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テラヘルツLEDの研究

研究課題

研究課題/領域番号 16H04351
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 電子デバイス・電子機器
研究機関徳島大学

研究代表者

北田 貴弘  徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 特任教授 (90283738)

研究分担者 森田 健  千葉大学, 大学院工学研究院, 准教授 (30448344)
熊谷 直人  国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (40732152)
南 康夫  徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 特任准教授 (60578368)
盧 翔孟  徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 特任助教 (80708800)
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
16,640千円 (直接経費: 12,800千円、間接経費: 3,840千円)
2018年度: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2017年度: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2016年度: 7,280千円 (直接経費: 5,600千円、間接経費: 1,680千円)
キーワード電子デバイス・機器 / テラヘルツ/赤外材料・素子 / 半導体非線形光学デバイス / 半導体結合共振器 / 面発光デバイス / テラヘルツ/赤外材料・素子
研究成果の概要

半導体多層膜結合共振器への電流注入による赤外二波長レーザ発振とその差周波発生を同一素子内で行ってテラヘルツ光を得る面発光素子「テラヘルツLED」の実現を目的に研究を進めた.GaAs系のヘテロ薄膜を使った結合共振器は,(001)と(113)Bエピウエハの直接接合で作製し,メサ加工や電極形成等の素子プロセスを施して素子を試作した.結合共振器を構成する2つの共振器層の光学的厚さがよく一致した素子は,パルス電流注入により室温で二波長レーザ発振し,その同時性も確かめられた.Ge光伝導検出器を備えたフーリエ分光装置で差周波発生によるテラヘルツ光のスペクトル検出を試みたが,その検出には至らなかった.

研究成果の学術的意義や社会的意義

テラヘルツ光を利用したイメージング,分光分析,超高速無線通信等の技術は,環境,医療,セキュリティ等を含む様々な分野での活用が期待されているが,その普及促進には小型で取り扱いの容易な光源が欠かせない.本研究のテラヘルツLEDは,電流注入により室温で動作する面発光素子で,一般的な発光ダイオードや垂直共振器面発光レーザと同様の簡便な光源素子として期待できる.本研究では,動作の基本となる室温での赤外二波長レーザ発振に成功し,差周波発生には必須となる発振の同時性も確かめられた.テラヘルツ光のスペクトル計測にまでは至らなかったが,二波長レーザ発振特性を詳細に評価したことで克服すべき課題点を明確にした.

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (46件)

すべて 2019 2018 2017 2016

すべて 雑誌論文 (8件) (うち査読あり 8件、 オープンアクセス 4件、 謝辞記載あり 4件) 学会発表 (38件) (うち国際学会 10件、 招待講演 4件)

  • [雑誌論文] Sublattice reversal in GaAs/Ge/GaAs and AlAs/Ge/AlAs heterostructures grown on (1?1?3)A and (1?1?3)B GaAs substrates2019

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Yasuo Minami and Takahiro Kitada
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 512 ページ: 74-77

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2019.02.010

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Sublattice reversal in GaAs/Ge/GaAs (113)B heterostructures and its application to THz emitting devices based on a coupled multilayer cavity2018

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Yasuo Minami and Takahiro Kitada
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 4S ページ: 04FH07-04FH07

    • DOI

      10.7567/jjap.57.04fh07

    • NAID

      210000148945

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Room-temperature two-color lasing by current injection into a GaAs/AlGaAs coupled multilayer cavity fabricated by wafer bonding2018

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Kitada, Xiangmeng Lu, Yasuo Minami, Naoto Kumagai and Ken Morita
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 4S ページ: 04FH03-04FH03

    • DOI

      10.7567/jjap.57.04fh03

    • NAID

      120006767281

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Sublattice reversal in GaAs/Ge/GaAs heterostructures grown on (113)B GaAs substrates2018

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Yasuo Minami and Takahiro Kitada
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 11 号: 1 ページ: 015501-015501

