• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

大気圧PLD生成RGBフルカラー有機EL素子

研究課題

研究課題/領域番号 16760027
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関佐世保工業高等専門学校

研究代表者

大島 多美子  佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 講師 (00370049)

研究期間 (年度) 2004 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
2,600千円 (直接経費: 2,600千円)
2005年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2004年度: 1,500千円 (直接経費: 1,500千円)
キーワードパルスレーザデポジション / 有機エレクトロルミネッセンス / 薄膜 / フォトルミネッセンス / パルスレーザ堆積(PLD)法 / 有機EL薄膜 / プラズマプルーム / 発光分光
研究概要

KrFエキシマレーザ(248nm),Nd:YAGレーザの基本波(1064nm)および第2高調波(532nm)の波長の異なる3種類のレーザを用い,大気圧下パルスレーザ堆積(PLD)プロセスによるAlq_3,TPD,PVCz有機EL薄膜の作製を目的とした。まず,レーザパラメータ(レーザ波長,レーザフルエンス)が堆積膜に及ぼす影響や,アブレーション時の発光粒子挙動を調べ,最適作製条件を求めた。その結果Alq_3,TPD薄膜において,レーザパラメータが堆積膜の構造・光学特性や堆積プロセスに影響することを,X線回折装置,光透過スペクトル,フォトルミネッセンス測定により明らかにした。またポリマーPVCz薄膜の形成では,プロセス条件と堆積膜との相関関係を赤外吸収分光計により定量的に検証した。これよりPLDプロセスは,次世代自発光有機材料作製プロセスとしての可能性を示した。次に,様々な雰囲気ガス種およびガス圧力下で有機薄膜の作製を行い,真空中に比べて窒素(N_2)ガスを用いた場合に堆積膜の特性が改善された。これはアブレーション過程でターゲット材から分解されたN原子が,N_2ガスを用いることによって効率良く膜中に取り込まれたためであり,フーリエ変換型赤外分光光度計で構造特性の改善が確認された。またN_2ガス圧力の増加(〜200mTorr)に伴い,フォトルミネッセンススペクトル強度が大きく現れたことから,適当な圧力でN_2ガスを封入することにより,発光特性の改善を行うことができた。さらに大気圧に近い圧力下で薄膜の作製を試みたが,アブレーション粒子が基板に到達するためにはターゲット-基板間距離を近づけることが重要となり設計等が難しいことから,予め最適作製条件下で透明基板上に堆積した有機薄膜に背面からレーザを照射することにより,接近させた別の基板上にドット転写する新しい手法が考えられる。

報告書

(2件)
  • 2005 実績報告書
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2005 2004

すべて 雑誌論文 (9件)

  • [雑誌論文] パルスレーザデポジション法による有機発光薄膜の作製2005

    • 著者名/発表者名
      大島多美子
    • 雑誌名

      電気学会論文誌A部門 125・4

      ページ: 6-6

    • NAID

      10015576933

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Preparation of nitrogen-doped titanium oxide thin film using a PLD method as parameters of target material and nitrogen concentration ratio in nitrogen/oxygen gas mixture2005

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Suda
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 475

      ページ: 5-5

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Preparation of carbon nano-materials using arc discharge in liquid2005

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Suda
    • 雑誌名

      Material Research Society 829

      ページ: 6-6

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Preparation of nitrogen-doped titanium oxide thin film using a PLD method as parameters of target material and nitrogen concentration ratio in nitrogen/oxygen gas mixture2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Suda, H.Kawasaki, T.Ueda, T.Ohshima
    • 雑誌名

      Thin Solid Films Vol.475

      ページ: 337-341

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Preparation of Carbon Nano-Materials Using Arc Discharge in Liquid2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Suda, H.Kawasaki, T.Ohshima, S.Nakashima, S.Kawazoe, T.Toma
    • 雑誌名

      Material Research Society Vol.829

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Properties of metal doped tungsten oxide thin films for NO_x gas sensors grown by PLD method combined with sputtering process2004

    • 著者名/発表者名
      Hiroharu Kawasaki
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators B : Chemical 100

      ページ: 4-4

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Preparation of high quality nitrogen doped TiO_2 thin films as a photocatalyst using a pulsed laser deposition method2004

    • 著者名/発表者名
      Yoshiaki Suda
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 453-454

      ページ: 5-5

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Preparation of high quality nitrogen doped TiO_2 thin film as a photocatalyst using a pulsed laser deposition method2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Suda, H.Kawasaki, T.Ueda, T.Ohshima
    • 雑誌名

      Thin Solid Films Vol.453-454

      ページ: 162-166

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Properties of metal doped tungsten oxide thin films for NO_x gas sensors grown by PLD method combined with sputtering process2004

    • 著者名/発表者名
      H.Kawasaki, T.Ueda, Y.Suda, T.Ohshima
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators B : Chemical Vol.100

      ページ: 266-269

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書

URL: 

公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi