• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

フレキシブル基板上への高性能不揮発メモリの実証

研究課題

研究課題/領域番号 16J04410
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関大阪大学

研究代表者

東 英実  大阪大学, 基礎工学研究科, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2016-04-22 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
1,900千円 (直接経費: 1,900千円)
2018年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
2017年度: 600千円 (直接経費: 600千円)
2016年度: 700千円 (直接経費: 700千円)
キーワードフレキシブル / ゲルマニウム / 薄膜トランジスタ / フレキシブルTFT
研究実績の概要

採択者は,より高性能なフレキシブル・システムインディスプレイを実現するために,本年度はTFT性能の低下を引き起こす原因の解明に着手した.ホール移動度およびキャリア密度の温度特性を詳細に評価した結果,キャリアの発生には触媒として用いているAuによる深いドナー準位の形成が関係しており,ホール移動度の低下を引き起こす主な要因となっていることが判明した.今後は,Auの総量を減らした新たな試料構造を検討することで,TFT性能の向上が期待される.Ge薄膜の移動度向上に関して,Sn添加による結晶欠陥の低減が有効であるという報告があるため,[Au/Sn]多層構造を用いた新しい層交換成長法からフレキシブル基板上に同様の擬似単結晶Ge薄膜を検討した結果,室温のホール移動度が~300 cm2/Vsへと向上した.今後,これらの薄膜を用いた高性能TFTの実証に向けた要素技術開発が重要となることを提案した.
最後に,次世代のスピントロニクス技術との融合を視野に,フレキシブル基板上の擬似単結晶Geが(111)配向していることを利用した強磁性ホイスラー合金の作製も検討した.強磁性ホイスラー合金/擬似単結晶Ge界面状態などの課題を抽出し,高品質な強磁性ホイスラー合金のエピタキシャル成長実現の可能性を提示した. 今後は,本研究室で開発したエピタキシャル成長界面のFe原子終端による,Ge原子の拡散抑制法が有効であると考えられる.
以上の成果の一部は,米国応用物理学雑誌「Journal of Applied Physics」に筆頭著者で論文が掲載されており,国内会議において2件,国際会議1件において報告している.以上のように,研究代表者は低消費電力フレキシブル・システムインディスプレイを実現するための基礎技術を確立し,実現に向けた課題と指針を見出した.

現在までの達成度 (段落)

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(3件)
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2019 2018 2017 2016

すべて 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件) 学会発表 (6件) (うち国際学会 3件)

  • [雑誌論文] Electrical properties of pseudo-single-crystalline Ge films grown by Au-induced layer exchange crystallization at 250?°C2018

    • 著者名/発表者名
      Higashi H.、Kudo K.、Yamamoto K.、Yamada S.、Kanashima T.、Tsunoda I.、Nakashima H.、Hamaya K.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 123 号: 21 ページ: 215704-215704

    • DOI

      10.1063/1.5031469

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of post annealing on electrical properties of pseudo-single-crystalline germanium films fabricated on glass substrates2017

    • 著者名/発表者名
      K. Kasahara, H. Higashi, M. Nakano, Y. Nagatomi, K. Yamamoto, H. Nakashima, and K. Hamaya
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 70 ページ: 68-72

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2016.07.004

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A crystalline germanium flexible thin-film transistor2017

    • 著者名/発表者名
      Higashi H.、Nakano M.、Kudo K.、Fujita Y.、Yamada S.、Kanashima T.、Tsunoda I.、Nakashima H.、Hamaya K.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 111 号: 22 ページ: 222105-222105

    • DOI

      10.1063/1.5007828

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Effect of post annealing on electrical properties of pseudo-single-crystalline germanium films fabricated on glass substrates2016

    • 著者名/発表者名
      K. Kasahara, H. Higashi, M. Nakano, Y. Nagatomi, K. Yamamoto, H. Nakashima, and K. Hamaya
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: -

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 金誘起層交換成長法で作製したGe薄膜を用いた薄膜トランジスタ特性2019

    • 著者名/発表者名
      東英実, 笠原健司, 山本圭介, 工藤康平, 山田晋也, 金島岳, 中島寛, 浜屋宏平
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 金誘起層交換成長法で作製したGe薄膜における電気伝導特性の理解2019

    • 著者名/発表者名
      東英実, 笠原健司, 工藤康平, 山田晋也, 金島岳, 角田功, 中島寛, 浜屋宏平
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Flexible thin-film transistors with crystalline germanium layers2018

    • 著者名/発表者名
      H. Higashi, K. Kudo, S. Yamada, T. Kanashima, I. Tsunoda, H. Nakashima, and K. Hamaya
    • 学会等名
      The 9th International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electrical properties of pseudo-single-crystalline Ge film grown on SiNx/SiO2 substrates2017

    • 著者名/発表者名
      K. Kudo, H. Higashi, M. Nakano, S. Yamada, K. Yamamoto, T. Kanashima, I. Tsunoda, H. nakashima, and K. Hamaya
    • 学会等名
      The 10th International Conference on Silicon Epitaxy and heterostructures
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 結晶性Geを用いたフレキシブル薄膜トランジスタの実証2016

    • 著者名/発表者名
      東英実,中野茉莉央,工藤康平,藤田裕一,山田晋也,金島岳,角田功,中島寛,浜屋宏平
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ (新潟県,新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Effect of post annealing on hole mobility of pseudo-single-crystalline germanium thin-film-transistors on glass substrate2016

    • 著者名/発表者名
      K. Kasahara, H. Higashi, M. Nakano, Y. Nagatomi, K. Yamamoto, H. Nakashima, and K. Hamaya
    • 学会等名
      7th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces/International SiGe Technology and Device Meeting
    • 発表場所
      名古屋大学 (愛知県,名古屋市)
    • 年月日
      2016-06-07
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会

URL: 

公開日: 2016-05-17   更新日: 2024-03-26  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi