| 研究課題/領域番号 |
16H03877
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
光工学・光量子科学
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| 研究機関 | 東京工芸大学 (2017-2019)
東北大学 (2016) |
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研究代表者 |
豊田 光紀 東京工芸大学, 工学部, 准教授 (40375168)
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| 研究分担者 |
大東 琢治 分子科学研究所, 極端紫外光研究施設, 助教 (50375169)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
16,510千円 (直接経費: 12,700千円、間接経費: 3,810千円)
2018年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2017年度: 9,230千円 (直接経費: 7,100千円、間接経費: 2,130千円)
2016年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
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| キーワード | EUV / multi layer mirror / 多層膜ミラー / 高分子 / ポリマーブレンド / EUV顕微鏡 / 応用光学・量子光工学 / 対物鏡 / 高倍率 / CCD検出器 / 極紫外線 / 階層構造 |
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| 研究成果の概要 |
研究代表者は、独自に見出した多層膜ミラー結像系の設計解に基づき結像型EUV顕微鏡を開発し、波長13.5nmにおいて、世界最高分解能30nmを実証した。本研究では、 提案光学系とレーザープラズマ光源を組み合わせ、実験室規模のEUV顕微鏡を開発した。顕微鏡では、マイクロ-ナノ階層構造を持つ高分子材料などの試料を 1-shot(10ナノ秒)露光し、直径200μmの広視野の一括マルチスケール観察を実現できた。今後は、EUV顕微鏡を学会・産業界で 広く活用される実用システムとして位置づけたい。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
生体や先端機能性材料は、10nmから100μmの空間スケールで各構成要素が有機的に組み合わさる階層構造を成しており、その機能の理解・制御には、このマイクロ-ナノ階層構造の高速可視化技術が強く求められている。代表者の独創である多層膜ミラー対物鏡は、これらの試料を構成するマイクロ-ナノ階層構造を、1-shot露光で高速に可視化するキーデバイスであり、本研究により、高速・マルチスケール・リアルタイムEUV観察へのブレークスルーが実現すれば、EUVイメージングの当該分野への急速な展開が期待できる。
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