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レーザアブレーションによる触媒ならびにカーボンナノチューブの一貫プロセス

研究課題

研究課題/領域番号 16760240
研究種目

若手研究(B)

配分区分補助金
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関北海道大学

研究代表者

須田 善行  北海道大学, 大学院・情報科学研究科, 助手 (70301942)

研究期間 (年度) 2004 – 2005
研究課題ステータス 完了 (2005年度)
配分額 *注記
3,500千円 (直接経費: 3,500千円)
2005年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
2004年度: 2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
キーワードカーボンナノチューブ / カーボンナノファイバ / レーザアブレーション / 化学気相堆積 / 炭素微粒子 / 触媒 / 拡散係数 / 成長制御
研究概要

本研究では、レーザアブレーション(LA)と化学気相堆積(CVD)とを融合した「レーザ熱化学気相堆積」という新規手法によりカーボンナノファイバ(CNF)を成長させる。2カ年計画の最終年度にあたり、本年度はCNFの成長機構について考察した。(1)まずは、触媒による成長の違いについて調べた。PdやPdNi触媒から成長したCNFは他のNiやNiCoに比べて太くなった。Pd中の炭素原子の拡散係数(1100℃において1.76×10^<10>m^2/s)はNiやCo中の値に対して数倍高いことがCNFを太く成長させたと考えられる。(2)先の結果は、金属中炭素原子の拡散係数が温度とともに増加し、本実験でもCNFが温度増加により太くなった、ということからも裏付けられる。(3)次いで、LAにより供給される炭素微粒子とCNFとの相関について調べた。触媒の付いていない基板上に堆積した炭素微粒子径を測定したところ、炭素微粒子径とCNF直径とには明確な相関が見られ、微粒子はターゲットからの距離に応じて大きくなることが分かった。(4)さらに、触媒付き基板上から成長したCNFの直径・長さからCNFの体積を見積もり、触媒なし基板上に堆積した炭素微粒子の質量と比較した。ターゲットからの距離により両者の傾向は一致し、40mm付近にて最大値を持つことが明らかとなった。(5)以上より、本CNF成長実験において、LAにより蒸発された炭素原子分子群が雰囲気ガスとの衝突により凝縮し微粒子となり、これらが触媒の付いた基板上に供給されることでCNFが成長する、という成長機構が明らかとなった。本機構は、熱CVDにてCH_4等の炭化水素を用いたカーボンナノチューブ成長で論じられているものとほぼ同じであり、純粋な炭素によるCNF等の1次元物質の成長にも適用できることが明らかとなった。

報告書

(2件)
  • 2005 実績報告書
  • 2004 実績報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて 2006 2005 2004

すべて 雑誌論文 (25件)

  • [雑誌論文] Predicting the amount of carbon in carbon nanotubes grown by CH_4 rf plasmas2006

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Okita
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics 99

      ページ: 14302-14302

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Analysis of plasma for carbon nanotube growth by plasma-enhanced chemical vapor deposition2006

    • 著者名/発表者名
      A.Ozeki
    • 雑誌名

      Mater.Res.Soc.Symp.Proc.

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Carbon nanotube growth on metal-catalyzed substrates in a laser oven apparatus2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Suda
    • 雑誌名

      Mater.Res.Soc.Symp.Proc. 858E

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Plasma-assisted pulsed laser deposition of carbon films : effect of oxygen plasma on amorphous carbon film etching2006

    • 著者名/発表者名
      M.Itoh
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 506-507

      ページ: 96-100

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Correlation between a-C : H film properties and Ar/CH_4 dielectric barrier discharge2006

    • 著者名/発表者名
      M.A.Bratescu
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 506-507

      ページ: 145-149

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Growth of carbon nanofibers by laser ablation of graphite -dependence on catalysts and substrate position-2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Suda
    • 雑誌名

      Proceedings of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing

      ページ: 515-516

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Quantitative Investigation of Carbon Amount in Carbon Nanotubes Grown by Methane/Hydrogen Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition2006

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Okita
    • 雑誌名

      Proceedings of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing

      ページ: 519-520

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Effect of Hydrogen Plasma Reduction Time on Carbon Nanotube Growth in Plasma-Enhanced CVD2006

