非線形光吸収を用いた酸化物ナノ粒子還元3次元描画法の創成と機能性材料の造形

• 研究課題/領域番号: 16H06064
• 研究種目: 若手研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 研究分野: 生産工学・加工学
• 研究機関: 長岡技術科学大学 (2018-2019); 名古屋大学 (2016-2017)
• 研究代表者: 溝尻 瑞枝 長岡技術科学大学, 産学融合トップランナー養成センター, 特任准教授 (70586594)
• 研究期間 (年度): 2016-04-01 – 2020-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2019年度)
• 配分額: 24,570千円 (直接経費: 18,900千円、間接経費: 5,670千円); 2019年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2018年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円); 2017年度: 13,000千円 (直接経費: 10,000千円、間接経費: 3,000千円); 2016年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
• キーワード: フェムト秒レーザ還元 / レーザ加工 / 微細加工 / ナノ粒子 / 錯体 / 還元 / 3D金属微細造形 / センサ / イオン溶液 / フェムト秒レーザ

研究成果の概要

本研究の目的は，フェムト秒レーザパルスが誘起する熱還元を利用して金属や半導体の大気中直接描画プロセスを創製することにある．具体的には，フェムト秒レーザパルスの焦点近傍のみで誘起される非線形光吸収を利用して，材料内部へ金属や半導体を還元析出し，3次元微細構造を直接描画形成する．金属酸化物ナノ粒子や金属錯体を原料とし，Cu，Ni，Cu-Ni合金，酸化物半導体などの大気中直接還元描画を実現した．更に，還元度を制御することによって異なる特性を有する材料の選択的描画形成を実現し，熱電対の直接描画形成への応用展開を行った．

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究の目的は，フェムト秒レーザパルスが誘起する熱還元を利用して金属や半導体の大気中直接描画プロセスを創製することにある．大気中での簡便な金属・半導体パターンの直接描画形成技術は，プリンテッドエレクトロニクス分野への応用も期待できる．更には，センサなどの各種マイクロデバイスのオンデマンド製造など，次世代モノづくり技術として展開できる可能性もある．

研究成果

• [国際共同研究] Saint Petersburg University(ロシア連邦)
• [雑誌論文] Direct writing of two- and three-dimensional Cu-based microstructures by femtosecond laser reductive sintering of the Cu2O nanospheres (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri, Yukinari Kondo
  • 雑誌名: Optical Materials Express 巻: 9 号: 7 ページ: 2828-2828
  • DOI: 10.1364/ome.9.002828
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Direct writing of copper micropatterns using near-infrared femtosecond laser-pulse-induced reduction of glyoxylic acid copper complex (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri, Keiko Aoyama, Akira Uetsuki, Tomoji Ohishi
  • 雑誌名: Micromachines 巻: 10 号: 6 ページ: 401-401
  • DOI: 10.3390/mi10060401
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Femtosecond laser direct-writing technique using reduction of glyoxylic acid metal complexes (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri, Junya Narushima, Tomoyuki Imakita, Hikaru Nakatani, Akira Uetsuki, Tomoji Ohishi
  • 雑誌名: IEEE Proceedings of 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science(From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems) (MHS2019) 巻: -
• [雑誌論文] Cu-based microfabrication using green femtosecond laser reductive sintering of Cu2O nanospheres (2019)
  • 著者名/発表者名: Atsushi Tanokuchi, Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri
  • 雑誌名: Proceedings of The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing（LAMP2019） 巻: -
• [雑誌論文] Direct writing of Cu-based flexible thermal detectors using femtosecond laser-induced reduction (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 雑誌名: Proceedings of SPIE 巻: 10905 ページ: 37-37
  • DOI: 10.1117/12.2507087
  • 査読あり
• [雑誌論文] Direct writing of Cu-based fine micropatterns using femtosecond laser pulse-induced sintering of Cu2O nanospheres (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizoshiri Mizue、Kondo Yukinari
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 58 号: SD ページ: SDDF05-SDDF05
  • DOI: 10.7567/1347-4065/ab0545
  • NAID: 210000155938
  • 査読あり
• [雑誌論文] Effect of Heat Accumulation on Femtosecond Laser Reductive Sintering of Mixed CuO/NiO Nanoparticles (2018)
