研究課題/領域番号 |
16H07127
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研究種目 |
研究活動スタート支援
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配分区分 | 補助金 |
研究分野 |
電子・電気材料工学
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研究機関 | 大阪府立大学 |
研究代表者 |
桐谷 乃輔 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (80568030)
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研究期間 (年度) |
2016-08-26 – 2018-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2017年度)
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配分額 *注記 |
2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2017年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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キーワード | 無機半導体 / 分子 / 酸化還元 / 超酸 / パッシベーション / 電子デバイス / マイクロ・ナノデバイス / 原子分子処理 / 分子無機ハイブリッド / ナノエレクトロニクス |
研究成果の概要 |
本研究では、分子溶液を用いた無機半導体の物性制御・プロセス技術の開拓を視野に入れ研究を進めた。次世代の無機デバイス材料として注目されるゲルマニウムおよび二次元半導体(二硫化モリブデン)に対して、分子溶液処理の効果を探索したところ、双方の材料において、溶媒種が重要な寄与を持つことを実験的に明らかにした。特に二硫化モリブデンにおいては、光学特性の変化が溶媒種と密接に関与することを明らかとし、物性制御における溶媒の重要性を示した。この知見は、従来の半導体プロセスの利用を困難とする薄層の次世代半導体に対して、効果的に物性制御する手法として有用な知見となると考えている。
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