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第一原理分子動力学を用いたミクロンスケール結晶成長シミュレーションの開発

研究課題

研究課題/領域番号 16560023
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関鳥取大学

研究代表者

石井 晃  鳥取大学, 工学部, 教授 (70183001)

研究期間 (年度) 2004 – 2006
研究課題ステータス 完了 (2006年度)
配分額 *注記
3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
2006年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2005年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2004年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
キーワード第一原理計算 / 動的モンテカルロ法 / シミュレーション / 量子ドット / エピタキシャル成長 / InAs / GaAs(001) / GaN / ZnO / 青色発光材料 / GaAs / 動的モンテカルロシミュレーション
研究概要

基板の広い範囲を扱う必要のあるエピタキシャル成長のシミュレーションに第一原理計算の結果を採り入れる理論を、モデルとして基板表面上を移動する各原子の感じるmigration barrier potentialを第一近接原子と第二近接原子とで記述するものを提示し、それに沿って様々な系で基板上の原子の感じるポテンシャル等高線図の具体的な計算と動的モンテカルロ法シミュレーションを行った。研究成果の大部分は既に2007年初頭までに論文として出版された。
代表的な成果としては、青色発光材料としても仕えるワイドギャップ半導体酸化亜鉛の成長に関する諸研究で、ホモ系はもとより、サファイア(0O01)基板上、6H-SiC(0001)基板上、窒素終端GaN(000-1)基板上でのZnOの成長の素過程とそれに関連してエピタキシャル成長における極性制御を第一原理計算で予測。また、ZnO(000-1)面上のGaNのヘテロ成長における極性制御も第一原理計算によって予測。これは実験がまだ十分でない領域なので、理論計算からの予言となっている。また、GaN(0001)のホモエピタキシャル成長については動的モンテカルロシミュレーションのパラメータを各原子への原子間力の第一原理計算から求め、成長シミュレーションを行った。さらに、InAs/GaAs(001)表面で量子ドットが形成される場合に、最初に表面最上層にSbを導入しておくと形成されるInAs量子ドットが高密度で均一になるという実験結果を受けて、エピタキシャル成長シミュレーションの前段階として、まずGaSb/GaAs(001)の構造を第一原理計算で求め、これを東大でのその場観察STMの結果との比較で見て、実験と一致することを示した。
また、一般に成長しやすいと言われる化合物半導体の無極性表面の代表とも言えるGaAs(110)の成長を、以前に計算した第一原理計算によるGa原子、As原子の動きのバリアーエネルギーの結果を踏まえて、動的モンテカルロ法計算を行い、数十ナノというかなり大きなスケールで「魚」型の実験では既に観測されている窪みが計算上も再現されることを見いだした。
研究成果の一部は18年6月にウィーンで行われた半導体物理国際会議と、同年9月にイタリアのBonassolaで行われた量子ドットの国際ワークショップと分子線エピタキシー国際会議、11月の窒化物国際会議で発表し、特に量子ドット会議での招待講演で発表した研究成果は大きな反響を呼んだ。

報告書

(4件)
  • 2006 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2005 実績報告書
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (29件)

すべて 2007 2006 2005 2004

すべて 雑誌論文 (28件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Growth simulation of fish-like pit pattern on GaAs(110)2007

    • 著者名/発表者名
      石井晃, 小田泰丈
    • 雑誌名

      J. Cryst. Growth 301-302

      ページ: 30-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Structure of GaSb/GaAs(001) surface using the first principles calculation2007

    • 著者名/発表者名
      石井晃, 藤原勝敏, 塚本史郎他
    • 雑誌名

      J. Cryst. Growth 301-302

      ページ: 880-883

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Structure of GaSb/GaAs(001) surface using the first principles calculation2007

    • 著者名/発表者名
      A.Ishii, K.Fujiwara, S.Tsukamoto, N.Kakuda, K.Yamaguchi, Y.Arakawa
    • 雑誌名

      J.Cryst.Growth 301-302

      ページ: 880-883

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Growth simulation of fish-like pit pattern on GaAs(110)2007

    • 著者名/発表者名
      A.Ishii, Y.Oda
    • 雑誌名

      J.Cryst.Growth 301-301

      ページ: 30-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Structure of GaSb/GaAs(001) surface using the first principales calculation2007

    • 著者名/発表者名
      石井晃, 藤原勝敏, 塚本史郎他
    • 雑誌名

      J. Cryst. Growth 301-302

      ページ: 880-883

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Polarity Control of ZnO on N-Terminated GaN(000-1) Surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      藤原勝敏, 石井晃, 戎崎俊一他
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45

      ページ: 8578-8580

    • NAID

      40015145495

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 実績報告書 2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Epitaxial growth of ZnO crystal on the C-terminated 6H-SiC(000-1) surface using the first-principles calculation2006

    • 著者名/発表者名
      藤原勝敏, 石井晃, 阿部友紀他
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45

      ページ: 4926-4928

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Theoretical investigation on the structural properties of ZnO grown on sapphire2006

    • 著者名/発表者名
      藤原勝敏, 石井晃, 戎崎俊一他
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 4

      ページ: 544-547

    • NAID

      130004933941

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Polarity control of GaN grown on Zn0 (000-1) surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      小林, 川口, 太田, 藤岡, 藤原他
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 88

      ページ: 181907-181907

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Atomistic insights for the 'self-assembly' of InAs quantum dot formation on GaAs(001)2006

    • 著者名/発表者名
      塚本史郎
    • 雑誌名

      Sma11 2

      ページ: 386-389

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Epitaxial growth of ZnO crystal on the Si-terminated 6H-SiC(0001) surface using the first-principles calculation2006