  • 著者名/発表者名: Mizoshiri Mizue、Nishitani Kenta、Hata Seiichi
  • 雑誌名: Micromachines 巻: 9 号: 6 ページ: 264-264
  • DOI: 10.3390/mi9060264
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] CuOナノ粒子を用いたフェムト秒レーザー還元直接描画法 (2018)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝，秦誠一
  • 雑誌名: レーザー研究 巻: 46 ページ: 257-262
  • NAID: 130007958362
• [雑誌論文] 特集：レーザ微細加工技術の新たな潮流“フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた選択描画とマイクロセンサの作製” (2018)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 雑誌名: レーザ協会 巻: 43 ページ: 23-30
• [雑誌論文] Selective fabrication of p-type and n-type thermoelectric micropatterns by the reduction of CuO/NiO mixed nanoparticles using femtosecond laser pulses (2018)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri and Seiichi Hata
  • 雑誌名: Applied Physics A 巻: 124 号: 1 ページ: 64-64
  • DOI: 10.1007/s00339-017-1489-x
  • 査読あり
• [雑誌論文] Direct writing of three-dimensional Cu-based sensors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles (2018)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri and Seiichi Hata
  • 雑誌名: Proc. SPIE, Laser-based Micro- and Nanoprocessing XII 巻: 10520 ページ: 1052013-1052013
  • DOI: 10.1117/12.2290166
  • 査読あり
• [雑誌論文] Femtosecond laser direct writing of Cu-based fine patterns using Cu2O nanospheres (2018)
  • 著者名/発表者名: Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata
  • 雑誌名: Proc. SPIE, Laser-based Micro- and Nanoprocessing XII 巻: 10520 ページ: 1052006-1052006
  • DOI: 10.1117/12.2287686
  • 査読あり
• [雑誌論文] Cu micropatterning using femtosecond laser reduction of Cu2O nanospheres (2017)
  • 著者名/発表者名: Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, and Seiichi Hata
  • 雑誌名: Proceedings of the 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication 巻: -
• [雑誌論文] P- and n-type thermoelectric micropatterns fabricated by femtosecond laser reduction of CuO/NiO nanoparticles (2017)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri and Seiichi Hata
  • 雑誌名: Proceedings of the 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication 巻: -
• [学会発表] グリオキシル酸Co/Ni錯体溶液のグリーンフェムト秒レーザー還元直接描画特性評価と微細パターン作製 (2020)
  • 著者名/発表者名: 中谷 光，水澤 夏紀，植月 暁，大石 知司，溝尻 瑞枝
  • 学会等名: レーザー学会学術講演会第40回年次大会
• [学会発表] グリオキシル酸Fe錯体を用いたFe系パターンのフェムト秒レーザー還元析出特性 (2020)
  • 著者名/発表者名: 渡邉 史哉，植月 暁，大石 知司，溝尻 瑞枝
  • 学会等名: レーザー学会学術講演会第40回年次大会
• [学会発表] グリーンフェムト秒レーザを利用したCu2Oナノ粒子の還元によるCu系微細構造の作製 (2020)
  • 著者名/発表者名: 田之口 睦，溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 日本機械学会 北陸信越支部 第57期講演会
• [学会発表] フェムト秒レーザ還元描画Cuパターンのナノ秒レーザ表面酸化処理 (2020)
  • 著者名/発表者名: 吉冨 恭平，中村 奨，溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 2020年第67回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] ギ酸銅を出発剤としたグリオキシル酸銅錯体のグリーンフェムト秒レーザ還元描画 (2020)
  • 著者名/発表者名: 林 智英，植月 暁，大石 知司，溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 2020年第67回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Cu micropatterning on step structures using femtosecond laser reduction of glyoxylic acid copper comples (2019)
  • 著者名/発表者名: Ha Phuong Nam, Atsushi Tanokuchi, Akira Uetsuki, Tomoji Ohishi, Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing（LAMP2019）
  • 国際学会
• [学会発表] Cu-based microfabrication using green femtosecond laser reductive sintering of Cu2O nanospheres (2019)
  • 著者名/発表者名: Atsushi Tanokuchi, Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing（LAMP2019）
  • 国際学会
