| 研究課題/領域番号 |
16K05013
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
量子ビーム科学
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| 研究機関 | 愛知教育大学 |
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研究代表者 |
岩山 勉 愛知教育大学, 教育学部, 教授 (70223435)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2020-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2018年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2016年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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| キーワード | イオン・レーザービーム / 量子ビーム / シリコン / ナノ結晶 / 可視発光 / イオン注入 / レーザーアブレーション / シリコンナノ結晶 / 光機能性デバイス / 急速加熱 / エキシマ光照射 / 機能性デバイス / 量子ドット / ナノ材料 / 先端機能デバイス / マイクロ・ナノデバイス |
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| 研究成果の概要 |
本研究はイオンビームやレーザービームを用い、シリコンナノ結晶を作製し、それを用いた光電子機能デバイスの実現をめざし、発光現象を中心としたシリコンナノ結晶の物性を調べることを目的とした。特に、シリコンナノ結晶形成のプロセス低温化、シリコンナノ結晶からの発光強度の増強、発光波長の制御の可能性などを探るため、急速加熱、紫外エキシマ光照射等を組み合わせた手法を用いて研究を進めた。その結果、電気炉による高温熱処理前にこれらの処理を行うことで発光効率が向上し、プロセスの低温化も可能となることや、レーザーアブレーションによってもイオン注入と類似の試料・結果を得られることがわかった。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
電子デバイスの分野では、シリコンは極めて有用で、必要不可欠な物質である。しかしながら、シリコンは発光デバイスとしては全く実用化されていない。本研究は、この様なシリコンの新機能性の発現・高効率化とそのデバイス応用の可能性を中心とした。物質はナノオーダーのサイズになると固体とは異なる性質を示す可能性がある。本研究ではシリコンナノ結晶からの発光強度の増強、プロセスの低温化も可能となることを明らかにした。
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