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中間バンド型Ge量子ドット太陽電池の実現に向けた量子ドットの形成・積層

研究課題

研究課題/領域番号 16J01701
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 結晶工学
研究機関東北大学

研究代表者

伊藤 友樹  東北大学, 工学研究科, 特別研究員(DC2)

研究期間 (年度) 2016-04-22 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2017年度)
配分額 *注記
2,300千円 (直接経費: 2,300千円)
2017年度: 1,100千円 (直接経費: 1,100千円)
2016年度: 1,200千円 (直接経費: 1,200千円)
キーワード結晶成長 / ゲルマニウム / 量子ドット / 電子デバイス / 光素子 / IV族半導体 / カーボン
研究実績の概要

本研究では、カーボン(C)媒介を利用したGe量子ドット(QD)の形成と、Si1-xCx歪補償層導入による歪フリー積層を実現し、高効率中間バンド型Ge QD太陽電池形成の基盤技術を確立する。本年度は2年計画の最終年度として、C媒介とSi1-xCx歪補償層を利用した歪フリーGe QD積層について検討した。
1.Si1-xCxスペーサ上のQD形成において、QD/Si1-xCxスペーサ界面に0.25原子層以上のCを媒介することで、1層目のQDとほぼ同じ粒径のQDをSi1-xCxスペーサ上に形成できることを見出し、QDがVolmer-Weberモードで成長した孤立ドットであることを明らかにした。また、QD形成機構の解析に、ケルビンプローブ顕微法と低角入射インプレーンX線回折法を導入し、Si1-xCxスペーサ表面の圧縮歪によるGe/Si1-xCx界面の格子不整合の増大により、C媒介によるQD縮小効果が増大することを解明した。
2.積層構造の形成において、C含有量=1.5 at.%のSi1-xCx歪補償スペーサを利用して、QD/スペーサの積層ペア毎にQD内の圧縮応力を緩和することによって、多重積層により生じるQDの肥大化を抑制し、歪フリーで多重積層できることを実証した。これらは、混晶組成の自由度が小さいIV族系半導体において、QDとSi1-xCxスペーサを組合せて歪制御することによって、III-VもしくはII-VI族系半導体と同様に、QDを必要に応じて積層できることを示した重要な成果である。これらの結果は、中間バンド型Ge QD太陽電池を形成するための基盤技術だけなく、高効率発光素子の形成にも応用が期待できる。
本研究で確立したC媒介と歪補償に基づくGe QD積層法は、中間バンド型Ge QD太陽電池形成の基盤技術であり、今後、これらの知見が十二分に活かせると考えている。

現在までの達成度 (段落)

29年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

29年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(2件)
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (34件)

すべて 2018 2017 2016 その他

すべて 国際共同研究 (1件) 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件、 謝辞記載あり 3件) 学会発表 (27件) (うち国際学会 12件)

  • [国際共同研究] Innovations for High Performance (IHP)(ドイツ)

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [雑誌論文] Control of growth modes by carbon mediation in formation of Ge quantum dots on Si(100)2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 雑誌名

      IEEE Trans. Nanotechnol.

      巻: 16 号: 4 ページ: 595-599

    • DOI

      10.1109/tnano.2017.2679721

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書 2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Low-temperature formation of self-assembled Ge quantum dots on Si(100) under high carbon mediation via solid-phase epitaxy2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, K. Takeshima, T. Kawashima, K. Washio
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 印刷中 ページ: 167-172

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.09.011

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書 2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Effects of carbon coverage on Ge quantum dots formation on Si(100) using C-Si reaction and transition of Ge growth mode2017

    • 著者名/発表者名
      K. Yasuta, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 印刷中 ページ: 173-177

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.11.004

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書 2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Influence of crystallinity of as-deposited Ge film on formation of quantum dot in carbon-mediated solid-phase epitaxy2017

    • 著者名/発表者名
      K. Takeshima, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 印刷中 ページ: 178-182

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.11.025

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書 2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Formation and Strain Analysis of Stacked Ge Quantum Dots With Strain-Compensating Si1-xCx Spacer2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 雑誌名

      Phys. Status Solidi (c)

      巻: 14 号: 12 ページ: 1700197-1700197

    • DOI

      10.1002/pssc.201700197

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effects of Ge growth rate and temperature on C-mediated Ge dot formation on Si (100) substrate2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Satoh, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 雑誌名

      Thin Solid Films

      巻: 621 ページ: 42-46

    • DOI

      10.1016/j.tsf.2016.11.032

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Formation of multi-stacked Ge quantum dots structure via carbon-mediated solid-phase epitaxy2018

    • 著者名/発表者名
      K. Takeshima, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      11th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 固相成長によるC媒介Ge量子ドットの積層構造の検討2018

    • 著者名/発表者名
      井上 友貴, 武島 開斗, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Alignment Control of Self-Ordered Three Dimensional SiGe Nanodots2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamamoto, Y. Itoh, P. Zaumseil, M. A. Schubert, G. Capellini, K. Washio, and B. Tillack,
    • 学会等名
      9th International SiGe Technology and Device Meeting
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Strain Distribution Analysis of Self-Ordered SiGe Nanodot Structures by Nano Beam Diffraction2018

