研究課題
若手研究(A)
低コヒーレンス干渉型構造化照明顕微鏡を開発した．振動や温度ドリフトが存在する状況においても回折限界を超える高分解能を達成した．表面微細パターンの非蛍光観察においても高分解能化することが出来た一方で，アーチファクトの発生やパターンのピッチ誤差といった計測手法としての実用化における問題が確認された．フーリエタイコグラフィーに基づいた空間周波数の逐次的更新アルゴリズムの導入，空間光位相変調器による構造化照明の制御により問題を解決した．
振動ノイズに強く，工業利用も可能な構造化照明顕微鏡を開発した．従来の光学顕微鏡の2倍の高分解能観察が可能な構造化照明顕微鏡は，格子状照明を動かしながら取得した画像と照明の位置情報をコンピューター処理して対象物の画像を再現する．生物蛍光観察用として実用化されているが，製造現場では振動や温度変化などの影響で利用が困難であった．そこで，スーパールミネッセントダイオードという特殊な光源を用いて構造化照明を制御することで，振動や温度変化など外部環境の影響を受けない高分解能観察を可能にした．小型，高精度化が進む光学素子の検査，蛍光色素を使えない生物試料など幅広い観察対象に利用できる．
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Measurement Science and Technology
巻: - 号: 8 ページ: 084003-084003
10.1088/1361-6501/ab85d7
Computer-Aided Design and Applications
巻: 17 ページ: 607-620
巻: 16 ページ: 79-88
精密工学会誌
巻: 84 ページ: 731-737
130006434295
Journal of Robotics and Mechatronics
巻: 30 ページ: 443-452
130007405722
Optics Letters
巻: 43 ページ: 1207-1210
International Journal of Automation Technology
巻: 11 ページ: 787-794
130007505954
Computer-Aided Design and Appications
巻: 14 ページ: 227-233
https://tdb.shizuoka.ac.jp/RDB/public/Default2.aspx?id=10728&l=0
