| 研究課題/領域番号 |
16H06859
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| 研究種目 |
研究活動スタート支援
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
プラズマエレクトロニクス
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
鈴木 陽香 名古屋大学, 工学研究科, 助教 (80779356)
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| 研究協力者 |
仙波 輝
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| 研究期間 (年度) |
2016-08-26 – 2018-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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| 配分額 *注記 |
2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2017年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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| キーワード | 大気圧マイクロ波プラズマ / 水蒸気プラズマ / 大気遮蔽 / アッシング / 大気圧プラズマ / マイクロ波 / マイクロ波放電 |
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| 研究成果の概要 |
大気圧プラズマプロセスにおいては、プラズマに大気が混入することにより、プロセス条件の制御が困難であることから、本研究では、簡易な設備で外気を遮断し高密度かつ高純度の活性種を利用する大気中プラズマプロセス技術の確立を目的とした。マイクロ波放電による水蒸気プラズマの周囲に円錐状水流を設けることにより、プラズマへの大気混入を抑制することに成功した。また、本研究のプラズマ装置を用いたフォトレジスト除去に成功した。水流による遮蔽がない場合、水蒸気プラズマに大気中の大気が混入し、除去処理が行えなかったことから、水流による大気遮蔽の効果と水由来活性種の生成量の増加が示された。
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