    • DOI

      10.7567/apex.11.015501

    • NAID

      120006767280

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Current-injection two-color lasing in a wafer-bonded coupled multilayer cavity with InGaAs multiple quantum wells2017

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Minami, Hiroto Ota, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Takahiro Kitada and Toshiro Isu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 4S ページ: 04CH01-04CH01

    • DOI

      10.7567/jjap.56.04ch01

    • NAID

      120006399553

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Surface Emitting Devices Based on a Semiconductor Coupled Multilayer Cavity for Novel Terahertz Light Sources2017

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Kitada, Hiroto Ota, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai and Toshiro Isu
    • 雑誌名

      IEICE Transactions on Electronics

      巻: E100.C 号: 2 ページ: 171-178

    • DOI

      10.1587/transele.E100.C.171

    • NAID

      130005306563

    • ISSN
      0916-8524, 1745-1353
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Two-color surface-emitting lasers by a GaAs-based coupled multilayer cavity structure for coherent terahertz light sources2017

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Hiroto Ota, Naoto Kumagai, Yasuo Minami, Takahiro Kitada and Toshiro Isu
    • 雑誌名

      Journal of Crystal Growth

      巻: 印刷中 ページ: 249-252

    • DOI

      10.1016/j.jcrysgro.2017.01.049

    • NAID

      120006767279

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Two-color surface-emitting lasers using a semiconductor coupled multilayer cavity2016

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Kitada, Hiroto Ota, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai and Toshiro Isu
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 9 号: 11 ページ: 111201-111201

    • DOI

      10.7567/apex.9.111201

    • NAID

      120006767278

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 小型フーリエ変換赤外分光装置の製作と測定法の確立2019

    • 著者名/発表者名
      中山 政裕, 菅野 裕吾, 石谷 善博, 北田 貴弘, 森田 健
    • 学会等名
      2019年 第66回 応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] (113)B GaAsウエハ接合で作製したGaAs/AlGaAs多層膜結合共振器への電流注入によるレーザ発振2019

    • 著者名/発表者名
      盧 翔孟, 小楠 洸太朗, 髙橋 美沙, 合田 剛史, 熊谷 直人, 森田 健, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2019年 第66回 応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] GaAs系の多層膜結合共振器を使ったテラヘルツLEDの作製を目指した基礎的研究2019

    • 著者名/発表者名
      南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      LED総合フォーラム2019 in 徳島
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 2つの(113)Bエピウェハの直接接合で作製した半導体結合共振器の電流注入レーザー発振2019

    • 著者名/発表者名
      合田 剛史, 盧 翔孟, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      平成30年度第5回半導体エレクトロニクス部門委員会 第1回講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 量子ドットを活性層とする結合共振器の光励起レーザ発振2019

    • 著者名/発表者名
      髙橋 美沙, 盧 翔孟, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      平成30年度第5回半導体エレクトロニクス部門委員会 第1回講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] DBR膜上の低温成長InGaAs量子井戸によるテラヘルツ光伝導スイッチの研究,2019

    • 著者名/発表者名
      阿部 広睦, 張 弘翼, 盧 翔孟, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      平成30年度第5回半導体エレクトロニクス部門委員会 第1回講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Time resolved measurement of two-color laser lights emitted from a GaAs/AlGaAs coupled multilayer cavity2018

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Minami, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Ken Morita and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      23rd Microoptics Conference (MOC 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sublattice reversal in GaAs/Ge/GaAs and AlAs/Ge/AlAs heterostructures grown on (113)A and (113)B GaAs substrates2018

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Yasuo Minami and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      20th International Conference on Molecular Beam Epitaxy (ICMBE 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Temperature tuning of two-color lasing using a coupled GaAs/AlGaAs multilayer cavity by current injection2018

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Yasuo Minami, Naoto Kumagai, Ken Morita and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      The 45th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Simultaneous oscillation of two-color laser lights from a GaAs/AlGaAs coupled multilayer cavity2018

