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ドライ・ウェット複合プロセスによるナノドットDLC皮膜の創製と構造制御

研究課題

研究課題/領域番号 16K05965
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 機械材料・材料力学
研究機関茨城大学

研究代表者

中村 雅史  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 准教授 (60302329)

研究分担者 鈴木 秀人  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 名誉教授 (30090369)
崎野 純子  茨城大学, 理工学研究科(工学野), 技術職員 (40272116)
阿相 英孝  工学院大学, 先進工学部, 教授 (80338277)
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2018年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2017年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
2016年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワードダイヤモンドライクカーボン / アルミニウム陽極酸化皮膜 / 微細凹凸構造 / アノード酸化皮膜 / 表面改質 / 陽極酸化皮膜 / 機械材料・材料力学
研究成果の概要

本研究の目的は,規則配列した直管状の孔を持つアルミニウムの陽極酸化皮膜(以降P.A.膜)をDLC膜のスパッタリング時のマスキング材として使用して,ナノレベルの凹凸構造を有するDLC膜を作製することである.アルミニウム板上で作製したP.A膜を剥離して、基材上に設置してカーボンをスパッタリングし、その後P.A膜を溶解除去する方法を実施した結果,ドット状に分布したナノレベル凹凸構造を有するDLC膜を成膜することができた.また,P.A.膜の孔の大きさや孔の高さを変えることによって形成されるドット状のDLC膜の大きさが変化することも分かった.

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究成果で得られたナノドット状のDLC膜は他に例がなく独創的である.また,DLC膜がナノレベルの大きさで細かく断片化されているため,DLC膜の最大の弱点である内部残留応力が低減され,膜の割れを防止できると考えられる.さらに基材変形時にDLC膜に加わるひずみを低減できるため,ゴムや樹脂などの軟質材料や純アルミなどの低ヤング率の材料にも適用できると考えられる.そのため社会的意義は大きいと考えられる.

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (2件)

すべて 2017

すべて 学会発表 (2件)

  • [学会発表] アルミニウム陽極酸化皮膜の微細構造を用いたナノドットDLC膜の創製2017

    • 著者名/発表者名
      川越拓海,中村雅史
    • 学会等名
      第25回茨城講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] アルミニウムアノード酸化皮膜を用いた微細凹凸構造を持つDLCの作製2017

    • 著者名/発表者名
      川越拓海,中村雅史,阿相英孝
    • 学会等名
      一般社団法人表面技術協会 第136回講演大会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2025-03-27  

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