微細加工の制御に向けたフェムト秒レーザーアブレーション過程の軟Ｘ線プローブ計測

• 研究課題/領域番号: 16K04989
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 光工学・光量子科学
• 研究機関: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
• 研究代表者: 長谷川 登 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, 主幹研究員(定常) (50360409)
• 研究分担者: 錦野 将元 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, グループリーダー(定常) (70370450) ; 石野 雅彦 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所 光量子科学研究部, 主幹研究員(定常) (80360410) ; 難波 愼一 広島大学, 工学研究科, 教授 (00343294)
• 研究期間 (年度): 2016-04-01 – 2019-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2018年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2018年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円); 2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円); 2016年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
• キーワード: レーザーアブレーション / フェムト秒レーザー加工 / 軟Ｘ線干渉計測 / 時間空間分解計測 / フェムト秒レーザー / アブレーション / レーザー加工 / 軟Ｘ線顕微鏡 / 時間分解計測 / 軟Ｘ線レーザー / フェムト秒レーザーアブレーション / 超高速現象の時間分解計測 / 軟Ｘ線プローブ計測 / 光プロセシング / 超短パルスレーザー加工

研究成果の概要

本研究では、フェムト秒レーザーのアブレーションダイナミクスの解明のために、7ピコ秒の時間分解能・1.5ナノメートルの深さ分解能・0.7ミクロンの空間分解能を有する軟Ｘ線レーザー干渉計を用いて、アブレーション閾値近傍における膨張表面の時間・空間分解計測を行った。表面計測の観測に最適な軟Ｘ線をプローブとしたことで、フェムト秒レーザーアブレーション特有の薄膜構造を伴った膨張過程の時間発展の直接観測が可能となり、ナノメートル級の微小な膨張が始まる初期過程からクレーターの形成までを同一の配置で観測することに成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究で開発した軟Ｘ線レーザープローブを用いた時間空間分解計測手法により得られるアブレーションダイナミクスに関する計測結果は、従来困難であったシミュレーションと実験の直接比較を可能とする。また、本計測手法は、金属に限らず軟Ｘ線が反射可能な条件であれば様々な材質に対して適応可能であることから、加工シミュレーター等の開発への貢献が期待される。

研究成果

• [雑誌論文] Enhancement of water-window soft x-ray emission from laser-produced Au plasma under low-pressure nitrogen atmosphere (2019)
  • 著者名/発表者名: Christian John, 岸本 牧, Tomoyuki Johzaki, Takeshi Higashiguch, Noboru Kakunaka, Yasuhiro Matsumoto, 長谷川 登, 錦野 将元, Takeo Ejima, Atsushi Sunahara, Takuma Endo
  • 雑誌名: Optics Letters 巻: 44 ページ: 1439-1442
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Study of damage structure formation on aluminum film targets by picosecond soft X-ray laser ablation around threshold region (2018)
  • 著者名/発表者名: Ishino Masahiko、Inogamov Nail A.、Tamotsu Satoshi、Zhakhovsky Vasily V.、Hasegawa Noboru、Skobelev Igor Yu.、Faenov Anatoly Ya.、Pikuz Tatiana A.、Mikami Katsuhiro、Kawachi Tetsuya、Nishikino Masaharu
  • 雑誌名: Applied Physics A 巻: 124 号: 9 ページ: 1-8
  • DOI: 10.1007/s00339-018-2072-9
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] 軟Ｘ線レーザーによるフェムト秒レーザーアブレーション過程の観察 (2018)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 錦野 将元
  • 雑誌名: J. Plasma Fusion Res. 巻: 94 ページ: 261-265
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] The Observation of Transient Thin Film Structures During the Femto-Second Laser Ablation Process by Using the Soft X-Ray Laser Probe (2018)
  • 著者名/発表者名: Hasegawa N.、Nishikino M.、Ishino M.、Ohnishi N.、Ito A. M.、Minami Y.、Baba M.、Faenov A. Ya.、Inogamov N.、Kawachi T.、Kondo K.、Suemoto T.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 273-277
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_40
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり
• [雑誌論文] Ultra-intense X-Ray Radiation Photopumping of Exotic States of Matter by Relativistic Laser Plasma in the Radiation-Dominated Kinetic Regime (RDKR) (2018)
  • 著者名/発表者名: A. Ya. Faenov, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, et al.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 149-158
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_23
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] High-Order Harmonic Generation by Relativistic Plasma Singularities: The Driving Laser Requirements (2018)
