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マイクロ部品・材料における皮労強度測定方法およびデータ解析・収集に関する研究

研究課題

研究課題/領域番号 16560226
研究種目

基盤研究(C)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 知能機械学・機械システム
研究機関香川大学

研究代表者

三原 豊  香川大学, 工学部, 教授 (50314901)

研究分担者 大平 文和  香川大学, 工学部, 教授 (80325315)
平田 英之  香川大学, 工学部, 教授 (90304576)
橋口 原  香川大学, 工学部, 教授 (70314903)
吉村 英徳  香川大学, 工学部, 助教授 (30314412)
細木 真保 (細木 真帆)  香川大学, 工学部, 助教 (50363180)
研究期間 (年度) 2004 – 2006
研究課題ステータス 完了 (2006年度)
配分額 *注記
3,700千円 (直接経費: 3,700千円)
2006年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
2005年度: 1,800千円 (直接経費: 1,800千円)
2004年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
キーワード疲労 / マイクロ部品 / ナノスケール / 曲げ試験 / 櫛歯アクチュエータ / マイクロ部材疲労強度試験 / ナノ部材疲労強度試験 / フォトリソプロセス / 半導体歪みゲージ / 櫛歯形アクチュエーター / 金属コーティング材
研究概要

本研究では,バイオ分野における光通信部品や医療・健康管理における計測・医療機器などへの適用拡大が期待されているマイクロ部品について,その疲労強度特性の評価方法の確立を目指し,疲労試験機の開発をまず行った。この試験機の開発のために,まず櫛歯型アクチュエータの基本構造を設計した。設計に際しては,櫛歯部で発生する静電気力の解析や試験器本体の構造の変形解析などから櫛歯の本数大きさなどの詳細形状を決定した。設計に基づき微細加工技術で試験機を試作発生荷重などの性能を評価した。合わせて種々の疲労試験片をやはり微細加工技術により作製し,開発した試験機を用いて種々のマイクロ部材の疲労強度特性を取得した。
さらに上記の実験の中で明らかになってきた試験片の寸法に依存して強度が変化する問題に着目し,試験データのデータ解析手法の研究を行った。この検討のために,新たに4種類の大きさの試験片を作成し,強度のばらつき分布をワイブル分布に当てはめて評価した。また,ワイブル統計を用いた最弱リンクモデルで強度の低下傾向を理論的に導いた。
最弱リンクモデルから理論的に導かれる強度の低下傾向と実験結果とは,良い一致を示した。このことから,マイクロ部材の強度の体積依存性は,本質的に最弱リンクモデルから理論的に導かれるような現象ではないかとも考えられる。

報告書

(4件)
  • 2006 実績報告書   研究成果報告書概要
  • 2005 実績報告書
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (2件)

すべて 2007

すべて 雑誌論文 (2件)

  • [雑誌論文] Evaluation of scale dependent of fast fracture strength of micro component2007

    • 著者名/発表者名
      岡崎敏和, 中村俊介, 平田英之, 三原豊, 吉村英徳
    • 雑誌名

      IEEE International Conference on Mechatronics and Automation (採択済み)

    • NAID

      40016818250

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要
  • [雑誌論文] Evaluation of Scale Dependent of Fast Fracture Strength of Micro Component2007

    • 著者名/発表者名
      Toshikazu Okazaki, Shunsuke Nakamura, Hideyuki Hirata, Yutaka Mihara, Hidenori Yoshimura
    • 雑誌名

      IEEE International Conference on Mechatronics and Automation (Accepted)

    • NAID

      40016818250

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • 関連する報告書
      2006 研究成果報告書概要

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公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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