    • 著者名/発表者名
      Yasuo Minami, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Ken Morita and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      The Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO 2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 半導体結合共振器を利用したテラヘルツ波発生2018

    • 著者名/発表者名
      森田 健, 盧 翔孟, 南 康夫, 熊谷 直人, 北田 貴弘, 井須 俊郎
    • 学会等名
      テラヘルツ科学の最先端V
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MBEによる(113)A GaAs基板上におけるAlAs/Ge/AlAsヘテロ構造の副格子交換2018

    • 著者名/発表者名
      盧 翔孟, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2018年 第79回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] GaAs/AlGaAs多層膜結合共振器への電流注入による二波長発振の動的振る舞いの温度依存性2018

    • 著者名/発表者名
      小楠 洸太朗, 南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2018年 第79回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 半導体多層膜結合共振器による赤外二波長レーザー発振2018

    • 著者名/発表者名
      北田 貴弘, 盧 翔孟, 南 康夫, 熊谷 直人, 森田 健
    • 学会等名
      2018年電子情報通信学会ソサイエティ大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] GaAs/AlGaAs結合共振器による二波長面発光レーザの時間分解スペクトル測定2018

    • 著者名/発表者名
      小楠 洸太朗, 南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2018年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] InGaAs量子井戸をもつGaAs結合共振器からの電流注入による室温での2波長レーザーの時間特性2018

    • 著者名/発表者名
      南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] InGaAs量子井戸を活性層とする結合共振器への電流注入によるニ波長レーザの温度特性2018

    • 著者名/発表者名
      盧 翔孟, 南 康夫, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] GaAs系の多層膜結合共振器を使ったテラヘルツLEDの研究開発2018

    • 著者名/発表者名
      南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      LED総合フォーラム2018
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] テラヘルツLEDを実現するガリウムヒ素系結合共振器の室温赤外二波長レーザ発振2018

    • 著者名/発表者名
      小楠 洸太朗, 南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      日本材料学会半導体エレクトロニクス部門委員会 平成29年度第1回講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] ゲルマニウムを使った高指数面基板上ガリウムヒ素系薄膜の副格子交換エピタキシー成長2018

    • 著者名/発表者名
      吉田 啓佑, 宮井 淳平, 盧 翔孟, 南 康夫, 北田 貴弘
    • 学会等名
      日本材料学会半導体エレクトロニクス部門委員会 平成29年度第1回講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] ウエハ接合で作製したGaAs/AlGaAs多層膜結合共振器への電流注入による室温二波長レーザ発振2018

    • 著者名/発表者名
      盧 翔孟, 南 康夫, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      電子情報通信学会光エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 結合共振器による2波長面発光レーザーの偏光特性2017

    • 著者名/発表者名
      南 康夫, 太田 寛人, 盧 翔孟, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2017年度 第64回応用物理学会春季学術講演会; 15p-213-16
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 半導体多層薄膜を使った結合共振器構造による テラヘルツ発光素子2017

    • 著者名/発表者名
      北田 貴弘, 南 康夫, 盧 翔孟
    • 学会等名
      発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会; EID2016-33
    • 発表場所
      徳島大学(徳島県徳島市)
    • 年月日
      2017-01-26
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Room-Temperature Two-Color Lasing by Current Injection into a GaAs/AlGaAs Coupled Multilayer Cavity Fabricated by Wafer Bonding2017

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Kitada, Xiangmeng Lu, Yasuo Minami, Naoto Kumagai and Ken Morita
    • 学会等名
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sublattice Reversal in GaAs/Ge/GaAs (113)B heterostructures and its application to THz emitting devices based on a coupled multilayer cavity2017

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Yasuo Minami, Naoto Kumagai and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Sublattice reversal in GaAs/Ge/GaAs (113)B heterostructures grown by MBE2017