  • 著者名/発表者名: Pirozhkov A. S.、Esirkepov T. Zh.、Pikuz T. A.、Faenov A. Ya.、Ogura K.、Hayashi Y.、Kotaki H.、Ragozin E. N.、Neely D.、Kiriyama H.、Koga J. K.、Fukuda Y.、Sagisaka A.、Nishikino M.、Imazono T.、Hasegawa N.、Kawachi T.、Daido H.、Kato Y.、Bulanov S. V.、Kondo K.、Kando M.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 85-92
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_13
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Analysis of Reflection Signal from EUV Multilayer Mirror for Irradiation-Induced Damage Study (2018)
  • 著者名/発表者名: Ishino M.、Ichimaru S.、Hatayama M.、Hasegawa N.、Oku S.、Nishikino M.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 315-319
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_47
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり
• [雑誌論文] Progress and Prospects of X-Ray Laser Research in QST (2018)
  • 著者名/発表者名: Nishikino M.、Hasegawa N.、Ishino M.、Imazono T.、Sasaki A.、Mikami K.、Dinh T. -H.、Suemoto T.、Namba S.、Faenov A. Ya.、Pikuz T. A.、Ichimaru S.、Hatayama M.、Kawachi T.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 21-24
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_3
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり
• [雑誌論文] Irradiation Damage Test of Mo/Si, Ru/Si and Nb/Si Multilayers Using the Soft X-Ray Laser Built at QST (2018)
  • 著者名/発表者名: Ichimaru S.、Ishino M.、Nishikino M.、Hatayama M.、Hasegawa N.、Kawachi T.、Maruyama T.、Inokuma K.、Zenba M.、Oku S.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 303-308
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_45
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of Time-Resolved Small-Angle X-Ray Scattering System Using Soft X-Ray Laser (2018)
  • 著者名/発表者名: Kumada T.、Hasegawa N.、Nishikino M.、Otobe T.、Motokawa R.、Suemoto T.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 401-404
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_60
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり
• [雑誌論文] Investigation of Surface Excitation Effect for Ablation of 4H-SiC Substrate Using Double-Pulse Beam (2018)
  • 著者名/発表者名: Matsunaga K.、Hayashi T.、Kurokawa S.、Yokoo H.、Hasegawa N.、Nishikino M.、Kumada T.、Otobe T.、Matsukawa Y.、Takaya Y.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 321-326
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_48
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり
• [雑誌論文] Laser-Induced Damage on Silica Glasses by Irradiation of Soft X-Ray Laser Pulse (2018)
  • 著者名/発表者名: Mikami K.、Ishino M.、Dinh T.- H.、Yamamoto Y.、Hasegawa N.、Nishikino M.、Kawachi T.、Motokoshi S.、Jitsuno T.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 333-337
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_50
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり
• [雑誌論文] Development of a High Repetition Rate and High Pulse Energy Nd:YAG MOPA Laser System (2018)
  • 著者名/発表者名: Mikami K.、Hasegawa N.、Okada H.、Kondo S.、Nishikino M.、Kawachi T.
  • 雑誌名: Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers 巻: 202 ページ: 405-408
  • DOI: 10.1007/978-3-319-73025-7_61
  • ISBN: 9783319730240, 9783319730257
  • 査読あり
• [雑誌論文] Demonstration of 25-Hz-inspection-speed laser remote sensing for internal concrete defects (2018)
  • 著者名/発表者名: Kurahashi Shinri、Mikami Katsuhiro、Kitamura Toshiyuki、Hasegawa Noboru、Okada Hajime、Kondo Shuji、Nishikino Masaharu、Kawachi Tetsuya、Shimada Yoshinori
  • 雑誌名: Journal of Applied Remote Sensing 巻: 12 号: 01 ページ: 1-1
  • DOI: 10.1117/1.jrs.12.015009
  • 査読あり
• [雑誌論文] Burst intensification by singularity emitting radiation in multi-stream flows (2017)
  • 著者名/発表者名: Pirozhkov A. S.、Esirkepov T. Zh.、Pikuz T. A.、Faenov A. Ya.、Ogura K.、Hayashi Y.、Kotaki H.、Ragozin E. N.、Neely D.、Kiriyama H.、Koga J. K.、Fukuda Y.、Sagisaka A.、Nishikino M.、Imazono T.、Hasegawa N.、Kawachi T.、Bolton P. R.、Daido H.、Kato Y.、Kondo K.、Bulanov S. V.、Kando M.
