• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

垂直磁化膜を有する強磁性トンネル接合を用いた次世代磁気センサの開発

研究課題

研究課題/領域番号 16J01812
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 応用物性
研究機関東北大学

研究代表者

中野 貴文  東北大学, 工学研究科, 特別研究員(DC2)

研究期間 (年度) 2016-04-22 – 2018-03-31
研究課題ステータス 完了 (2016年度)
配分額 *注記
1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2016年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
キーワードトンネル磁気抵抗効果 / 強磁性トンネル接合 / 磁気センサ / 垂直磁気異方性
研究実績の概要

強磁性トンネル接合(MTJ)の電気抵抗は,トンネル磁気抵抗(TMR)効果によって外部磁場に応じて変化するため,磁気センサ(いわゆるTMRセンサ)に応用できる.TMRセンサは,高感度・低消費電力・微小サイズといった優れた特長を持つことから,自動車産業における各種磁気センサへの応用が期待されている.本研究では,±1 kOe以上の広いダイナミックレンジが必要とされる,バッテリの電流検出に用いる車載用磁気センサへの適用を目指し,面内磁化-自由層と積層反強磁性(SAF)構造を用いた垂直磁化-固定層を有するTMRセンサを世界で初めて開発した(本構造に関連する2件の特許を出願中).また,その実験結果を,本研究で構築した理論モデルと比較することで,TMRセンサの性能を決めるメカニズムを明らかにした.
本研究で作製したTMRセンサは,そのSAF構造の大きな反転磁場に由来して,±2.5 kOe以上の極めて広い磁場範囲において,線形な磁気抵抗曲線を示した.このダイナミックレンジの大きさは,目標値である±1 kOeを十分に満たし,かつ,これまでに報告されているTMRセンサの中で世界最大である.また,そのセンサ性能を評価したところ,その感度と非線形性はいずれも,自由層の異方性磁界の増大とともに,単調に減少した.この実験結果は,本研究で構築した理論モデルと定量的に良く一致した.したがって,この理論モデルは,所望の性能を示すTMRセンサを設計するための指針として利用できると結論づけられる.これらの研究成果は,SAF構造を用いた垂直磁化-固定層を有するTMRセンサが,広いダイナミックレンジが必要な磁気センサのための,最も有力な構造であることを実証するものである.車載応用以外にも,広いダイナミックレンジを有する磁気センサとして,既存のホール素子などを置き換え,幅広い用途で活躍することが期待できる.

現在までの達成度 (段落)

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

今後の研究の推進方策

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

報告書

(1件)
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (5件) (うち国際学会 4件、 招待講演 1件) 産業財産権 (3件)

  • [雑誌論文] Magnetic tunnel junctions using perpendicularly magnetized synthetic antiferromagnetic reference layer for wide-dynamic-range magnetic sensors2017

    • 著者名/発表者名
      Takafumi Nakano, Mikihiko Oogane, Takamoto Furuichi, and Yasuo Ando
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 110 号: 1 ページ: 012401-012401

    • DOI

      10.1063/1.4973462

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Magnetic Tunnel Junctions using perpendicularly magnetized synthetic antiferromagnetic reference layer for wide-dynamic-range magnetic sensors2017

    • 著者名/発表者名
      T. Nakano, M. Oogane, T. Furuichi, and Y. Ando
    • 学会等名
      International Conference on Small Science (ICSS 2017)
    • 発表場所
      San Sebastian, Spain
    • 年月日
      2017-05-09
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Wide-dynamic-range magnetic sensor based on magnetic tunnel junctions using perpendicularly magnetized synthetic antiferromagnetic reference layer2017

    • 著者名/発表者名
      T. Nakano, M. Oogane, T. Furuichi, and Y. Ando
    • 学会等名
      IEEE International Magnetics Conference (Intermag 2017)
    • 発表場所
      Dublin, Ireland
    • 年月日
      2017-04-24
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Magnetic Tunnel Junctions using perpendicularly magnetized synthetic antiferromagnetic reference layer for wide-dynamic-range magnetic sensors2017

    • 著者名/発表者名
      T. Nakano, M. Oogane, T. Furuichi, and Y. Ando
    • 学会等名
      The 64th Japan Society of Applied Physics Spring Meeting
    • 発表場所
      PACIFICO Yokohama, Yokohama, Japan
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Comparative study of CoFeAlB and CoFeB FMR properties for spin torque devices2016

    • 著者名/発表者名
      A. Conca, T. Meyer, T. Nakano, Y. Ando, and B. Hillebrands
    • 学会等名
      4th Workshop of the Core-to-Core Project Tohoku-York-Kaiserslautern
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai, Japan
    • 年月日
      2016-11-16
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Wide-dynamic-range magnetic sensor based on magnetic tunnel junction with perpendicularly magnetized [Co/Pd]-based reference layer2016

    • 著者名/発表者名
      T. Nakano, M. Oogane, T. Furuichi, K. Ao, and Y. Ando
    • 学会等名
      3rd Workshop of the Core-to-Core Project Tohoku-York-Kaiserslautern
    • 発表場所
      Kaiserslautern, Germany
    • 年月日
      2016-06-22
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [産業財産権] 磁気センサおよびその製造方法2016

    • 発明者名
      古市喬干,青建一,阿部竜一郎,安藤康夫,大兼幹彦,中野貴文
    • 権利者名
      古市喬干,青建一,阿部竜一郎,安藤康夫,大兼幹彦,中野貴文
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2016-10-26
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] 磁気センサ2016

    • 発明者名
      古市喬干,青建一,安藤康夫,大兼幹彦,中野貴文
    • 権利者名
      古市喬干,青建一,安藤康夫,大兼幹彦,中野貴文
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2016-09-12
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] 磁気センサ2016

    • 発明者名
      古市喬干,青建一,安藤康夫,大兼幹彦,中野貴文
    • 権利者名
      古市喬干,青建一,安藤康夫,大兼幹彦,中野貴文
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2016-07-04
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

URL: 

公開日: 2016-05-17   更新日: 2024-03-26  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi