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金属コアを有する圧電ファイバーを用いたマイクロセンサの研究開発

研究課題

研究課題/領域番号 16360111
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 機械力学・制御
研究機関東北大学

研究代表者

裘 進浩  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (60241585)

研究分担者 高木 敏行  東北大学, 流体科学研究所, 教授 (20197065)
内一 哲哉  東北大学, 流体科学研究所, 助教授 (70313038)
研究期間 (年度) 2004 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
14,800千円 (直接経費: 14,800千円)
2005年度: 6,400千円 (直接経費: 6,400千円)
2004年度: 8,400千円 (直接経費: 8,400千円)
キーワード圧電ファイバー / センサ / アクチュエータ / マイクロセンサ / 気流センサ
研究概要

本研究では、金属コアを有する圧電ファイバーの電極付けプロセス、ファイバーの電気・機械及び圧電特性の計測法及び、曲率を有する圧電ファイバーの作製プロセスを開発したとともに、圧電ファイバーを用いた生体模倣型気流測定用マイクロセンサ及び構造物ヘルスモニタリング用マイクロセンサの研究開発を行った。下記の研究成果が得られた。
ファイバー表面の全面に電極を付ける場合、長さ方向の伸縮モードが測定でき、半面に付ける場合、曲げモードが測定できる。本研究では、新たにジグを設計し、既存のスパッタリング装置を用いて、全面及び半面電極を付けるプロセスを開発した。また、金属コアを有する圧電ファイバーの基本電気、機械、及び圧電特性を評価するために、独自の基本電気、機械、及び圧電特性の評価基準と測定方法を確立した。更に、多様な用途に対応させるために、曲率を有する圧電ファイバーの作製プロセスを開発した。その方法として、型に付けた状態で焼結を行うプロセスを採用した。また、高性能なファイバーを作製するために、最適な取り付け方法、焼結条件などについて調べた。
ファイバーの応用として、半面電極を付けた圧電ファイバー気流センサを作製し、その出力信号と気流の方向や強さ関係を調べた。コア入り圧電ファイバーをシャッター付の小型風洞に取り付け、シャッターを開けたとき及び閉めたときのセンサの出力電圧を測定し、出力電圧の最大値と気流加速度の関係を求めた。また、全面電極を付けたヘルスモニタリング用のファイバーを作製した。その特性を確認するために、コア入り圧電ファイバーを埋め込んだスマートボードを作製し、ボードに与えた衝撃荷重の位置同定の実験を行った。ファイバーの出力信号及び訓練されたニューラルネットワークを用いて、衝撃荷重の位置を同定し、実験値と比較した。その結果、衝撃荷重の位置を5%以下の誤差で同定できることが明らかになった。

報告書

(3件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (20件)

すべて 2005 2004

すべて 雑誌論文 (20件)

  • [雑誌論文] Characterization of Piezoelectric Fibers with Metal Core2005

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      日本AEM学会誌 Vol.13,No.4

      ページ: 294-297

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Modeling and Characterization of Piezoelectric Fibers with Metal Core2005

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.44,No.8

      ページ: 6156-6163

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Modelling the lateral resonance mode of piezoelectric fibres with metal core2005

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      J. Phys. D : Appl. Phys. Vol.38

      ページ: 3733-3740

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Characterization of Piezoelectric Fibers with Metal Core2005

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics Vol.13, No.4

      ページ: 294-297

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Modeling and Characterization of Piezoelectric Fibers with Metal Core2005

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.44, No.8

      ページ: 6156-6163

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Modelling the lateral resonance mode of piezoelectric fibres with metal core2005

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      J.Phys.D : Appl.Phys. Vol.38

      ページ: 3733-3740

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Sensor Application of Cored PNN-PZT Piezoelectric Ceramic Fibers2005

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      Proceedings of International Conference on Emerging System Technology (ICEST) & the 91^<th> International MAV Competition

      ページ: 16-23

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Characterization of Piezoelectric Fibers with Metal Core2005

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      日本AEM学会誌 Vol.13, No.4

      ページ: 294-297

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] コア入り圧電ファイバーを用いた衝撃荷重の位置同定2005

    • 著者名/発表者名
      裘 進浩
    • 雑誌名

      日本機械学会Dynamics and Design Conference CD-ROM論文集

      ページ: 711-711

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Modeling the lateral resonance mode of piezoelectric fibers with metal core2005

    • 著者名/発表者名
      裘 進浩
    • 雑誌名

      日本機械学会Dynamics and Design Conference CD-ROM論文集

      ページ: 716-716

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] スマート構造物用高性能アクチュエータ材料・素子の開発2004

    • 著者名/発表者名
      裘 進浩
    • 雑誌名

      日本航空宇宙学会誌 52巻・605号

      ページ: 160-166

    • NAID

      10013078568

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要 2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of Pb(Nb,Ni)O_3-Pb(Zr,Ti)O_3 Piezoelectric Ceramic Fibers by Extrusion of a Sol-Powder Mixture2004

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      Journal of Intelligent Material Systems and Structures Vol.15

      ページ: 643-653

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] コア入り圧電ファイバーを用いた気流感覚センサの開発に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      裘 進浩
    • 雑誌名

      日本AEM学会誌 12巻・4号

      ページ: 299-303

    • NAID

      110003829050

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of High-Performance Actuator Materials and Devices for Smart Structures2004

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      Journal of The Japan Society for Aeronautical and Space Sciences Vol.52, No.605

      ページ: 160-166

    • NAID

      10013078568

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] The Research of the Development of the Air Flow Sensor Using the Piezoelectric Fiber with Pt Core2004

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu
    • 雑誌名

      Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics Vol.12, No.4

      ページ: 299-303

    • NAID

      110003829050

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Fabrication of PNN-PZT Piezoelectric Ceramic Fibers by Extrusion of a Sol-Powder Mixture2004

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu, Junji Tani, Naoki Yamada, Yoshimasa Kobayashi
    • 雑誌名

      Proceedings of Smart Materials for Engineering and Biomedical Applications

      ページ: 55-64

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Fabrication and Properties of PNN-PZT Fibers with a Metal Core2004

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu, Junji Tani, Naoki Yamada, Daisuke Hoshi
    • 雑誌名

      Proceedings of the First International Symposium on Intelligent Artifacts and Bio-systems (1^<st> INABIO)

      ページ: 52-52

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Fabrication of Pb(Nb, Ni)O_3-Pb(Zr, Ti)O_3 Piezoelectric Ceramic Fibers by Extrusion of a Sol-Powder Mixture2004

    • 著者名/発表者名
      Jinhao Qiu, Junji Tani, Naoki Yamada, Yoshimasa Kobayashi, Hirofumi Takahashi
    • 雑誌名

      Journal of Intelligent Material Systems and Structures Vol.15

      ページ: 643-653

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] コア入りファイの気流センサへの応用に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      裘 進浩, 朴 馬中
    • 雑誌名

      第14回「MAGDAコンファレンス」電磁現象及び電磁力に関するコンファレンス講演論文集

      ページ: 238-243

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] コア入り圧電ファイバーを用いた気流感覚センサの開発に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      裘 進浩, 朴 馬中, 星 大輔, 谷 順二
    • 雑誌名

      日本AEM学会誌 12巻・4号

      ページ: 299-303

    • NAID

      110003829050

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書

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公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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