  • 雑誌名: Scientific Reports 巻: 7 号: 1 ページ: 17968-17968
  • DOI: 10.1038/s41598-017-17498-5
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] Experimental characterization of concrete removal by high-power quasicontinuous wave fiber laser irradiation (2017)
  • 著者名/発表者名: Long Nguyen Phi、Daido Hiroyuki、Yamada Tomonori、Nishimura Akihiko、Hasegawa Noboru、Kawachi Tetsuya
  • 雑誌名: Journal of Laser Applications 巻: 29 号: 4 ページ: 041501-041501
  • DOI: 10.2351/1.5008326
  • 査読あり
• [雑誌論文] Flash-lamp-pumped 4 J, 50 Hz Nd:YAG nanosecond laser system for mobile and transportable equipment (2017)
  • 著者名/発表者名: Mikami Katsuhiro、Hasegawa Noboru、Okada Hajime、Kondo Shuji、Nishikino Masaharu、Kawachi Tetsuya
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 56 号: 8 ページ: 082701-082701
  • DOI: 10.7567/jjap.56.082701
  • NAID: 210000148146
  • 査読あり
• [雑誌論文] Formation of x-ray Newton’s rings from nano-scale spallation shells of metals in laser ablation (2017)
  • 著者名/発表者名: Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Rui Izutsu, Motoyoshi Baba, Tetsuya Kawachi, and Tohru Suemoto
  • 雑誌名: AIP Advances 巻: 7 号: 1
  • DOI: 10.1063/1.4975218
  • NAID: 120006877870
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Study of optical emission during spallative ablation induced by soft x-ray laser pulses (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Ishino, M. Nishikino, N. Hasegawa, T. Pikuz, I. Skobelev, A. Faenov, M. Yamagiwa, and T. Kawachi
  • 雑誌名: Springer Proceedings in Physics 巻: 169 ページ: 405-409
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Progress and prospects of coherent x-ray research using high power lasers in Japan Atomic Energy Agency (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Kawachi, M. Nishikino, A. Sasaki, M. Ishino, N. Hasegawa, T. Imazono, T. A. Pikuz, A. Y. Faenov, M. Magnitskiy, M. Maruyama, T. Tomita, T. Suemoto, A. S. Pirozhkov, S. V. Bulanov, H. Kiriyama, M. Kando, M. Yamagiwa, K. Kondo, P. Bolton, and Y. Kato
  • 雑誌名: Springer Proceedings in Physics 巻: 169 ページ: 3-10
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] X-ray coherent mirage: Generation of phase matched coherent poins source in plasma media by propagated X^ray laser seeded beam (2016)
  • 著者名/発表者名: A. Ya. Faenov, T. A. Pikuz, S. A. Magnitskiy, N. Nagorskiy, M. Tanaka, M. Ishino, M. Nishikino, M. Kando, R. Kodama, Y. Kato and T. Kawachi
  • 雑誌名: Laser and Particle Beams 巻: 34 ページ: 402-411
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Evaluation of a flat-field grazing incidence spectrometer for highly charged ion plasma emission in soft x-ray spectral region from 1 to 10 nm (2016)
  • 著者名/発表者名: Thanh-Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Toshiki Tamura, Yuichi Ono, Hiroyuki Hara, Hiroki Oikawa, Yoichi Yamamoto, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Shigeru Ohta, Ken Kitano, Takeo Ejima, Hatano Tadashi, and Takeshi Higashiguchi
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: 87 号: 12 ページ: 123106-123106
  • DOI: 10.1063/1.4971421
  • NAID: 120007135053
  • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
• [雑誌論文] 高密度プラズマによるＸ線レーザーの屈折 -Ｘ線による蜃気楼現象の観測- (2016)
  • 著者名/発表者名: FAENOV Anatoly, 石野雅彦, 河内哲哉
  • 雑誌名: プラズマ・核融合学会誌 巻: 92 ページ: 523-529
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Observation of the Dependence on the Fluence and Materials in Femto-second Laser Ablation Process by Using the Soft x-ray Laser Probe (2016)
  • 著者名/発表者名: N. HASEGAWA, T. TOMITA, M. NISHIKINO, T. EYAMA, N. KAKIMOTO, Y. MINAMI, M. BABA, N. OHNISHI, A. M. ITO, T. KAWACHI, M. YAMAGIWA and T. SUEMOTO
  • 雑誌名: JAEA-Conf 2015 巻: 2015-001 ページ: 17-20
  • 査読あり
• [雑誌論文] 超短パルス軟Ｘ線レーザープローブによるフェムト秒レーザーアブレーション初期過程の解明 (2016)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 錦野 将元, 南康夫, 馬場基芳, 大西直史, 伊藤篤史, 河内 哲哉, 末元徹
  • 雑誌名: 第85回レーザ加工学会講演論文集 巻: 85 ページ: 179-182
  • 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Reinjection of transmitted laser light into laser-produced plasma for efficient laser ignition (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Endo, Y. Takenaka, Y. Sako, T. Honda, T. Johzaki and S. Namba
  • 雑誌名: Applied Optics 巻: 55 ページ: 1132-1137
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Avalanche of stimulated forward scattering in high harmonic generation (2016)
  • 著者名/発表者名: C. Serrat,, D.Roca, J. M. Budesca, J. Seres, E. Seres, B. Aurand, A. Hoffmann, S. Namba, T. Kuehl, and C. Spielmann
  • 雑誌名: Optics express 巻: 24 ページ: 8028-8044
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Development of a cascade arc discharge source for an atmosphere-vacuum interface device (2016)
  • 著者名/発表者名: S. Namba, T. Endo, S. Fujino, C. Suzuki, and N. Tamura
  • 雑誌名: Rev. Sci. Instrum. 巻: 87 ページ: 83503-83503
  • 査読あり
• [雑誌論文] Core-level attosecond transient absorption spectroscopy of laser-dressed solid films of Si and Zr (2016)
  • 著者名/発表者名: E. Seres, J. Seres, C. Serrat and S. Namba
  • 雑誌名: Phys. Rev. B 巻: 94 ページ: 165125-165125
  • 査読あり / 国際共著
• [雑誌論文] Numerical Study of Spectral Line Shapes in High-Density He Plasmas (2016)
  • 著者名/発表者名: H. Kawazome and Shinichi Namba
  • 雑誌名: Plasma Fusion. Res. 巻: 11
  • 査読あり
• [雑誌論文] An experimental study on the ignition ability of a laser-induced gaseous breakdown (2016)
  • 著者名/発表者名: T. Endo, Y. Takenaka, Y. Sako, T. Johzaki, S. Namba
  • 雑誌名: Combustion and Flame 巻: 178 ページ: 1-6
  • 査読あり
• [雑誌論文] Measurement of ion Mach number of arcjet plasmas by a directional Langmuir probe under high-gas pressure (2016)
  • 著者名/発表者名: W. Sasano, T. Shikama, K. Kozue, L. Matsuoka, N. Tamura and S. Namba
  • 雑誌名: IEEE Transactions on Plasma Science 巻: 3 ページ: 285-288
  • 査読あり
