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電界砥粒制御技術を加工エンジンとしたμTAS用マイクロ流路創製技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 16560110
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関秋田県産業技術総合研究センター (2005)
秋田県工業技術センター (2004)

研究代表者

赤上 陽一  秋田県産業技術総合研究センター, 主任研究員 (00373217)

研究分担者 梅原 徳次  名古屋大学, 大学院・工学研究科機械理工学専攻, 教授 (70203586)
加藤 勝  秋田県産業技術総合研究センター, 研究員 (90390921)
研究期間 (年度) 2004 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
3,700千円 (直接経費: 3,700千円)
2005年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
2004年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
キーワード砥粒 / 機能性流体 / 交流電界 / ダイヤモンド砥粒 / シリコンオイル / マイクロ流路 / μTAS
研究概要

研究では,精密加工技術と医療技術を融合安価で高い信頼性を有する医療機器の開発を目指している.具体的には,赤上が提案している電界砥粒制御技術を用いた新たな加工技術を開発することである.絶縁性流体であるシリコーンオイルを溶媒に,分散粒子である砥粒を分散させた粒子分散型流体に,交流電界を与えると電界下の砥粒の配置コントロールが可能な技術である.本技術を用いることで、ガラス基板上に微細流路を創製することができる.すなわちフッ酸等の化学エッチングを用いる工法より工作機械で加工するよりも、より環境に優れた製造技術を得ることを目指した.
平成17年度は,加工創製装置の試作として,基本設計並び装置化を実施した.その概要を以下に示す.
(加工装置の開発)
(1)電界を供給する見かけ上の電極の一方は工具とした。その工具の回転は電界が供給可能なエアースピンドルを用いた.工具のz軸方法の位置出し操作にはサブミクロン精度を有するステージ(本事業で導入した装置)を配置し、その距離は砥粒の平均粒径長とした.(2)用いた工具の形状はロッド棒で長さ40mm、導電性を有し、かつ高硬度材として知られる直径3mmのタングステンカーバイト製超硬合金(WC製)とした.他方の電極は工作物の下に配置した.工具の配置は、中心における周速が期待出来ないこと,工具と工作物面が最短距離になるように,エアースピンドルは回転テーブルで工作物の対して傾斜確度をもたせて配置させた.
(研究成果)
(1)基本的な加工装置の開発:完了
(2)得られた実験装置にて,加工実験を実施した結果,マイクロ流路の創製
(3)工具先端に砥粒が集まり作用している様子を確認に成功した.
(4)迅速加工が可能である。(5mm/10sec)

報告書

(3件)
  • 2005 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (16件)

すべて 2006 2005 2004

すべて 雑誌論文 (14件) 産業財産権 (2件)

  • [雑誌論文] A Novel Polishing Method using Abrasive Dispersion Typed Functional Fluid2006

    • 著者名/発表者名
      Yoichi Akagami
    • 雑誌名

      The 2nd JSME/ASME Internation Conference on Materials and Processing 2005-The 13th JSME Materials and Processing Conference(M&P2005)-

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of electrically controlled polishing With dispersion type ER fluid AC electric field2006

    • 著者名/発表者名
      Yoichi Akagami Noritsugu Umehara
    • 雑誌名

      WEAR 260

      ページ: 345-350

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Engineering surface and development of a DNA Micro array chip2006

    • 著者名/発表者名
      Yoichi Akagami Noritsugu Umehara et al.
    • 雑誌名

      WEAR 260

      ページ: 274-286

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Development of electrically controlled polishing with dispersion type ER fluid AC electric field2006

    • 著者名/発表者名
      Yoichi Akagami, Noritsugu Umehara
    • 雑誌名

      WEAR 260

      ページ: 345-350

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Engineering surface and development of a DNA micro array chip2006

    • 著者名/発表者名
      Yoichi Akagami, Noritsugu Umehara et al.
    • 雑誌名

      WEAR 260

      ページ: 274-286

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] A Novel Polishing Method using Abrasive Dispersion Typed Functional Fluid2006

    • 著者名/発表者名
      Yoichi Akagami
    • 雑誌名

      The 2nd JSME/ASME International Conference on Materials and Processing 2005- The 13th JSME Materials and Processing Conference (M&P2005)

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Development of electrically controlled polishing With dispersion type ER fluid AC electric field2006

    • 著者名/発表者名
      Yoichi Akagami, Noritsugu Umehara
    • 雑誌名

      WEAR 260

      ページ: 345-350

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Engineering surface and development of a DNA Micro array chip2006

    • 著者名/発表者名
      Yoichi Akagami, Noritsugu Umehara et al.
    • 雑誌名

      WEAR 260

      ページ: 274-286

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 電界砥粒制御技術を用いた加工方法の開発III2005

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一, 加藤 勝
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会技術講演論文集

      ページ: 263-264

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 電界砥粒制御技術を用いた小径管内側面仕上げ加工技術の開発2005

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一, 菊地徳美, 佐々木節男
    • 雑誌名

      2005年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集

      ページ: 123-124

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 実績報告書 2005 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] 電界砥粒制御技術を用いた加工方法の開発III2005

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一, 加藤 勝
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演論文集

      ページ: 263-264

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 電界砥流制御技術を用いた加工方法の開発II2005

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一, 加藤 勝
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演論文集

      ページ: 2-2

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 電界砥流制御技術を用いた加工方法の開発I2004

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一, 加藤 勝
    • 雑誌名

      2004年度精密工学秋秋季大会学術講演論文集

      ページ: 2-2

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] 機能性流体を用いた電界砥流研磨技術2004

    • 著者名/発表者名
      赤上陽一
    • 雑誌名

      砥粒加工学会誌 48・11

      ページ: 4-4

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [産業財産権] 精密加工技術として用いられる切削加工方法および切削加工装置2005

    • 発明者名
      赤上陽一
    • 権利者名
      秋田県
    • 出願年月日
      2005-03-10
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2005 研究成果報告書概要
  • [産業財産権] 精密加工技術として用いられる切削加工方法及び切削加工装置2005

    • 発明者名
      赤上 陽一
    • 権利者名
      秋田県
    • 出願年月日
      2005-03-10
    • 関連する報告書
      2004 実績報告書

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公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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