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基板方位と異なる面方位に単結晶薄膜が成長するメカニズムの解明

研究課題

研究課題/領域番号 16H04545
研究種目

基盤研究(B)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 金属・資源生産工学
研究機関京都大学

研究代表者

土井 俊哉  京都大学, エネルギー科学研究科, 教授 (30315395)

研究分担者 一瀬 中  一般財団法人電力中央研究所, 電力技術研究所, 上席研究員 (70371284)
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円)
2020年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2019年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2018年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
2017年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2016年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
キーワード結晶成長 / ヘテロエピタキシャル成長 / 不整合ヘテロエピタキシャル成長 / 金属基板 / 酸化物機能性薄膜 / 2軸結晶配向 / ヘテロエピタキシャル / 不整合ヘテロエピタキシャル / エピタキシャル成長 / 結晶育成・成長 / 鉄基板 / 銀基板 / 異方位成長 / 金属物性 / エピタキシャル
研究成果の概要

基板に{110}<001>集合組織珪素鋼板、(110)Fe単結晶、{110}<110>集合組織Agテープを使用し、その上に様々な成膜条件でY2O3、CeO2、YSZ (Y置換率20~30at%)、CSZ (Ca置換率20~40at%)、YBa2Cu3O7を成膜した。得られた薄膜の結晶方位を測定し、基板結晶との方位関係を明らかにした。基板結晶と堆積薄膜結晶との格子不整合性が小さい場合には少ない方位の結晶粒のみが核生成・成長し、格子不整合性が多くなるにしたがって多種の方位結晶が核生成・成長する傾向が見られたものの、例外もあり、明確な相関性は見られなかった。

研究成果の学術的意義や社会的意義

不整合ヘテロエピタキシャルのメカニズム解明には至らなかったが、多数のデータを収集することができ、珪素鋼板、Agといった金属基板上にいくつかの酸化物の疑似単結晶薄膜を成長させることに成功した。今後、さらに多くのデータを集めて解析することで不整合ヘテロエピタキシャル成長メカニズムの解明が進むと期待される。また、各種単結晶基板より安価であり熱伝導率が高い金属単結晶が基板材料として使用できることを示すことができたと考えるが、この成果を活用することで各種デバイスの放熱性を大きく向上させることが可能になるなど産業への活用も見込めると考える。

報告書

(6件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (7件)

すべて 2020 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (6件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Possibility of material cost reduction toward development of low-cost second-generation superconducting wires2017

    • 著者名/発表者名
      Ichinose Ataru、Horii Shigeru、Doi Toshiya
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 10 ページ: 103101-103101

    • DOI

      10.7567/jjap.56.103101

    • NAID

      210000148327

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 配向Cuテープを基材に用いたYBCO線材の導電性中間層の 抵抗率評価2020

    • 著者名/発表者名
      土井俊哉,川山巌,濱田剛, 井上靖也,一瀬中
    • 学会等名
      応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 導電性中間層を用いたYBCO線材のクエンチ発生時における電流回避挙動の解析2020

    • 著者名/発表者名
      村本 周平, 井上 靖也, 太田 圭佑, 川山 巌, 土井 俊哉
    • 学会等名
      低温工学・超電導学会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Development of YBa2Cu3O7 coated conductors using an electromagnetic steel tape2019

    • 著者名/発表者名
      N. Terao, K. Higuchi, S. Horii, A. Ichinose, T. Doi
    • 学会等名
      14th European Conference on Applied Superconductivity
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Y2O3安定化ZrO2とY2O3を中間層に用いた電磁鋼板上へのYBCO 薄膜の作製(2)2018

    • 著者名/発表者名
      寺尾 奈浦,樋口 甲太郎, 堀井 滋, 一瀬 中, 土井 俊哉
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Y2O3安定化ZrO2とY2O3を中間層に用いた電磁鋼板上へのYBCO 薄膜の作製2018

    • 著者名/発表者名
      樋口 甲太郎, 田所 朋, 堀井 滋, 土井 俊哉, 一瀬 中
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 電磁鋼板を基材とした酸化物中間層成膜プロセスの改善及びYBCO薄膜の作製2017

    • 著者名/発表者名
      田所 朋, 樋口 甲太郎, 堀井 滋, 土井 俊哉, 一瀬 中
    • 学会等名
      第78回応用物理学会周期学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2022-01-27  

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