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顕微分光法によるGaInN混晶半導体のポテンシャル障壁の定量解析と高効率化モデル

研究課題

研究課題/領域番号 16K06264
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関山口大学

研究代表者

倉井 聡  山口大学, 大学院創成科学研究科, 助教 (80304492)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2017年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2016年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード顕微分光 / InGaN / 量子井戸構造 / ポテンシャル障壁 / 貫通転位 / 空間分解分光 / 窒化インジウムガリウム / 近接場光学顕微分光 / GaInN
研究成果の概要

近接場光学顕微分光法を用いて、c面サファイア基板上に作製されたInGaN量子井戸(QW)構造において、貫通転位を起点とした表面ピットに形成される局所的な高エネルギー発光の空間分布を評価した。低温測定により青・緑色QWにおいて暗領域と高エネルギー発光位置に相関が見られることを明らかにし、欠陥位置にエネルギー障壁(高さ200~300 meV)が自己形成されることを直接的に観察した。派生的にカソードルミネッセンス法によりAlGaN QW構造における貫通転位近傍においても局所的高エネルギー発光を観察した。この場合表面ピットは観察されておらず、InGaN系とは異なるメカニズムによる可能性を示した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究では、下地構造の異なる青色QW、青色に比べ効率の低い緑色QWおよび深紫外AlGaN QWにおいて貫通転位近傍に自己形成される特異なエネルギー障壁の観察および障壁高さの定量評価を行った。貫通転位近傍にエネルギー障壁が形成され、キャリアが欠陥において非発光となるのを抑制することが青色LEDの高効率化に有用とされており、観測された発光エネルギーの空間分布がデバイスの発光効率改善に繋がる可能性を示した。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (20件)

すべて 2019 2018 2017 2016

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (15件) (うち国際学会 2件)

  • [雑誌論文] Nanoscopic spectroscopy of potential barriers formed around V-pits in InGaN/GaN multiple quantum wells on moderate temperature GaN pit expansion layers2018

    • 著者名/発表者名
      Kurai Satoshi、Okawa Kohei、Makio Ryoga、Nobata Genki、Gao Junji、Sugimoto Kohei、Okada Narihito、Tadatomo Kazuyuki、Yamada Yoichi
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 124 号: 8

    • DOI

      10.1063/1.5043578

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Separation of effects of InGaN/GaN superlattice on performance of light-emitting diodes using mid-temperature-grown GaN layer2018

    • 著者名/発表者名
      Sugimoto Kohei、Okada Narihito、Kurai Satoshi、Yamada Yoichi、Tadatomo Kazuyuki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 6 ページ: 062101-062101

    • DOI

      10.7567/jjap.57.062101

    • NAID

      210000149112

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Cathodoluminescence study on local high-energy emissions at dark spots in AlGaN/AlGaN multiple quantum wells2018

    • 著者名/発表者名
      S. Kurai, N. Imura, L. Jin, H. Miyake, K. Hiramatsu, Y. Yamada
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 6 ページ: 60311-60311

    • DOI

      10.7567/jjap.57.060311

    • NAID

      210000149104

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Potential Barrier Formed Around Dislocations in InGaN Quantum Well Structures by Spot Cathodoluminescence Measurements2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Kurai, Shota Higaki, Nobuto Imura, Kohei Okawa, Ryoga Makio, Narihito Okada, Kazuyuki Tadatomo, and Yoichi Yamada
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi B

      巻: - 号: 5

    • DOI

      10.1002/pssb.201700358

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spatially Resolved Spectroscopy of Blue and Green InGaN Quantum Wells by Scanning Near-Field Optical Microscopy2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Kurai, Renma Mihara, Genki Nobata, Kohei Okawa, Narihito Okada, Kazuyuki Tadatomo, Yoshiki Yano, Toshiya Tabuchi, Koh Matsumoto, and Yoichi Yamada
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi B

      巻: - 号: 5

    • DOI

      10.1002/pssb.201700322

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 近接場光学顕微分法によるInGaN量子井戸構造におけるVピット近傍の特異構造PLマッピング2019

    • 著者名/発表者名
      倉井聡, 岡田成仁, 只友一行, 山田陽一
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 中温GaN 層上InGaN 多重量子井戸構造における V ピット近傍のポテンシャル障壁の顕微分光評価(2)2019

