser Processing Soc. 11-2

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analytical Study on Metal Microstructures Using Femtosecond Laser2004

    • 著者名/発表者名
      Tomohiro Okamoto
    • 雑誌名

      Applied Physics A (Online Journal)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Distortion Analysis of Beam Profile and Pulse Shape of Second Harmonic Due to Repetitive Irradiation of Picosecond Pulses2004

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Photonics Europe, Proceedings of SPIE 5456

      ページ: 19-27

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Femtosecond Laser Driven Shock Quenching of the High-Pressure Phase of Iron2004

    • 著者名/発表者名
      Tomokazu Sano
    • 雑誌名

      Symp.Laser Precision Microfabrication (LPM2004), Proc.of SPIE 5662

      ページ: 678-683

    • NAID

      110003827716

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of Microspike-Arrays on Tungsten Surface Using Femtosecond Laser2004

    • 著者名/発表者名
      Tomokazu Sano
    • 雑誌名

      Symp.Laser Precision Microfabrication (LPM2004), Proc.of SPIE 5662

      ページ: 760-765

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Chromium Thin Film Ablartion with Double Pulse of Femtosecond Laser2004

    • 著者名/発表者名
      Etsuji Ohmura
    • 雑誌名

      Proceedings of ICALEO2004 (CD-ROM)

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Advanced dicing technology for semiconductor wafer -Stealth Dicing-

    • 著者名/発表者名
      Masayoshi Kumagai
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Advanced dicing technology for semiconductor wafer-Stealth Dicing-

    • 著者名/発表者名
      M.Kumagai et al.
    • 雑誌名

      IEEE Trans. on Semiconductor Manuf. (to be published)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Finite Element Analysis on Laser Drilling of Printed Circuit Board Considering Evaporation of Resin

    • 著者名/発表者名
      S.Noguchi et al.
    • 雑誌名

      Proc. 2006 Int.Symp. on Flexible Automation (2006ISFA)

      ページ: 303-310

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis on Resin Removal in Laser Drilling of Printed Circuit Board Considering Diffraction in Image Formation Optical System

    • 著者名/発表者名
      S.Noguchi et al.
    • 雑誌名

      Online Proc. 4th Int.Cong. on Laser Advanced Mater.Processing (LAMP2006)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Analysis of second harmonic generation considering laser absorption with repetitive irradiation of focused beam

    • 著者名/発表者名
      K.Nomura et al.
    • 雑誌名

      Online Proc. 4th Int.Cong. on Laser Advanced Mater.Processing (LAMP2006)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] The Mechanism of Semiconductor Wafer Dicing by Stealth Dicing Technology

    • 著者名/発表者名
      K.Fukumitsu et al.
    • 雑誌名

      Online Proc. 4th Int.Cong. on Laser Advanced Mater.Processing (LAMP2006)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Thermo-Elastic-Plastic Analysis on Internal Processing Phenomena of Single-Crystal Silicon by Nanosecond Laser

    • 著者名/発表者名
      T.Monodane et al.
    • 雑誌名

      Online Proc. 4th Int.Cong. on Laser Advanced Mater.Processing (LAMP2006)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [図書] 光技術動向調査報告書2007

    • 著者名/発表者名
      大村悦二
    • 出版者
      光産業技術振興協会
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書

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公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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