| 研究課題/領域番号 |
16K06009
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
須田 聖一 静岡大学, 工学部, 教授 (50226578)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2018年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2017年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2016年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
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| キーワード | 化学機械研磨 / 電荷移動反応 / 水和層 / ガラス / 酸化セリウム / ネルンスト式 / セリア / せん断応力 / 水和自由エネルギー / 界面抵抗 / 電位計測 / サファイア / 超精密加工 / 酸化還元電位 |
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| 研究成果の概要 |
「超精密加工研磨技術」は，パワーデバイスをはじめ高集積次世代デバイスの構築に不可欠な技術である。主としてガラスを研磨対象材料とし，研磨過程における電荷の挙動を定量的に計測することによって，化学研磨のメカニズムを解明することを試みた。その結果，化学研磨の定量的な評価として，ガラス表面に生成する単位面積あたりの水和量として捉えることができること，この電位変化がガラスの水和生成自由エネルギーと一致すること，さらに，この電位変化はNernst式に従うことを明らかにした。さらに，電位変化の温度依存性を計測するなかで，電位変化の経時変化によって電気化学反応速度論的な展開が可能であることがわかった。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究は，精密工学分野，材料化学分野，電気化学分野を横断して，化学機械研磨，特に化学研磨メカニズムの本質を明らかにしようとしているところに特色がある。これらの主として3分野を横断的に解析することによって，新たな研磨材料に関する学術分野を創成しようとするところが本研究の学術的な特色である。本研究成果によって，化学研磨特性に関する学術的な体系化を実現するとともに，高度CMP材料に関する学術分野を創成する。これらの学術的進展により，今後ますます高度化及び多様化する研磨対象材（例えば複合材料など）に対しても，速やかな研磨材料開発が可能となるように，支援体制を構築することで工学の進展に貢献する。
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