• [学会発表] Study of the dynamics of the femto-second laser ablation by using the soft x-ray laser probe in QST (2019)
  • 著者名/発表者名: Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Thanhhung Dinh, 南 康夫, 馬場 基芳, Toru Suemoto
  • 学会等名: SPIE Photonics West LASE LAMOM
  • 国際学会
• [学会発表] Development of soft x-ray laser irradiation beamline for ablation and damage study (2019)
  • 著者名/発表者名: 石野 雅彦, タンフン ヂン, 長谷川 登, 坂上 和之, 東口 武史, 市丸 智, 畑山 雅俊, 鷲尾 方一, 錦野 将元
  • 学会等名: SPIE Photonics West LASE LAMOM
  • 国際学会
• [学会発表] 軟X線自由レーザーによる材料表面加工応用に向けた表面アブレーション (2019)
  • 著者名/発表者名: 錦野 将元, 石野 雅彦, タンフン ヂン, 長谷川 登, 坂上 和之, 東口 武史, 鷲尾 方一
  • 学会等名: レーザー学会学術講演会第39回年次大会
• [学会発表] Ablation of silicon using femtosecond extreme ultraviolet laser (2019)
  • 著者名/発表者名: タンフン ヂン, Nikita Medvedev, 石野 雅彦, 長谷川 登, 今 亮, 犬伏 雄一, 大和田 成起, 原 広行, 東口 武史, 坂上 和之, 鷲尾 方一, 羽多野 忠, 錦野 将元
  • 学会等名: レーザー学会学術講演会第39回年次大会
• [学会発表] 金属薄膜のフェムト秒レーザーアブレーション過程の観察 (2019)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 錦野 将元, タンフン ヂン, 石野 雅彦, 南 康夫, 馬場 基芳, 末元 徹
  • 学会等名: レーザー学会学術講演会第39回年次大会
• [学会発表] Surface Ablation by Soft X-ray Laser Pulse for EUV nano-scale fabrication (2019)
  • 著者名/発表者名: 錦野 将元, 石野 雅彦, タンフン ヂン, 長谷川 登, 坂上 和之, 東口 武史, 鷲尾 方一, 木下 博雄
  • 学会等名: SPIE Photonics West /LAMOM XXIV
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] EUV Laser Ablation and Damage Examination (2018)
  • 著者名/発表者名: 石野 雅彦, タンフン ヂン, 北村 俊幸, 長谷川 登, 錦野 将元, 坂上 和之, 鷲尾 方一, 東口 武史, 市丸 智, 岡本 一将, 古澤 孝弘, 末元 徹, 木下 博雄, Tatiana Pikuz, Anatoly Faenov
  • 学会等名: SACLA Users' Meeting 2018
• [学会発表] EUV laser irradiation system with intensity monitor (2018)
  • 著者名/発表者名: 石野 雅彦, タンフン ヂン, 長谷川 登, Kazuyuki Sakaue, Takeshi Higashiguchi, Satoshi Ichimaru, Masataka Hatayama, Masakazu Washio, Masaharu Nishikino, Tetsuya Kawachi
  • 学会等名: 16th International Conference on X-Ray Lasers (ICXRL 2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Li-like Aluminum plasma soft x-ray laser by means of recombination scheme (2018)
  • 著者名/発表者名: S. Namba, N. Kubo, 岸本 牧, C. John, 長谷川 登, 錦野 将元
  • 学会等名: 16th International Conference on X-Ray Lasers (ICXRL 2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Properties of a compact plasma-based x-ray laser at QST-KPSI (2018)
  • 著者名/発表者名: Thanhhung Dinh, Noboru Hasegawa, Kiminori Kondo, Shinichi Namba, Masaharu Nishikino, Tetsuya Kawachi
  • 学会等名: 16th International Conference on X-Ray Lasers (ICXRL 2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Study of the laser ablation process of metals by using the soft x-ray laser (2018)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 錦野 将元, 石野 雅彦, タンフン ヂン, 河内 哲哉, 南 康夫, 馬場 基芳, 末元 徹
  • 学会等名: 16th International Conference on X-Ray Lasers (ICXRL 2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Driver laser for high-brightness compact quantum beams at the QST-KPSI (2018)
  • 著者名/発表者名: タンフン ヂン, 長谷川 登, 森 道昭, 近藤 公伯, 錦野 将元
