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圧力波フォーカシングを利用した高純度シリコンクラスタービーム生成技術の高度化

研究課題

研究課題/領域番号 16H03904
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 量子ビーム科学
研究機関東京工業大学

研究代表者

長谷川 純  東京工業大学, 科学技術創成研究院, 准教授 (90302984)

研究分担者 岩田 康嗣  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 招聘研究員 (80356534)
堀岡 一彦  東京工業大学, 工学院, 教授 (10126328)
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
18,590千円 (直接経費: 14,300千円、間接経費: 4,290千円)
2018年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2017年度: 8,840千円 (直接経費: 6,800千円、間接経費: 2,040千円)
2016年度: 8,060千円 (直接経費: 6,200千円、間接経費: 1,860千円)
キーワードクラスタービーム / レーザーアブレーション / 飛行時間質量分析 / 金属クラスター / 共有結合クラスター / 飛行時間分析 / クラスタービーム波形 / クラスター / 衝撃波 / 分光計測 / 原子間力顕微鏡
研究成果の概要

高エネルギー加速器の候補クラスターイオン源の一つとしてレーザーアブレーションクラスター源を開発し、生成クラスターのサイズ分布とフラックス波形がクラスター形成条件にどのように依存するかを詳細に調べた。 レーザアブレーションによってシリコンまたはアルミニウムの蒸気を発生させ、高圧ヘリウムガスで急冷することによって、蒸気中の原子数に対して約0.1%の効率で約100個の構成原子を有するクラスターをレーザーパルス当たり1000億個以上生成できることを示した。 また,ヘリウムガス圧力とクラスター源の内部構造を変えることで、クラスターサイズ分布とフラックス波形をある程度制御できることを明らかにした。

研究成果の学術的意義や社会的意義

近年,加速可能なイオンの比電荷に原理的な制約がない誘導加速シンクロトロンが発明され,核子あたり1MeV以上の高エネルギーまでクラスターイオンを加速することが原理的に可能になった.この新技術により,巨大な分子であるクラスターイオンを固体物質の内部まで深く照射することが可能になれば,従来の単原子イオンビームによる材料改質やイオン注入,がん治療とは全く異なる放射線効果を基盤とした量子ビーム科学の新しいフロンティアが拓かれると期待されている.本研究は,レーザーアブレーション技術を用いたクラスター生成手法について幅広い動作条件のもとでその特性を調査し加速器用クラスター源としての成立性を明らかにした.

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2018 2017 2016

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Influence of hydrodynamic behavior of laser ablation plume on cluster formation2017

    • 著者名/発表者名
      Ishikawa Yuta、Hasegawa Jun、Horioka Kazuhiko、Iwata Yasushi
    • 雑誌名

      Energy Procedia

      巻: 131 ページ: 319-325

    • DOI

      10.1016/j.egypro.2017.09.458

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] レーザーアブレーション金属クラスター源におけるフラックス計測2018

    • 著者名/発表者名
      石川裕太、長谷川純、堀岡一彦
    • 学会等名
      第35回プラズマ・核融合学会年会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Mass separated particle flux from a laser-ablation metal cluster source2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishikawa, J. Hasegawa, K. Horioka
    • 学会等名
      22nd International Symposium on Heavy Ion Fusion and Beam-Driven High Energy Density Science
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 希薄ヘリウム中のレーザーアブレーションにより生成されるシリコンクラスターのサイズ測定2017

    • 著者名/発表者名
      石川裕太,長谷川純,岩田康嗣,堀岡一彦
    • 学会等名
      Plasma Conference 2017
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] レーザーアブレーションクラスター源におけるクラスター生成とプルームの流体的特性との相関2016

    • 著者名/発表者名
      石川裕太,松尾寬昭,長谷川純,岩田康嗣,堀岡一彦
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会第33回年会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2016-11-29
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 希薄な背景ガス中を進展するレーザーアブレーションプルームの位置分解分光計測2016

    • 著者名/発表者名
      松尾寬昭,石川裕太,長谷川純,堀岡一彦
    • 学会等名
      プラズマ・核融合学会第33回年会
    • 発表場所
      東北大学
    • 年月日
      2016-11-29
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Influence of hydrodynamic behavior of laser ablation plume on cluster formation2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Ishikawa, J. Hasegawa, K. Horioka, Y. Iwata
    • 学会等名
      5th International Symposium on Innovative Nuclear Energy Systems, INES-5
    • 発表場所
      Tokyo Institute of Technology
    • 年月日
      2016-10-31
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 希薄ヘリウム中におけるレーザープラズマの挙動とクラスター生成の相関2016

    • 著者名/発表者名
      石川裕太, 長谷川純, 岩田康嗣, 堀岡一彦
    • 学会等名
      日本物理学会2016年秋季大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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