研究課題/領域番号 |
16H04256
|
研究種目 |
基盤研究(B)
|
配分区分 | 補助金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
|
研究機関 | 岐阜大学 |
研究代表者 |
上坂 裕之 岐阜大学, 工学部, 教授 (90362318)
|
研究分担者 |
太田 貴之 名城大学, 理工学部, 教授 (10379612)
小田 昭紀 千葉工業大学, 工学部, 教授 (70335090)
村島 基之 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (70779389)
|
研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
|
研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
|
配分額 *注記 |
17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円)
2018年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
2017年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
2016年度: 8,060千円 (直接経費: 6,200千円、間接経費: 1,860千円)
|
キーワード | 超高速成膜 / シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン / 低摩擦 / トライボロジー / プラズマCVD / スパッタリング / プラズマシミュレーション / 表面分析 / シリコン含有ダイヤモンドライクカーボン膜 / 超低摩擦 / Si-DLC膜 / マイクロ波 / プラズマ / シリコン含有ダイヤモンドラークカーボン膜 / プロズマCVD / プラズマシミュレ―ション / プラズマ加工 / ダイヤモンドライクカーボン / プラズマ気相蒸着 |
研究成果の概要 |
100μm/h以上の超高速で成膜されたa-C:H:Si膜と鋼球との大気開放無潤滑下(室温下,相対湿度10-50%)での摩擦特性を明らかにした.その結果、超高速成膜されたa-C:H:Si膜のなじみ後の摩擦係数は0.05-0.12程度で湿度とともに上昇した.比較対象としてのa-C:H膜のなじみ後の摩擦係数は0.2-0.5程度で同じく湿度とともに上昇した.全湿度範囲でa-C:H:Siの摩擦係数の方がa-C:Hよりも低く、湿度への依存性も小さかった.低摩擦発現に及ぼす膜の初期構造の影響やしゅう同時に形成される界面構造を詳細な表面分析(ラマン,XPS,RBS-ERDAなど)により明らかにした.
|
研究成果の学術的意義や社会的意義 |
100μm/h以上の超高速で成膜されたa-C:H:Si膜が,従来の方法で合成されたa-C:H:Si膜と同様に低摩擦を発現することがはじめて確認された.100μm/h以上の超高速成膜を必要とする新しい小ロットDLC成膜技術の確立に向けて,重要な基盤的成果となった.また,その低摩擦発現機構を解明する過程で,a-C:H:Si膜の大気開放無潤滑下での低摩擦発現に関する新しい学術的知見が得られた.それらは,炭素系硬質膜の低摩擦発現に関する体系的な知識の一部をなすものであり,炭素系硬質膜を利用した摺動要素の設計に生かされる.
|