| 研究課題/領域番号 |
16H03893
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
プラズマエレクトロニクス
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
豊田 浩孝 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (70207653)
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| 研究分担者 |
鈴木 陽香 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (80779356)
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| 研究協力者 |
田村 宥人
山本 匡毅
猪俣 弥雄起
小池 洋右
馬場 賀己
石川 翔太
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
17,290千円 (直接経費: 13,300千円、間接経費: 3,990千円)
2018年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2017年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2016年度: 12,350千円 (直接経費: 9,500千円、間接経費: 2,850千円)
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| キーワード | 大気圧プラズマ / マイクロ波プラズマ / プラズマ加工 / プラズマCVD / 廃棄物処理 |
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| 研究成果の概要 |
マイクロ波帯の電磁波を利用したプラズマ生成は、産業分野での応用が拡がっている。本研究は、マイクロ波進行方向を制御することにより、メートル長の長尺スロット内においてメートル長の分子ガス長尺プラズマを生成することを目的とする。その結果、５０ｃｍ長の１００％分子ガスプラズマ生成に成功した。この成果により、さまざまな大面積表面の化学修飾プロセスの実現が可能となる。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究は、従来より非常に困難であった大面積大気圧プラズマ処理技術を実現するものであり、本研究の成果により、高密度マイクロ波プラズマを用いて分子ガスプラズマ処理の実現を可能とする道筋が描かれた。この成果は今後の様々な電子デバイス製造プロセス分野などでの製造プロセスに革新をもたらす重要な成果と考えている。
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