    • 著者名/発表者名
      M. A. Schubert, Y. Yamamoto, Y. Itoh, P. Zaumseil, G. Capellini, K. Washio, and B. Tillack
    • 学会等名
      9th International SiGe Technology and Device Meeting
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Self-Ordered Ge Nanodot Fabrication by Reduced Pressure Chemical Vapor Deposition2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Yamamoto, Y. Itoh, P. Zaumseil, M. A. Schubert, G. Capellini, K. Washio, and B. Tillack
    • 学会等名
      Americans International Meeting on Electrochemistry and Solid State Science
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Strain-compensated formation of multi-stacked Ge quantum dots utilizing Si1-xCx spacer2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      European Materials Research Society
    • 発表場所
      Strasbourg (France)
    • 年月日
      2017-05-22
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Si1-xCx歪補償中間層上のカーボン媒介によるGe量子ドットの自己組織的成長2017

    • 著者名/発表者名
      伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Siスペーサ層上の固相成長によるカーボン媒介Ge量子ドットの形成2017

    • 著者名/発表者名
      武島 開斗, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Ge量子ドットとSiキャップ層の形状と歪へのカーボン被覆の影響2017

    • 著者名/発表者名
      有田 誠, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] c面サファイア基板上Ge(111)薄膜結晶性の熱処理による変化2017

    • 著者名/発表者名
      大武 史康, 河口 大和, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第64回 応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜 (神奈川県・横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Carbon-mediated Ge quantum dot formation via c(4x4) surface reconstruction and solid-phase epitaxy2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      10th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai (Japan)
    • 年月日
      2017-02-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Rhombohedrally aligned growth of Ge(111) film on c-plane sapphire substrate2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Kawaguchi, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      10th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai (Japan)
    • 年月日
      2017-02-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Influence of carbon binding states at Ge/Si(100) interface on Ge quantum dot formation via carbon mediation2017

    • 著者名/発表者名
      K. Yasuta, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      10th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai (Japan)
    • 年月日
      2017-02-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Strain-compensated formation of multi-stacked Ge quantum dots utilizing Si1-xCx spacer2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      European Material Research Society 2017 Spring Meeting
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Ge量子ドット積層における中間層の歪補償効果に関する検討2017

    • 著者名/発表者名
      有田 誠, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Formation of Multi-Stacked Ge Quantum Dot by Using Strain-Compensating Si1-xCx Spacer and Carbon Mediation2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, M. Makoto, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] カーボン媒介Ge量子ドットの自己組織化形成法 ―表面再構成と固相成長―2017

    • 著者名/発表者名
      伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第72回応用物理学会東北支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] c面サファイア基板上Ge(111)薄膜の二段階成長2016

    • 著者名/発表者名
      河口 大和, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第71回 応用物理学会東北支部学術講演会
    • 発表場所
      東北大学 (宮城県・仙台市)
    • 年月日
      2016-12-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Formation of multi-stacked Ge quantum dot utilizing carbon-mediated template and its photoluminescence property2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 発表場所
      ANA Crowne Plaza Kyoto, Kyoto (Japan)
    • 年月日
      2016-11-08
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] C-Si 反応を利用したGe 量子ドットの積層構造の発光特性2016

    • 著者名/発表者名
      伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ (新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 堆積中カーボン媒介によるGe量子ドットの低温形成2016

    • 著者名/発表者名
      武島 開斗, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ (新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] 余剰カーボンのC-Si反応Ge量子ドット形成への影響2016

    • 著者名/発表者名
      安田 康佑, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ (新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] c面サファイア基板上のGe(111)薄膜の成長初期の検討2016

    • 著者名/発表者名
      河口 大和, 伊藤 友樹, 川島 知之, 鷲尾 勝由
    • 学会等名
      第77回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ (新潟県・新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Control of VW and SK Growth Modes in Ge Quantum Dot Formation on Si(100) Via Carbon Mediation2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      IEEE 16th International Conference on Nanotechnology
    • 発表場所
      Sendai International Center, Sendai (Japan)
    • 年月日
      2016-08-22
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Low-Temperature Formation of Ge Quantum Dots on Si(100) via Solid-Phase Epitaxy Using Carbon mediation2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      International SiGe Technology and Device Meeting 2016
    • 発表場所
      Nagoya University, Nagoya (Japan)
    • 年月日
      2016-06-07
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Effect of Crystallinity of As-Deposited Ge Film on Quantum Dot Formation in Carbon-Mediated Solid-Phase Epitaxy2016

    • 著者名/発表者名
      K. Takeshima, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      International SiGe Technology and Device Meeting 2016
    • 発表場所
      Nagoya University, Nagoya (Japan)
    • 年月日
      2016-06-07
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Transition of Ge Quantum Dot Growth Mode by Using C-Mediated Si(100) Surface Management2016

    • 著者名/発表者名
      K. Yasuta, Y. Satoh, Y. Itoh, T. Kawashima, K. Washio
    • 学会等名
      International SiGe Technology and Device Meeting 2016
    • 発表場所
      Nagoya University, Nagoya (Japan)
    • 年月日
      2016-06-07
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会

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公開日: 2016-05-17   更新日: 2024-03-26  

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