| 研究課題/領域番号 |
16K06033
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 奈良工業高等専門学校 |
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研究代表者 |
玉木 隆幸 奈良工業高等専門学校, 電子制御工学科, 准教授 (80455154)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2018年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2017年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2016年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
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| キーワード | マイクロ接合 / フェムト秒レーザー / レーサー接合 / ガラス / 低真空 / マイクロ加工 / 真空 / 炭酸ガスレーザー / マイクロ接合法 / マイクロプロセッシング / 生産工学 / 材料加工・処理 / 応用光学 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、超短光パルスマイクロ接合法に材料が線形吸収する波長の連続発振光を組み込み、高速かつ高品位に大面積を接合可能な低真空下における２波長レーザーマイクロ接合システムの開発を行った。具体的には、現有する超短光パルス光源、連続発振光用の炭酸ガスレーザー光源、自動三次元ステージなどを用いることにより、２波長レーザーマイクロ接合システムを構築した。さらに、接合時に雰囲気圧力を変化させることができる仕組みを接合システムに組み込み、低真空下における２波長レーザーマイクロ接合システムを構築した。この接合システムを用いて、ガラス内部のマイクロ加工、ガラス間のマイクロ接合を実施した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究では、高速かつ高品位に大面積を接合可能な低真空下における２波長レーザーマイクロ接合システムの開発を行った。本システムを用いれば、加工時の圧力制御、および、超短光パルス、または、連続発振光の出力制御により、従来の超短光パルスマイクロ接合法における溶融領域の大きさ、深さを、６倍以上にわたり自在に調整することができると考えられる。さらに、本接合システムを活用することで得られる、加工特性、熱的特性などの知見をもとに、製造技術のさらなる発展が期待される。
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