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回折限界を超えるX線用回折格子型集光素子の提案とシミュレーションによる原理検証

研究課題

研究課題/領域番号 16K05019
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 量子ビーム科学
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

篭島 靖  兵庫県立大学, 物質理学研究科, 教授 (10224370)

研究協力者 高山 裕貴  
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2017年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円)
2016年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワードX線顕微鏡 / 放射光 / X線光学 / X線ナノビーム
研究成果の概要

顕微鏡には分解能Rと焦点深度Dの間に回折限界の縛りがあるが、これを緩くすることを目的とした。光学素子としてはZone Plate (ZP)の変形タイプを考えた。ZPのRとDは最外線幅(dr)で決まる。ZPには正と負の区別がある。この2つのZPの集光強度分布は全く同じだが振幅は逆位相である。複合ZPは1次回折ZPの外側に3次回折ZPを配置し、集光効率とRの向上を狙うものである。正・負、複合の構造を組合せることにより、X線エネルギーEが10 keVでRをdrで決まる値の7%増しに抑えつつDを約2倍にできる解を見つけることができた。Eが8~12 keVの範囲でもこの性能が保たれることも確認した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

放射光が広く利用されるようになり、ZPや全反射ミラーなどのX線光学素子の進歩も相俟って、サブ100 nmの分解能Rが比較的容易に得られるようになり、局所分析やX線顕微鏡の実用性とニーズが高まってきている。集光光学系の基本原理として、より小さいRを得ようとすると焦点深度Dはより浅くなる。すなわちRを小さくすることとDを大きくすることは同時には達成できない。Rを損なわずにDを大きくできないことは、厚い試料を高い分解能で観察することは原理的に困難であることを意味しており、実材料の分析において試料の厚さを制限することになる。本研究はX線分析の実用性の向上に資するものである。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (6件)

すべて 2019 2018 2017

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 1件)

  • [雑誌論文] Inverse-phase composite zone plate providing deeper focus than the normal diffraction-limited depth of X-ray microbeams2019

    • 著者名/発表者名
      Kagoshima Yasushi、Takayama Yuki
    • 雑誌名

      Journal of Synchrotron Radiation

      巻: 26 号: 1 ページ: 52-58

    • DOI

      10.1107/s1600577518016703

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Proposal for Inverse-Phase Composite Zone Plate for Deeper Depth of Focus2018

    • 著者名/発表者名
      Kagoshima Yasushi、Takayama Yuki
    • 雑誌名

      Microscopy and Microanalysis

      巻: 24 号: S2 ページ: 280-281

    • DOI

      10.1017/s1431927618013739

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] ディープフォーカスゾーンプレートの提案(2)2019

    • 著者名/発表者名
      篭島 靖、高山 裕貴
    • 学会等名
      第32回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Proposal for Inverse-Phase Composite Zone Plate for Deeper Depth of Focus2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Kagoshima and Y. Takayama
    • 学会等名
      XRM2018, 14th International Conference on X-Ray Microscopy
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ディープフォーカスゾーンプレートの提案2018

    • 著者名/発表者名
      篭島 靖
    • 学会等名
      第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] ディープフォーカスゾーンプレートの提案2017

    • 著者名/発表者名
      篭島 靖
    • 学会等名
      第13回X線結像光学シンポジウム
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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