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面外駆動型の金属メタサーフェスを用いた超小型光位相変調器の開発

研究課題

研究課題/領域番号 16J08512
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分国内
研究分野 ナノマイクロシステム
研究機関東京農工大学

研究代表者

志村 崇  東京農工大学, 大学院工学府, 特別研究員(DC1)

研究期間 (年度) 2016-04-22 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
2,800千円 (直接経費: 2,800千円)
2018年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2017年度: 900千円 (直接経費: 900千円)
2016年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
キーワード空間光変調器 / 可変位相差 / 構造性複屈折 / ナノグレーティング / メタサーフェス / MEMS / 位相差変調 / 位相変調 / 表面プラズモン
研究実績の概要

本研究は,可視光の高速光位相差変調が可能なマイクロスケールの光位相差変調器の開発を目的とし,可視光に複屈折を生じるAuナノグレーティングを駆動させることで光位相差変調を実現することを試みた。
今年度は,高速光位相差変調器の実現を目的として,静電駆動方式変調器の試作の光位相差変化及び透過率変化の性能を評価した。0~700 Vの電圧を印加したところ,0~200 Vの範囲において,入射光波長0.633 μmで,位相差変化量25.3°(21.5°~46.8°)を達成した。また,二次試作を利用した初期変形量と位相差の調査により,変位によって位相差が変化することを実験的に確認することに成功した。以上の結果より,静電駆動方式の試作によって,面外駆動型Au ナノグレーティングによる光位相差変調の実証に成功した。可変メタサーフェスによる位相差変化の実証は、可視光領域では世界初の成果である。これらの成果をまとめた論文をApplied Physics Lettersに投稿し,10月に公開された。
また,併行して電熱駆動方式の光位相差変調器の試作を行った.工程を改善することで,特別研究員採用以前の試作と比較しても,構造の破損等がほとんど生じない製作が可能となった。試作に0~2.9 Vの電圧を印加したところ,入射光波長0.532 μmで,位相差変化量-7.6°(86.2°~78.6°)を達成した。これより,電熱駆動方式についても,面外駆動型Auナノグレーティングによる光位相差変調の実証に成功した。
本研究によって,面外駆動型Auナノグレーティングによる光位相差変調器を世界で初めて実証した。より大きな位相差可変特性が得られれば,対象波長可変の広帯域波長板,マイクロサイズのレーザ制御素子,非侵襲デバイスへの組込など,将来の超小型で多機能な光学デバイスへの貢献に繋がることが期待できる。

現在までの達成度 (段落)

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

今後の研究の推進方策

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

報告書

(3件)
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (11件)

すべて 2018 2017 2016

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (9件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Birefringent reconfigurable metasurface at visible wavelengths by MEMS nanograting2018

    • 著者名/発表者名
      Takashi Shimura, Takuya Kinoshita, Yuji Koto, Norihiro Umeda, and Kentaro Iwami
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 113 号: 17 ページ: 1719051-1719054

    • DOI

      10.1063/1.5046976

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] 面外熱駆動Auナノグレーティングを用いたマイクロ光学位相子の透過率変調2017

    • 著者名/発表者名
      志村 崇、岩見 健太郎、梅田 倫弘
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 137 号: 11 ページ: 400-406

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.137.400

    • NAID

      130006191730

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 金ナノグレーティングに生じる内部応力の調整2018

    • 著者名/発表者名
      湖東 裕士、木下 卓哉、志村 崇、岩見 健太郎、梅田 倫弘
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 両持ちバイモルフ梁を集積化した面外駆動Au/SiO2 グレーティングの製作2018

    • 著者名/発表者名
      志村 崇、梅田 倫弘、岩見 健太郎
    • 学会等名
      第35 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 静電駆動型金ナノグレーティング位相差変調器における内部応力の制御2018

    • 著者名/発表者名
      湖東 裕士、志村 崇、安 忠烈、岩見 健太郎
    • 学会等名
      第9回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Au/Siバイモルフ梁を集積化したナノグレーティング光位相変調素子の光学特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      志村 崇、岩見 健太郎、梅田 倫弘
    • 学会等名
      電気学会E部門総合研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Suspended Au nanograting optical retarder for electrostatic reconfiguration2017

    • 著者名/発表者名
      Kentaro Iwami, Takuya Kinoshita, Takashi Shimura, Norihiro Umeda
    • 学会等名
      The 11th Asia-Pacific Conference on Near-Field Optics (APNFO11)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 静電駆動金ナノグレーティングによる位相差変調2017

    • 著者名/発表者名
      湖東 裕士、城光寺 佑樹、木下 卓哉、志村 崇、岩見 健太郎、梅田 倫弘
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Au/Si バイモルフ梁を配列したナノグレーティング光位相差変調素子の光学特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      志村 崇、岩見 健太郎、梅田 倫弘
    • 学会等名
      日本光学会ナノオプティクス研究グループ第24回研究討論会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Birefringence Modulation of Thermally - Driven Plasmonic Grating2016

    • 著者名/発表者名
      Takashi Shimura, Kentaro Iwami, Norihiro Umeda
    • 学会等名
      The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2016)
    • 発表場所
      Hotel Matsushima Taikanso (Matsushima, Japan)
    • 年月日
      2016-04-17
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 埋め込みSi犠牲層プロセスを用いたAuナノグレーティング光位相変調素子2016

    • 著者名/発表者名
      志村 崇,岩見 健太郎,梅田 倫弘
    • 学会等名
      電気学会センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会
    • 発表場所
      物質・材料研究機構 千現地区(茨城県つくば市)
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

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公開日: 2016-05-17   更新日: 2024-03-26  

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