    • 著者名/発表者名
      藤原勝敏
    • 雑誌名

      e-Journal of the Surface Science and Nanotechnology 4

      ページ: 254-257

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要 2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Atomistic insights for the 'self-assembly' of InAs quantum dot formation on GaAs(001)2006

    • 著者名/発表者名
      S.Tsukamoto, T.Homma, G.R.Bell, A.Ishii, Y.Arakawa
    • 雑誌名

      Small 2

      ページ: 386-389

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Epitaxial growth of ZnO crystal on the Si-terminated 6H-SiC(0001) surface using the first-principles calculation2006

    • 著者名/発表者名
      K.Fujiwara, A.Ishii, T.Abe, K.Ando
    • 雑誌名

      eJSSNT 4

      ページ: 254-257

    • NAID

      130004439003

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] First-Principles Calculation for the Polarity During ZnO Crystals Grown on the C-Terminated 6H-SiC(000-1) Surface2006

    • 著者名/発表者名
      K.Fujiwara, A.Ishii, T.Ebisuzaki, T.Abe, K.Ando
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.45 No.6A

      ページ: 4926-4928

    • NAID

      10018148202

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Polarity control of GaN grown on ZnO(000-1) surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      A.Kobayashi, Y.Kawaguchi, J.Ohta, H.Fujioka, K.Fujiwara, A.Ishii
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Lett. 88,181907

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Theoretical investigation on the structural properties of ZnO grown on sapphire2006

    • 著者名/発表者名
      K.Fujiwara, A.Ishii, T.Ebisuzaki, T.Abe, K.Ando
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology Vol.4 No.0

      ページ: 544-547

    • NAID

      130004933941

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Polarity Control of ZnO on N-Terminated GaN(000-1) Surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      K.Fujiwara, A.Ishii, T.Ebisuzaki, T.Abe, K.Ando
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics Vol.45, No.11

      ページ: 8578-8580

    • NAID

      40015145495

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Epitaxial growth of ZnO crystal on hte C-terminated 6H-SiC(000-1) surface using the first-principles calculation2006

    • 著者名/発表者名
      藤原勝敏, 石井晃, 阿部友紀他
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 45

      ページ: 4926-4928

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Theoretical investigation on the structural properties of ZnO growth on sapphire2006

    • 著者名/発表者名
      藤原勝敏, 石井晃, 戎崎俊一他
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 4

      ページ: 544-547

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Polarity control of GaN growth on ZnO(100-1) surface2006

    • 著者名/発表者名
      小林, 川口, 太田, 藤岡, 藤原他
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett. 88

      ページ: 181907-181907

    • 関連する報告書
      2006 実績報告書
  • [雑誌論文] Atomistic insights for the ‘self-assembly' of InAs quantum dot formation on GaAs(001)2006

    • 著者名/発表者名
      塚本史郎
    • 雑誌名

      Small 2

      ページ: 386-389

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Growth mechanism of GaN on the O-terminated ZnO(000-1) surfaces2006

    • 著者名/発表者名
      藤原勝敏
    • 雑誌名

      Condensed Matter cond-mat 0603095

      ページ: 4-4

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] The kinetic Monte Carlo Simulation scheme of the homoepicaxial growth of GaAs(001) for heterostructural growth on Ga2005

    • 著者名/発表者名
      A.Ishii, M.Tsukao, N.Toda, S.Oshima
    • 雑誌名

      arXiv : cond-mat 0501233

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] The kinetic Monte Carlo Simulation scheme of the homoepicaxial growth of GaAs(001) for heterostructural growth on GaAs(001) substrate.2005

    • 著者名/発表者名
      A.Ishii, M.Tsukao, N.Toda, S.Oshima
    • 雑誌名

      cond-mat/0501233

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] The kinetic Monte Carlo Simulation scheme of the homoepicaxial growth of GaAs(001) for heterostructural growth on GaAs(001) substrat2005

    • 著者名/発表者名
      A.Ishii, M.Tsukao, N.Toda, S.Oshima
    • 雑誌名

      arXiv : cond-mat 0501233(on Web )

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] SIMULATION STUDY FOR RF-MBE OF GAN(0001) USING THE FIRST PRINCIPLES CALCULATION AND THE KINETIC MONTE CARLO METHOD2004

    • 著者名/発表者名
      石井 晃
    • 雑誌名

      State-of-Art Program on Compound Semiconductors XLI and Nitride and Wide Bandgap Semiconductors for Sensors, Phot onics and Electronics V (H. M. Ng and A. G. Beca編集の

      ページ: 504-504

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Simulation study for RF-MBE of GaN(0001) using the first principles calculation and the kinetic Mone Carlo method2004

    • 著者名/発表者名
      A.Ishii, M.Taniguchi, K.Fujiwara, S.Koyama
    • 雑誌名

      State-of-Art Program on Compound Semiconductors XLI and Nitride and Wide Bandgap Semiconductors for Sensors, Photonics and Electronics V, Proceedings (The electrochemical Society Inc., USA) Volume 2004-06

      ページ: 504-511

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] SIMULATION STUDY FOR RF-MBE OF GAN(0001) USING THE FIRST PRINCIPLES CALCULATION AND THE KINETIC MONTE CARLO METHOD2004

    • 著者名/発表者名
      石井 晃
    • 雑誌名

      State-of-Art Program on Compound Semiconductors XLI and Nitride andWide Bandgap Semiconductors for Sensors, Photonics and Electronics V (H.M.Ng and A.G.Beca編集の一部)

      ページ: 504-504

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [産業財産権] 量子ドットの形成方法および量子ドット装置2005

    • 発明者名
      石井 晃, 藤原 勝敏, 大島 俊輔
    • 権利者名
      国立大学法人鳥取大学
    • 産業財産権番号
      2005-042680
    • 出願年月日
      2005-02-18
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書

URL: 

公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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