    • 著者名/発表者名
      Xiangmeng Lu, Yasuo Minami and Takahiro Kitada
    • 学会等名
      The 44rd International Symposium on Compound Semiconductor (ISCS2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 高指数面上の副格子交換エピタキシーと面発光テラヘルツ素子2017

    • 著者名/発表者名
      北田 貴弘, 盧 翔孟, 南 康夫, 熊谷 直人, 森田 健
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] InGaAs量子井戸をもつGaAs結合共振器からの電流注入による2波長レーザー発振2017

    • 著者名/発表者名
      南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] MBEによる(113)Bと(113)A GaAs基板上におけるGaAs/Ge/GaAsヘテロ構造の成長2017

    • 著者名/発表者名
      盧 翔孟, 南 康夫, 熊谷 直人, 北田 貴弘
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] InAs量子ドットをもつGaAs結合共振器からの電流注入によるレーザー発振2017

    • 著者名/発表者名
      南 康夫, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2017年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] InGaAs量子井戸を活性層とする結合共振器への電流注入による室温ニ波長レーザー発振2017

    • 著者名/発表者名
      盧 翔孟, 南 康夫, 熊谷 直人, 森田 健, 北田 貴弘
    • 学会等名
      2017年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Current-Injection Two-Color Lasing in a Wafer-Bonded Coupled Multilayer Cavity with InGaAs Multiple Quantum Wells2016

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Ota, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Takahiro Kitada and Toshiro Isu
    • 学会等名
      2016 Internatioal Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2016); C-4-03
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県つくば市)
    • 年月日
      2016-09-26
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 結合共振器による二波長面発光レーザの温度依存性2016

    • 著者名/発表者名
      太田 寛人, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 北田 貴弘, 井須 俊郎
    • 学会等名
      2016年度 第77回応用物理学会秋季学術講演会; 16p-A35-5
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 波長920 nm 近傍のゲート光で動作する光伝導アンテナ素子の作製2016

    • 著者名/発表者名
      北田 貴弘, 太田 寛人, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 井須 俊郎
    • 学会等名
      2016年度 第77回応用物理学会秋季学術講演会; 14p-B2-19
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Two-Color Surface Emitting Lasers by a GaAs-Based Coupled Multilayer Cavity Structure for Novel Coherent Terahertz Light Sources2016

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Ota, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Takahiro Kitada and Toshiro Isu
    • 学会等名
      19th International Conference on Molecular Beam Epitaxy (MBE2016); Tu-P-59
    • 発表場所
      Montpelier (France)
    • 年月日
      2016-09-04
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Two-Color Laser Based on a Wafer-Bonded Coupled Multilayer Cavity for Novel Terahertz LED2016

    • 著者名/発表者名
      太田 寛人, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 北田 貴弘, 井須 俊郎
    • 学会等名
      第35回電子材料シンポジウム (EMS-35); Th3-3
    • 発表場所
      ラフォーレ琵琶湖(滋賀県守山市)
    • 年月日
      2016-07-06
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Two-Color Lasing from a GaAs/AlGaAs Coupled Multilayer Cavity by Current Injection2016

    • 著者名/発表者名
      Hiroto Ota, Xiangmeng Lu, Naoto Kumagai, Takahiro Kitada and Toshiro Isu
    • 学会等名
      The 43rd International Symposium on Compound Semiconductor (ISCS2016); MoP-ISCS-033
    • 発表場所
      富山国際会議場(富山県富山市)
    • 年月日
      2016-06-26
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] テラヘルツ帯差周波発生に適した結合共振器による二波長面発光レーザの作製2016

    • 著者名/発表者名
      太田 寛人, 盧 翔孟, 熊谷 直人, 北田 貴弘, 井須 俊郎
    • 学会等名
      電子情報通信学会研究会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会; LQE2016-15
    • 発表場所
      福井市地域交流プラザ(福井県福井市)
    • 年月日
      2016-05-19
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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