• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

新医療福祉機器を目指した大気圧室温プラズマ生成

研究課題

研究課題/領域番号 16654096
研究種目

萌芽研究

配分区分補助金
研究分野 プラズマ科学
研究機関佐賀大学

研究代表者

大津 康徳  佐賀大学, 理工学部, 助教授 (50233169)

研究期間 (年度) 2004 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
3,400千円 (直接経費: 3,400千円)
2005年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
2004年度: 1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
キーワード大気圧室温プラズマ / バリア放電 / 低融点材料 / メッシュ電極 / 生体模擬材料 / 表面改質 / 撥水性 / プラズマ照射 / 大気圧バリア放電 / 誘電体 / 商用周波数 / ガス温度
研究概要

プラズマは、電子、イオンの荷電粒子の他に、種々の反応性を有する多量のラジカルから構成される。イオンやラジカルは、ドライエッチングやプラズマCVD等のプラズマプロセスで周知の様に、様々な化合物と相互作用を行い、表面改質や未知の反応過程を経て新たな物質を創製できる。従って、これらの粒子は、様々な化合物で構成されている生体との反応により、生体に対して有機的な役割を果たす可能性が期待できる。生体とプラズマを相互作用させるためには、大気圧かつ室温のプラズマを生成しなければならない。本研究では、新医療福祉機器を目指した大気圧室温プラズマの生成を実現させることを目的とする。具体的には、比較的ガス温度が低いバリア放電方式を採用し、下部電極構造をメッシュ電極にすることで低温大気圧プラズマを実現した。更に、低融点材料(PET、PP)の表面処理を行った。
平成16年度に構築したメッシュ電極を用いた大気圧室温プラズマを用いて、PETフィルム等へのプラズマ照射実験を行った。その照射後の表面状態評価として、撥水性や膜質の分析を水接触角計やFTIR分析計により評価を行った。プラズマ照射実験では、導入ガス、混合ガスの種類、ガス流量、照射時間などを変化させて、PP(手書きOHPシート)やPETフィルム(複写用OHPシート)の表面状態変化を調べた。その結果、PPフィルムに対しては、プラズマ照射後に、撥水性の向上が観測された。その撥水性は、照射時間のみに依存し、ガスの種類や流量には依存しないことがわかった。一方、PETフィルムでは、PPフィルムと同じ条件範囲では、撥水性はほとんど変化しなかった。PPの融点は、PETのそれに比べて低い。このことから、本研究で開発した大気圧室温プラズマは低融点材料の表面改質に適していることが明らかとなった。この成果により、今後、プラズマと生体との相互作用へ展開が期待できる。

報告書

(2件)
  • 2005 実績報告書
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2006 2005 2004

すべて 雑誌論文 (7件)

  • [雑誌論文] Ar/0_2 gas pressure dependence of atomic concentration of zirconia prepared by zirconium pulse arc PBII&D2006

    • 著者名/発表者名
      K.Yukimura, H.Yoshinaga, Y.Ohtsu, H.Fujita, K.Nakamura, X.Ma
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B : Beam Interactions with Materials and Atoms Vol.242

      ページ: 318-320

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Preparation of zirconium oxide thin film using inductively coupled oxygen plasma sputtering2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, M.Egami, H.Fujita, K.Yukimura
    • 雑誌名

      Surf. Coat. Technol. Vol.196

      ページ: 81-84

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Influence of oxide material on high density plasma production using capacitively coupled discharge2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, T.Shimazoe, T.Misawa, H.Fujita
    • 雑誌名

      Abstract of 7^<th> Asia Pacific Conference on Plasma Science and Technology, 17^<th> Symposium on Plasma Science for Materials

      ページ: 432-432

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Influence of substrate biasing on (Ba,Sr)TiO_3 films prepared by electron cyclotron resonance plasma sputtering2004

    • 著者名/発表者名
      T.Matsumoto, A.Niino, Y.Ohtsu, T.Misawa, A.Yonesu, H.Fujita, S.Miyake
    • 雑誌名

      Japanese Journal Applied Physics 43・3

      ページ: 1144-1148

    • NAID

      10012715477

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] High ozone generation with a high-dielectric constant material2004

    • 著者名/発表者名
      M.Toyofuku, Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Japanese Journal Applied Physics 43・7

      ページ: 4368-4372

    • NAID

      10013317821

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Measurement of ion temperature in magnetized inductively coupled plasma with external helical antenna2004

    • 著者名/発表者名
      I.Mihaila, Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Physic Letters A 327

      ページ: 327-331

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Production of high-density capacitively coupled radio-frequency discharge plasma by high-secondary-electron-emission oxide2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Ohtsu, H.Fujita
    • 雑誌名

      Applied Physic Letter 85・21

      ページ: 4875-4877

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書

URL: 

公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi