| 研究課題/領域番号 |
16H03840
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
ナノマイクロシステム
|
|---|
| 研究機関 | 新潟大学 |
|---|
研究代表者 |
安部 隆 新潟大学, 自然科学系, 教授 (00333857)
|
|---|
| 研究協力者 |
寒川 雅之
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
|
| 配分額 *注記 |
19,110千円 (直接経費: 14,700千円、間接経費: 4,410千円)
2018年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2017年度: 9,490千円 (直接経費: 7,300千円、間接経費: 2,190千円)
2016年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
|
|---|
| キーワード | センサ・デバイス / 耐久性 / 機能性金属 / 生産技術 / 微細加工 / タフMEMS / 特殊金属 / DRIE / マイクロファブリケーション / マイクロマシン / マイクロ・ナノデバイス / 精密部品加工 / 生産工学 / 金属加工 / MEMS / 射出成型 / 反応性イオンエッチング |
|---|
| 研究成果の概要 |
本プロジェクトの目的は、MEMS分野の多様性と新たな可能性につながる機能性金属材料ベースMEMSのスマートな生産プロセス（エッチング、接合、堆積）の開発をすることである。熱シミュレーションを用いて設計した熱アシスト型反応性イオンエッチング装置を実機化するとともに、タフMEMS作製のための工程全体の開発と評価を実施し、各種機能性金属（チタン、チタン合金、タンタル、ニオブ、モリブデン）に適したプロセス条件を見出した。実際に、センサ・デバイスの作製も実施し課題と解決法の検証も実施した。
金属の微細加工学分野における新たな一歩となるタフMEMS分野のための基盤的な生産技術の確立に向けた成果を得た。
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
センサ・マイクロマシン技術が、自動車、携帯機器などに使われるセンサ・デバイスとして数多く使われるようになり、人の動き、環境をモニタリングし、携帯端末の表示情報、自動車、生活環境の制御など生活を便利にするために使われています。産業分野でも、工場やロボットの自動化に大きく貢献しています。申請研究は、これらのセンサ・デバイスの耐久性を格段に向上させ、一度設置したら壊れない頑丈で信頼性の高いセンサ技術とその生産技術の基盤を完成させるための研究です。
本技術の実現は、センサ・デバイスのメンテナンスにかかる費用や労力の削減と、耐久性が要求される新たな用途へのセンサ・デバイスの利用拡大につながります。
|
