| 研究課題/領域番号 |
16H04375
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
計測工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
水谷 康弘 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (40374152)
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| 研究分担者 |
高谷 裕浩 大阪大学, 工学研究科, 教授 (70243178)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
17,030千円 (直接経費: 13,100千円、間接経費: 3,930千円)
2018年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2017年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2016年度: 11,440千円 (直接経費: 8,800千円、間接経費: 2,640千円)
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| キーワード | シングルピクセルイメージング / ゴーストイメージング / フォトンカウンティング / ディープラーニング / 微弱光イメージング / 欠陥検出 / 光周波数コム / 光相関イメージング / 散乱光計測 / 散乱光イメージング / 光相関顕微鏡 / コンプレッシブセンシング / 超微弱光イメージング / 光子イメージング / 散乱光検出 / 偏光計測 / 光相関 / 高感度イメージング |
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| 研究成果の概要 |
半導体検査工程においてサブナノオーダの欠陥を光学的に検出する手法が求められている．一般的に，光学的な応答強度と対象物の大きさは相関があるため，欠陥が小さくなるほど強度が弱くなり検出が困難になる．そこで，本研究では，光学的に非常に弱い応答をする欠陥からの散乱光をイメージングするために，光相関イメージングを適用することを試みた．ここでは，フォトンカウンティングと組み合わせることで数フォトンレベルでのイメージングを可能した方法と，ディープラーニングと組み合わせることにより検出速度を高速化させた手法とを提案し実証した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
サブナノオーダの欠陥検出で必要となる微弱な光のイメージングを可能にする手法を提案した．ここでは，点型の光検出器でイメージングできるゴーストイメージングの感度および検出速度を向上させた．具体的には，フォトンカウンティング技術を用いてフォトンが到達する時間を利用したイメージング法を確立し数100フォトン以下でもイメージングが可能になるようにした．また，ディープラーニングを組み込むことで，5回という極めて少ない計測回数で測定を可能にした．
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