• [学会発表] Cu-Ni micropatterning on flexible substrates using femtosecond laser reductive sintering (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri, Ha Phuong Nam
  • 学会等名: The 8th International Congress on Laser Advanced Materials Processing（LAMP2019）
  • 国際学会
• [学会発表] フェムト秒レーザ還元直接描画法とマイクロデバイス作製への応用 (2019)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 学会等名: レーザープロセッシングに関する若手女性研究者講演会
  • 招待講演
• [学会発表] Direct Writing of Three-dimensional Microstructures Using Femtosecond Laser Reduction of Metal Oxide Nanoparticles (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: Photopolymer Conference (ICPST-36)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Direct Writing of Flexible Microdevices Using Femtosecond Laser Reduction of Metal Oxide Nanoparticles (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: Photopolymer Conference (ICPST-36)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] フェムト秒レーザ非線形光吸収を利用した3次元Cu微細造形法, レーザープロセッシングと先端技術 (2019)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 学会等名: 電気学会C部門大会
  • 招待講演
• [学会発表] Direct writing of three-dimensional microstructures using femtosecond laser pulse-induced reduction (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: Mendeleev2019
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] フェムト秒レーザパルス誘起多光子吸収を利用したグリオキシル酸金属錯体の還元直接描画 (2019)
  • 著者名/発表者名: 今北智之, 植月暁, 大石知司, 溝尻瑞枝
  • 学会等名: 2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] グリオキシル酸Cu/Ni混合錯体のフレキシブル基板上でのフェムト秒レーザ還元描画特性 (2019)
  • 著者名/発表者名: 成島淳也, 今北智之, 植月暁, 大石知司, 溝尻瑞枝
  • 学会等名: 2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Direct laser writing technique for creating non-enzymatic sensors (2019)
  • 著者名/発表者名: V. Andrianov, E. Khairullina, A. Smikhovskaia, V. Mironov, M. Panov, M. Mizoshiri,I. Tumkin
  • 学会等名: Advanced Laser Technology (ALT19)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いた金属・半導体パターニング (2019)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 学会等名: ウェブハンドリング技術研究会10月度特別合宿勉強会
  • 招待講演
• [学会発表] Direct writing of Cu-based micropatterns using femtosecond laser reduction of copper oxide nanoparticles (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: PACRIM-13
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Absorption properties of Cu2O nanosphere solutions for microfabrication of Cu-based microstructures by green femtosecond laser pulses (2019)
  • 著者名/発表者名: Atsushi Tanokuchi, Mitsuharu Todai, Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: 4th STI-Gigaku 2019
  • 国際学会
• [学会発表] Femtosecond laser direct-writing technique using reduction of glyoxylic acid metal complexes (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri, Junya Narushima, Tomoyuki Imakita, Hikaru Nakatani, Akira Uetsuki, Tomoji Ohishi
  • 学会等名: 30th 2019 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science(From Micro & Nano Scale Systems to Robotics & Mechatronics Systems) (MHS2019)
  • 国際学会
• [学会発表] フレキシブル基板上へのCu系材料の直接描画と温度センサ作製 (2019)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 学会等名: 第92回レーザ加工学学会講演会
  • 招待講演
• [学会発表] Direct writing of Cu-based flexible thermal detectors using femtosecond laser-induced reduction (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: SPIE Photonics West 2019
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Femtosecond laser direct writing of three-dimensional Cu-based microstructures (2019)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: International Symposium on SSS Laser Processing (3S-LP)
