| 研究課題/領域番号 |
16K06015
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
生産工学・加工学
|
|---|
| 研究機関 | 九州工業大学 |
|---|
研究代表者 |
カチョーンルンルアン パナート 九州工業大学, 大学院情報工学研究院, 准教授 (60404092)
|
|---|
| 研究分担者 |
鈴木 恵友 九州工業大学, 大学院情報工学研究院, 教授 (50585156)
|
|---|
| 研究協力者 |
白川 裕晃
ブラッドラー アラン
パームパッデーチャークン ティティパット
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
|
| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2018年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2017年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2016年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
|
|---|
| キーワード | ナノ粒子 / 散乱光 / 可視化 / エバネッセント光 / 全反射顕微鏡法 / ブラウン運動 / 三次元位置計測 / 多波長 / 全反射顕微鏡 / 三次元 / 3次元 / ポリシング / 加工現象 / レーザ / 計測 / 粒径 / CMP / 機械工作・生産工学 / 超精密計測 / 精密研磨 / １分子計測(SMD) |
|---|
| 研究成果の概要 |
半導体製造分野、ドラッグデリバリー、バイオマーカ等のナノスケール分野では、ナノ粒子が多様に用いられている。これらの生の作用現象の効果を検討するために、（光学的かつ動的に）遠隔から直接に観測する必要がある。確立しつづある（比較的簡易な）観測法尚且、携帯型光学系により、一例としてこれまで半導体製造でのポリシング加工現象を直接に観察した例が本研究グループ以外他になかった。本研究は新たに被観測表面に作用するナノ粒子の奥行きの３次元目の位置計測法を提案し、実験的検証を行った。現状では作用表面から250nm範囲内で移動中の100nm基準粒子の３次元位置を±20nm程度のばらつきで測定する可能性を確認した。
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
画素センサや携帯電話などといった製品の製造、今後の薬開発、細胞学の基礎研究は、ナノスケールでの作用で行われている。ナノスケール（1ナノメートルは１０億分の１メートル）の極微小な空間での現象を実時間で３次元的に観測できれば、上述の微小な作用やそのメカニズムを解明することができ、飛躍的な技術の進歩につながります。本研究では、作用する表面近傍の領域を限定した光の場を生成し、その領域内に入ったウィルスの大きさ程度（100ナノメートル）の作用粒子を３次元の動きを準定量的に可視化に成功した。今後可視化した粒子の粒径も見出す予定である。なお、開発している手法は比較的簡易なため、携帯可能な装置を実現している。
|
