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オートチューニング機構付光干渉型マイクロセンサの開発

研究課題

研究課題/領域番号 16360446
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 地球・資源システム工学
研究機関東北大学

研究代表者

浅沼 宏  東北大学, 大学院・環境科学研究科, 助教授 (50250717)

研究分担者 新妻 弘明  東北大学, 大学院・環境科学研究科, 教授 (90108473)
江刺 正喜  東北大学, 未来科学技術共同研究センター, 教授 (20108468)
研究期間 (年度) 2004 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
10,900千円 (直接経費: 10,900千円)
2005年度: 3,100千円 (直接経費: 3,100千円)
2004年度: 7,800千円 (直接経費: 7,800千円)
キーワードマイクロセンサ / 加速度センサ / ファブリ・ペロー干渉計 / 動作点 / オートチューニング / MEMS
研究概要

本研究は,ファブリ・ペロー干渉計の原理による光干渉型センサに動作点制御用のフィードバック機構を組み込み,センサ製作時のギャップの個体差や,温度・重力・圧力等の外因によらず自動的に感度やダイナミックレンジを制御するセンサを製作し,それを用いた地下計測用多チャンネル光ファイバ計測システムを実現することを目的として実施した。本研究の成果は以下の通り。
1.ギャップ長制御用フィードバック機構の検討
(1),フィードバック機構を小型化するため,フィードバック機構について再検討し,試作する。また,センサとフィードバック用ディジタルLSIが一体化したハイブリッド構造について検討し,回路シミュレータにより基本的な設計と性能評価を実施した。
2.フィードバック機構を組み込んだセンサの試作
(1),オートチューニング機構を組み込んだ弾性波センサ,超音波センサを試作し,感度の変化,フィードバック機能の性能等を評価した。
3.多チャンネル計測システムの開発
(1),多重化方法,フィードバック方法による信号復元部,フィードバック部を製作し,超音波セ ンサおよび加速度センサを接続して多チャンネル計測システムとしての性能を評価した。
(2),東北大学学内の実坑井内,水中,地中での本システムの性能を評価し,地下計測用センサとしての適合性を評価した。
4.総括,成果の公表
(1),フィードバック機構を有する多チャンネル光干渉型センサシステムの設計,製作方法をまとめ,さらに今後の研究課題を明らかにした。
(2),本研究の成果を国際学術論文誌へ投稿した。

報告書

(3件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて 2006 2004

すべて 雑誌論文 (5件)

  • [雑誌論文] Development of an optical micro AE sensor with an automatic tuning system2006

    • 著者名/発表者名
      H.Asanuma
    • 雑誌名

      Journal of Acoustic Emission (印刷中)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of an optical micro AE sensor with an automatic tuning system2006

    • 著者名/発表者名
      H.Asanuma
    • 雑誌名

      Journal of Acoustic Emission (in press)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of an optical micro AE sensor with an automatic tuning system2006

    • 著者名/発表者名
      H.Asanuma, H.Ohishi, H.Niitsuma
    • 雑誌名

      Journal of Acoustic Emission (印刷中)

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Development of an optical micro AE sensor with an automatic tuning system2004

    • 著者名/発表者名
      H.Asanuma, H.Ohishi, H.Niitsuma
    • 雑誌名

      Progress in Acoustic Emission

      ページ: 49-54

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Automatic tuning of an optical ultrasonic microsensor based on the Fabry-Perot interferometer2004

    • 著者名/発表者名
      H.Asanuma, H.Ohishi, H.Niitsuma
    • 雑誌名

      Proc 9th International Conference on Optical MEMS and Their Applications

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書

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公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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