    • 著者名/発表者名
      倉井聡, 大川康平, 槇尾凌我, 高俊吉, 林直矢, 岡田成仁, 只友一行, 山田陽一
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Spatially resolved cathodoluminescence on dot-like high-energy emissions near threading dislocations in AlGaN multiple quantum wells2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Kurai, Nobuto Imura, Li Jin, Hideto Miyake, and Yoichi Yamada
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Temperature-dependent cathodoluminescence mapping of InGaN epitaxial layers with different In composition2018

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Kurai, Ayumu Wakamatsu, and Yoichi Yamada
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] カソードルミネッセンスマッピング法によるAlGaN量子井戸構造の局所発光評価2018

    • 著者名/発表者名
      LI JIN, 井村暢杜, 倉井聡, 三宅秀人, 平松和政, 山田陽一
    • 学会等名
      2018年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 近接場光学顕微分光法による緑色発光InGaN量子井戸構造における高エネルギー発光成分のエネルギー分割評価2018

    • 著者名/発表者名
      高俊吉, 野畑元喜, 大川康平, 槇尾凌我, 倉井聡, 岡田成仁, 只友一行, 矢野良樹, 田渕俊也, 松本功, 山田陽一
    • 学会等名
      2018年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 近接場光学顕微分光法による中温GaN上InGaN量子井戸構造におけるピット近傍のポテンシャル障壁2018

    • 著者名/発表者名
      槇尾凌我, 大川康平, 高俊吉, 野畑元喜, 倉井聡, 岡田成仁, 只友一行, 山田陽一
    • 学会等名
      2018年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 中温GaN 層上InGaN 多重量子井戸構造におけるVピット近傍のポテンシャル障壁の顕微分光評価2018

    • 著者名/発表者名
      倉井聡, 大川康平,槇尾凌我, 高俊吉, 野畑元喜, 岡田成仁, 只友一行, 山田陽一
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] カソードルミネッセンス法によるAlGaN多重量子井戸構造の転位近傍の局所発光2018

    • 著者名/発表者名
      倉井聡, 井村暢杜, Li Jin, 三宅秀人, 平松和政, 山田陽一
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 局所カソードルミネッセンスによるInGaN量子井戸構造のポテンシャル障壁評価2017

    • 著者名/発表者名
      倉井聡、檜垣翔大、岡田成仁、只友一行、山田陽一
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] 近接場光学顕微分光測定による緑色発光InGaN量子井戸構造の高エネルギー発光成分の評価(2)2017

    • 著者名/発表者名
      倉井聡, 三原練磨, 野畑元喜, 大川康平, 槇尾凌我, 岡田成仁, 只友一行, 矢野良樹, 田渕俊也, 松本功, 山田 陽一
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Potential Barrier formed around Dislocations in InGaN Quantum Well Structures by Spot Cathodoluminescence Measurements2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Kurai, Shota Higaki, Narihito Okada, Kazuyuki Tadatomo, Yoichi Yamada
    • 学会等名
      The 12th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Spatial Resolved Spectroscopy of Blue and Green InGaN Quantum Wells by Scanning Near-Field Opitcal Microscopy2017

    • 著者名/発表者名
      Satoshi Kurai, Renma Mihara, Genki Nobata, Kohei Okawa, Narihito Okada, Kazuyuki Tadatomo, Yoshiki Yano, Toshiya Tabuchi, Koh Matsumoto, Yoichi Yamada
    • 学会等名
      The 12th International Conference on Nitride Semiconductors
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 近接場光学顕微分光測定による青色・緑色発光InGaN量子井戸構造の評価2016

    • 著者名/発表者名
      倉井聡、三原練磨、野畑元喜、大川康平、岡田成仁、只友一行、矢野良樹、田渕俊也、松本功、山田陽一
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] 緑色発光InGaN量子井戸構造に局所的に現れる高エネルギー側発光成分の評価2016

    • 著者名/発表者名
      野畑元喜、三原練磨、大川康平、倉井聡、岡田成仁、只友一行、矢野良樹、田渕俊也、松本功、山田陽一
    • 学会等名
      2016年度応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会
    • 発表場所
      岡山大学津山キャンパス(岡山県岡山市)
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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