研究課題
基盤研究(C)
平成16年度では本学マイクロデバイスセンターにおいて、各種MEMS装置を用いてマイクロ流路を実際に試作した。各種MEMS製造装置の実験条件を把握し、シリコンウェとガラス基板とのサンドイッチ構造をした一辺が100マイクロメートルのほぼ正方形断面の流路を作成した。昨年度の平成17年度実施の「マイクロPTのソフトウェア開発」では、1)マイクロPT用感度マップの計算、および、2)マイクロPT用の高精度な逆問題解析手法のコード開発を行なった。1)では、ラプラス方程式を境界条件で解き、ガウス式よりキャパシタンスの順問題について解法プログラムを汎用ソフトウェアのマセマティカで、作成した。2)では、一般ベクトル化サンプルパターンマッチング法という、まったく新しい逆問題の解法を考案し、そのプログラミングを行い、実際の計測におけるチューニングを行った。平成18年度はそれらを踏まえて、本学船橋校舎のマイクロデバイスセンターにて、(1)マイクロ流路を実際に作製し、そのためのマスクアライナーとICPエッチング装置のレシピ(条件)を検討した。また、(2)マイクロ流路への電極配置の実製作し、マイクロ流路製造のノウハウをマスターし、スパッタリングを用いて、MEMS技術により、マイクロ電極を作製した。さらに、(3)流れのインピーダンス計測を行い、昨年度の実績のある画像再構成コードを、ナノ粒子流体に適用し、電極つきのマイクロ流路において、ナノ粒子とインピーダンスとの関係を測定した。そして、そのマイクロ流路内のナノ粒子濃度分布の可視化計測に成功した。
すべて 2007 2006 2005 2004
すべて 雑誌論文 (41件) 図書 (1件)
International Journal of Thermal Sciences, Elsevier Vol.46,No.2
ページ: 139-148
International Journal of Wavelets, Multiresolution and Information Processing 4・2
ページ: 239-251
ページ: 227-238
Journal of Visualization 9・3
ページ: 265-274
噴流工学(日本ウォータージェット学会誌) 23・2
ページ: 4-10
ページ: 11-16
40007429571
Measurement Science and Technology 17
ページ: 2104-2112
可視化情報学会論文集 26・8
ページ: 81-88
130004955831
Journal of Visualization 9・4
ページ: 445-455
日本機械学会論文集B 72-B
ページ: 64-71
110006148741
Journal of Jet Flow Engineering 23・2
Journal of the Visualization Society of Japan 26・8
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers 72-B
International Journal of Wavelets, Multiresolution and Information Processing(IJWMIP) Vol.4,No.2
Journal of Visualization Vol.9,No.3
Measurement Science and Technology Vol.17
ページ: 2014-2112
日本機械学会論文集B Vol.72-B,No.723
International Journal of Wavelets, Multiresolution and Information Processing 掲載号未定(掲載決定)
Journal of Visualization 掲載号未定(掲載決定)
Chemical Engineering Journal 掲載号未定(掲載決定)
日本機械学会論文集B編 71・703
ページ: 745-752
Journal of Fluids Engineering, ASME 127・5
ページ: 1047-1047
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers 71・703
Journal of Fluids Engineering (ASME) 127・5
Jouranal of Fluides Engineering, ASME 127.5
International Journal of Wavelets, Multiresolution and Information Processing (IJWMIP), World Scientific Publishing Vol.3, No.1(未定)
日本機械学会論文集B編 Vol.71, No.703(未定)
110005051462
日本機械学会英文論文集 47・2
ページ: 369-377
110004826626
Powder Technology, Elsevier 142
ページ: 70-78
Measurement Science and Technology, Institute of Physics 15
ページ: 1371-1381
Particulate Science and Technology, Taylor ＆ Francis 22・2
ページ: 107-118
The Japan Society of Mechanical Engineers, Series A 47・2
Powder Technology (Elsevier) 142
Measurement Science and Technology (Institute of Physics) 15
Particulate Science and Technology (Taylor ＆ Francis) 22・2
The Japan Society of Mechanical Engineers(目本機械学会英文論文集) Vol.47, No.2
Powder Technology, Elsevier Vol.142
Measurement Science and Technology, Institute of Physics Vol.15
ページ: 1-11
Particulate Science and Technology : An International Journal, Taylor & Francis Vol.22
ページ: 110-118