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Fabrication of Cu-based microstructures using green femtosecond laser sintering of Cu2O nanoparticles (2019)
  • 著者名/発表者名: Atsushi Tanokuchi, Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: International Symposium on SSS Laser Processing (3S-LP)
  • 国際学会
• [学会発表] フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたポリマー基板上へのCu系パターニング (2019)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝，秦 誠一
  • 学会等名: 第４回日本機械学会イノベーション講演会（Innovation from JSME (iJSME) 2019）
• [学会発表] uメッシュ電極のフレキシブル基板上へのレーザ直接描画と温度センサ作製 (2019)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝, Ha Phuong Nam, 伊藤 泰章，秦 誠一
  • 学会等名: 2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
• [学会発表] Cu2Oナノ粒子のフェムト秒レーザ還元描画における波長の影響 (2019)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝，田之口 睦，近藤 幸成
  • 学会等名: 電気学会「光・量子デバイス研究会」
• [学会発表] レーザ微細加工技術とフレキシブルデバイス作製への応用 (2019)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 平成30年度新市場の開拓に向けたフレキシブルデバイス技術最前線」セミナー
  • 招待講演
• [学会発表] 非線形光吸収を利用した酸化物銅ナノ粒子の金属還元3 次元微細加工法の基礎的研究 (2018)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 天田財団 第2回レーザプロセッシング助成研究成果発表会
  • 招待講演
• [学会発表] フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたポリマー上へのCu微細構造の造形 (2018)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝，秦誠一
  • 学会等名: 第67回高分子討論会
• [学会発表] Three-dimensional Cu-based microfabrication using femtosecond laser induced internal writing (2018)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri, Yukinari Kondo, Seiichi Hata
  • 学会等名: The Third Smart Laser Processing Conference 2018 (SLPC2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Direct writing properties of Cu-Ni-based thermoelectric micropatterns formed by femtosecond laser reductive sintering at low writing speed (2018)
  • 著者名/発表者名: Kenta Nishitani, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: The Third Smart Laser Processing Conference 2018 (SLPC2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Direct writing of Cu-based microstructures using green femtosecond laser pulses (2018)
  • 著者名/発表者名: Atsushi Tanokuchi, Mitsuharu Todai, Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: 3rd STI-Gigaku 2018
  • 国際学会
• [学会発表] Cu-Based Three-Dimensional Microfabrication Using Femtosecond Laser Pulse-Induced Reduction of Cu2O Nanospheres (2018)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri, Yukinari Kondo, Atsushi Tanokuchi
  • 学会等名: 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018)
  • 国際学会
• [学会発表] フェムト秒レーザを用いた金属の3次元微細造形 (2018)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 未来技術ワークショップ（IIP div. JSME）
• [学会発表] フェムト秒レーザ還元を用いたフレキシブル基板上へのCuメッシュ電極の直接描画 (2018)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝，伊藤 恭章，櫻井淳平，秦誠一
  • 学会等名: 日本機械学会2018年度年次大会
• [学会発表] リオキシル酸Cu錯体のフェムト秒レーザ還元を利用したCu直接描画 (2018)
  • 著者名/発表者名: 溝尻 瑞枝，青山慶子，植月暁，大石知司
  • 学会等名: 第9回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」
• [学会発表] フェムト秒レーザ還元直接描画法における熱蓄積の影響 (2018)
  • 著者名/発表者名: 西谷 健太，秦 誠一，溝尻 瑞枝
  • 学会等名: 2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] Direct writing of three-dimensional Cu-based sensors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles (2018)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri and Seiichi Hata
  • 学会等名: Photonics West 2018
