| 研究課題/領域番号 |
16K06041
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
設計工学・機械機能要素・トライボロジー
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
嚴 祥仁 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 助教 (20551576)
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| 研究分担者 |
吉田 和弘 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 教授 (00220632)
金 俊完 東京工業大学, 科学技術創成研究院, 准教授 (40401517)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2018年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2017年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
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| キーワード | 誘電エラストマーアクチュエータ / 蠕動マイクロポンプ / 能動マイクロミキサー / MEMS / UV硬化性 / 機械要素 |
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| 研究成果の概要 |
蠕動マイクロポンプと能動マイクロミキサーを内蔵する高機能μ-TASデバイスのため誘電エラストマーアクチュエータを開発した．本研究ではマイクロチャネル上に複数の誘電エラストマーアクチュエータを配置することを可能にする新しいMEMSプロセスを提案，開発した．MEMS技術を用いて誘電エラストマーアクチュエータを製造するために，誘電エラストマーとしてUV硬化性のPDMSを，電極としてUV硬化性で薄く柔軟性が高く成形でき，導電性が高いPEDOT:PSSを用いた．提案した製作方法を実現するためのパラメータを実験的に検討し，単層のアクチュエータを試作して性能を評価した．
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
MEMS技術を応用して積層ダイヤフラム形誘電エラストマーアクチュエータを製作することで，マイクロ化したアクチュエータの大量生産が可能になる．また，積層して多段階化したアクチュエータを用いて蠕動マイクロポンプと高機能能動マイクロミキサーを実現し，μ-TASデバイスに内蔵することで安価で高性能のμ-TAS用デバイスが実現可能になり，生化学分野等の発展への貢献が期待できる．
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