  • 学会等名: The 9th Asian Workshop on Generation and Application of Coherent XUV and X-ray Radiation
  • 国際学会
• [学会発表] Fully coherent plasma x-ray laser by injection of a parametrically amplified high-order harmonic beam (2018)
  • 著者名/発表者名: S. Namba, D. T. Hung, 長谷川 登, 岸本 牧, 錦野 将元, J. Seres, C. Serrat
  • 学会等名: 60th Annual Meeting of the APS Division of Plasma Physics
  • 国際学会
• [学会発表] Water window soft X-ray emission from Au plasmas generated with a picosecond laser pulse (2018)
  • 著者名/発表者名: N. Kakunaka, C. John, 岸本 牧, Y. Matsumoto, 長谷川 登, 錦野 将元, T. Higashiguch, T. Ejima, A. Sunahara, F. Nakajima, T. Johzaki, T. Endo, S. Namba
  • 学会等名: 2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
  • 国際学会
• [学会発表] Anomalous enhancement of water window X-rays emitted from laser produced Au plasma under low-pressure nitrogen atmosphere (2018)
  • 著者名/発表者名: S. Namba, 岸本 牧, C. John, N. Kakunaka, Y. Matsumoto, 長谷川 登, 錦野 将元, T. Higashiguchi, T. Ejima, A. Sunahara, T. Johzaki
  • 学会等名: 2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics (AAPPS-DPP2018)
  • 国際学会
• [学会発表] フェムト秒レーザーアブレーションの軟Ｘ線時間分解計測 (2018)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 錦野 将元, 石野 雅彦, タンフン ヂン, 河内 哲哉, 南 康夫, 馬場 基芳, 末元 徹
  • 学会等名: 第35回プラズマ・核融合学会
  • 招待講演
• [学会発表] Study of the laser ablation process of metals and dielectrics using the soft x-ray lasers in QST (2018)
  • 著者名/発表者名: Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Thanhhung Dinh, Masahiko Ishino
  • 学会等名: World Congress of Smart Materials 2018
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] リチウム様アルミイオンにおける再結合型軟X線レーザーの発生 (2018)
  • 著者名/発表者名: 難波愼一，久保暢明，佐藤祐太，長谷川登，岸本牧，錦野将元
  • 学会等名: レーザー学会年会
• [学会発表] EUV-FEL リソグラフィに向けた SXFELと多層膜鏡とレジスト材料の相互作用に関する研究 (2018)
  • 著者名/発表者名: 錦野将元
  • 学会等名: EUV-FEL光源産業化研究会 第７回全体会議
  • 招待講演
• [学会発表] Observation of fs-laser spallative ablation by soft x-ray laser probe (2017)
  • 著者名/発表者名: Masaharu Nishikino, Noboru Hasegawa, Takuro Tomita, Yasuo Minami, Takashi Eyama, Naoya Kakimoto, Rui Izutsu, Motoyoshi Baba, Tetsuya Kawachi, and Tohru Suemoto
  • 学会等名: SPIE Photonics west: Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII
  • 発表場所: San-fransisco(USA)
  • 年月日: 2017-01-30
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Soft x-ray laser ablation of metals and dielectrics (2017)
  • 著者名/発表者名: 石野 雅彦, Anatoly Y. Faenov（阪大）, Tatiana A. Pikuz（阪大）, 長谷川 登, 錦野 将元, 神門 正城, 兒玉 了祐（阪大）, 河内 哲哉
  • 学会等名: SPIE Optics + Optoelectronics 2017
  • 国際学会
• [学会発表] パラメトリック増幅高調波を用いたフルコヒーレントプラズマX線レーザーの開発 (2017)
  • 著者名/発表者名: 難波愼一，Dinh Thanh Hung, 長谷川登，岸本牧，錦野将元, Jozsef Seres, Carles Serrat
  • 学会等名: Plasma2017
  • 国際学会
• [学会発表] EUV微細加工技術に向けたSXFELと物質・材料の相互作用に関する研究 (2017)
  • 著者名/発表者名: 錦野将元
  • 学会等名: 第２回EUV-FELワークショップ
  • 招待講演
• [学会発表] Observation of fs-laser spallative ablation by soft x-ray laser probe (2017)