    • 著者名/発表者名
      Atsushi Ozeki
    • 雑誌名

      Proceedings of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing

      ページ: 517-518

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Deposition of tungsten carbide films by a hybrid system of RF sputtering and plasma-based ion implantation and deposition (PBII&D)2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Suda
    • 雑誌名

      Proceedings of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing

      ページ: 655-656

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Production of shunting arc assisted hybrid plasma for carbon based composite film preparation2006

    • 著者名/発表者名
      K.Takaki
    • 雑誌名

      Proceedings of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing

      ページ: 445-446

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Effect of temperature, pressure, and gas ratio of methane to hydrogen on the synthesis of double-walled carbon nanotubes by chemical vapour deposition2005

    • 著者名/発表者名
      G.Y.Xiong
    • 雑誌名

      Nanotechnology 16

      ページ: 532-535

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] レーザ熱化学気相堆積法によるカーボンナノファイバーの生成2005

    • 著者名/発表者名
      田中 明秀
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-05-69

      ページ: 79-84

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 1次元流体モデルによるCH_4プラズマ解析とそのプラズマによるカーボンナノチューブ生成2005

    • 著者名/発表者名
      沖田 篤士
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-05-68

      ページ: 73-78

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] アルコール化学気相堆積法によるカーボンナノチューブの生成とガスセンサー特性の評価2005

    • 著者名/発表者名
      早川 祐希
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-05-70

      ページ: 85-90

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] C_8F_<18>プラズマCVDによる低誘電率膜堆積とその化学的,電気的特性2005

    • 著者名/発表者名
      田澤 将太
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-05-67

      ページ: 67-72

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] RFスパッタを用いたカーボン膜生成2005

    • 著者名/発表者名
      小野 浩之
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-05-157

      ページ: 29-34

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] 全方位シャンティングアーク放電による窒素を含むアモルファスカーボン薄膜生成2005

    • 著者名/発表者名
      江古 憲一
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-05-148

      ページ: 29-34

    • 関連する報告書
      2005 実績報告書
  • [雑誌論文] Investigation of excited species in a carbon ablation plume in nitrogen gas environment2005

    • 著者名/発表者名
      M.A.Bratescu
    • 雑誌名

      Plasma Processes and Polymers 1

      ページ: 489-498

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Growth of carbon nanotubes on Fe or Ni-coated Si substrate by feeding with carbon from a graphite ablation plume2004

    • 著者名/発表者名
      須田 善行
    • 雑誌名

      Appl.Phys.A 79

      ページ: 1331-1333

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Spectroscopic measurements of excited particles in a N2 gas RF plasma-assisted carbon laser ablation2004

    • 著者名/発表者名
      M.A.Bratescu
    • 雑誌名

      Appl.Phys.A 79

      ページ: 1083-1088

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Amorphous carbon nitride film preparation by plasma-assisted pulsed laser deposition method2004

    • 著者名/発表者名
      伊藤 雅孝
    • 雑誌名

      Appl.Phys.A 79

      ページ: 1575-1578

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Amorphous fluorocarbon polymer (a-C : F) films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition from perfluoro-octane (C8F18) vapor I : Deposition, morphology, structural and chemical properties2004

    • 著者名/発表者名
      Costel Biloiu
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.A 22

      ページ: 13-19

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] Laser Spectroscopy of the Ar(1s3,5) and CH in Ar+CH4 DBD for a-C : H Deposition System2004

    • 著者名/発表者名
      吉崎 泰直
    • 雑誌名

      IEEJ Trans.FM 124・2

      ページ: 158-163

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] プラズマ化学気相堆積によるカーボンナノチューブ生成と発光分光診断2004

    • 著者名/発表者名
      沖田 篤士
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-04-65

      ページ: 1-6

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書
  • [雑誌論文] N_2ガス中RFプラズマ支援炭素アブレーションプルームの光学的および電気的特性の診断2004

    • 著者名/発表者名
      佐倉 伸和
    • 雑誌名

      電気学会研究会資料 放電研究会 ED-04-66

      ページ: 7-12

    • 関連する報告書
      2004 実績報告書

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公開日: 2004-04-01   更新日: 2016-04-21  

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