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Femtosecond laser direct writing of Cu-based fine patterns using Cu2O nanospheres (2018)
  • 著者名/発表者名: Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata
  • 学会等名: Photonics West 2018
  • 国際学会
• [学会発表] フェムト秒レーザー還元を用いた3次元金属／半導体微細構造の直接描画プロセスの研究 (2018)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 学会等名: 第65回応用物理学会春季学術講演会
  • 招待講演
• [学会発表] P- and n-type thermoelectric micropatterns fabricated by femtosecond laser reduction of CuO/NiO nanoparticles (2017)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri and Seiichi Hata
  • 学会等名: The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Cu micropatterning using femtosecond laser reduction of Cu2O nanospheres (2017)
  • 著者名/発表者名: Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Seiichi Hata
  • 学会等名: The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2018)
  • 国際学会
• [学会発表] CuO/NiO 混合ナノ粒子のフェムト秒レーザ還元を用いたpn 熱電対の選択描画 (2017)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝，秦誠一
  • 学会等名: 第8回マイクロ ナノ工学シンポジウム
• [学会発表] Cu2O ナノ粒子還元を利用した導電性Cu 微細パターンの直接描画 (2017)
  • 著者名/発表者名: 近藤幸成，溝尻瑞枝，秦誠一
  • 学会等名: 第88回レーザ加工学会講演会
• [学会発表] フェムト秒レーザ還元直接描画法を用いたCu の3D 微細積層造形と応用 (2017)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝，秦誠一
  • 学会等名: 第３回日本機械学会イノベーション講演会（iJSME2017）
  • 招待講演
• [学会発表] CuO/NiO ナノ粒子を用いたポリマー基板上への熱電対のレーザ還元描画 (2017)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝，秦誠一
  • 学会等名: 第78回応用物理学会秋季学術講演会
• [学会発表] フェムト秒レーザー還元直接描画法を用いた機能性材料の選択描画とデバイス応用 (2017)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 学会等名: 平成29年度年度第1回多元技術融合光プロセス研究交流研究会
  • 招待講演
• [学会発表] Cu2Oナノ粒子還元によるCu微細パターンのフェムト秒レーザ直接描画 (2017)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝，近藤幸成，秦誠一
  • 学会等名: 電気学会E部門総合研究会マイクロマシンセンサシステム研究会
• [学会発表] Direct-writing of Cu-Ni micropatterns using femtosecond laser reduction of CuO/NiO nanoparticles (2016)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata
  • 学会等名: 10th International Conference on Photoexcited Processes and Applications（ICPEPA-10)
  • 発表場所: Brasov, Romania
  • 年月日: 2016-09-30
  • 国際学会
• [学会発表] Fabrication of microdevices using femtosecond laser reductive sintering of metal oxide nanoparticles (2016)
  • 著者名/発表者名: Mizue Mizoshiri
  • 学会等名: International Conference on Advanced Laser Technologies (ALT16)
  • 発表場所: Radisson Blu Hotel & Spa Galway, Galway, Ireland
  • 年月日: 2016-09-13
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] フェムト秒レーザによる硝酸銅(Ⅱ)溶液の微細還元パターニング (2016)
  • 著者名/発表者名: 近藤幸成，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
  • 学会等名: 第85回レーザ加工学会講演会
  • 発表場所: 大阪大学吹田キャンパス
  • 年月日: 2016-06-09
• [学会発表] Cu-based micropatterning using femtosecond laser reduction of copper nitrate in a polymer (2016)
  • 著者名/発表者名: Yukinari Kondo, Mizue Mizoshiri, Junpei Sakurai, Seiichi Hata
  • 学会等名: The Second Smart Laser Processing Conference 2016
  • 発表場所: Pacifico Yokohama, Japan
  • 年月日: 2016-05-19
  • 国際学会
• [図書] プリンテッドエレクトロニクスに向けた材料，プロセス技術の開発と最新事例 (2017)
  • 著者名/発表者名: 溝尻瑞枝
  • 総ページ数: 523
  • 出版者: （株）技術情報協会
  • ISBN: 9784861046810
• [備考] 長岡技術科学大学 研究者詳細
  • URL: https://souran.nagaokaut.ac.jp/view?l=ja&u=100000761&i=j31&sm=name&sl=ja&sp=1
• [備考] 長岡技術科学大学 マイクロ・ナノプロセス応用研究室
  • URL: https://mcweb.nagaokaut.ac.jp/~mizoshiri/index.html
• [備考] 長岡技術科学大学 研究者詳細
  • URL: http://souran.nagaokaut.ac.jp/view?l=ja&u=100000761&i=j31&sm=name&sl=ja&sp=1
• [備考] 長岡技術科学大学 マイクロ・ナノプロセス応用研究室
  • URL: https://mcweb.nagaokaut.ac.jp/~mizoshiri/