  • 著者名/発表者名: M. Nishikino, N. Hasegawa, N. Ohnishi, A. M. Ito, Y. Minami, N. A. Inogamov, V. Zakhovskii, A. Ya. Faenov, T. Suemoto, and T. Kawachi
  • 学会等名: SPIE Photonic west, Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXII
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] EUVレーザーによる多層膜反射鏡の照射損傷評価 (2016)
  • 著者名/発表者名: 石野雅彦, 錦野将元, 市丸智, 畑山雅俊, 奥哲
  • 学会等名: 光・量子ビーム科学合同シンポジウム（Opto2016）
  • 発表場所: 千里ライフサイエンスセンター（大阪府豊中市）
  • 年月日: 2016-11-24
• [学会発表] 軟X線レーザープローブによるフェムト秒レーザーアブレーション初期過程の観測 (2016)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 錦野 将元, 河内 哲哉, 末元 徹, 大西 直史, 伊藤 篤史, 南 康夫, 馬場 基芳, A. Y. Faenov, N. Inogamov
  • 学会等名: 光・量子ビーム科学合同シンポジウム（Opto2016）
  • 発表場所: 千里ライフサイエンスセンター（大阪府豊中市）
  • 年月日: 2016-11-24
• [学会発表] 超短パルス軟Ｘ線レーザープローブによるフェムト秒レーザーアブレーション初期過程の解明 (2016)
  • 著者名/発表者名: 長谷川 登, 錦野 将元, 南康夫, 馬場基芳, 大西直史, 伊藤篤史, 河内 哲哉, 末元徹
  • 学会等名: 第85回レーザ加工学会
  • 発表場所: 銀杏会館（大阪府吹田市）
  • 年月日: 2016-06-10
  • 招待講演
• [学会発表] Study on Initial Process of fs Laser Ablation Dynamics by using Soft x-ray Laser Prob (2016)
  • 著者名/発表者名: M.Nishikino, N. Hasegawa, T.Kawachi
  • 学会等名: CLEO:2016
  • 発表場所: California(USA)
  • 年月日: 2016-06-07
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Progress and Prospects of X-ray Laser Research in QST (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Nishikino, N. Hasegawa, M. Ishino, T. Imazono, A. Sasaki, K. Mikami, D. Thanh-Hung, T. Suemoto, S. Namba, A. Ya. Faenov, T. Pikuz, S. Ichimaru, M. Hatayama, and T. Kawachi
  • 学会等名: International Conference on X-ray Lasers 2016
  • 発表場所: 奈良春日野国際フォーラム（奈良県奈良市）
  • 年月日: 2016-05-26
  • 国際学会 / 招待講演
• [学会発表] Analysis of Reflection Signal from EUV Multilayer Mirror for Irradiation Induced Damage Study (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Ishino, S. Ichimaru, M. Hatayama, N. Hasegawa, S. Oku, and M. Nishikino
  • 学会等名: International Conference on X-ray Lasers 2016
  • 発表場所: 奈良春日野国際フォーラム（奈良県奈良市）
  • 年月日: 2016-05-22
  • 国際学会
• [学会発表] The observation of transient thin film structures during the femto-second laser ablation process by using the soft x-ray laser probe (2016)
  • 著者名/発表者名: Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Masahiko Ishino, Naofumi Ohnishi, Atsushi M. Ito, Yasuo Minami, Motoyoshi Baba, Anatoly.Y. Faenov, N. Inogamov, Tetsuya Kawachi, Tohru Suemoto
  • 学会等名: International Conference on X-ray Lasers 2016
  • 発表場所: 奈良春日野国際フォーラム（奈良県奈良市）
  • 年月日: 2016-05-22
  • 国際学会
• [学会発表] Damage on EUV multilayer optics caused by irradiation of focused pico-second soft x-ray laser pulses (2016)
  • 著者名/発表者名: M. Ishino, S. Ichimaru, M. Nishikino, N. Hasegawa, M. Hatayama, T. Kawachi, and S. Oku
  • 学会等名: International Conference on X-ray Optics, Detectors, Sources and their Applications 2016 (XOPT2016)
  • 発表場所: パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
  • 年月日: 2016-05-18
  • 国際学会