| 研究課題/領域番号 |
16K06270
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(C)
|
| 配分区分 | 基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
電子・電気材料工学
|
|---|
| 研究機関 | 富山県立大学 |
|---|
研究代表者 |
松田 敏弘 富山県立大学, 工学部, 教授 (70326073)
|
|---|
| 研究分担者 |
岩田 栄之 富山県立大学, 工学部, 准教授 (80223402)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2020-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2019年度)
|
| 配分額 *注記 |
3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2018年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2017年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2016年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
|
|---|
| キーワード | シリコン / MOS / 発光 / 半導体 / 希土類 / ＭＯＳ / 電気・電子材料 |
|---|
| 研究成果の概要 |
大規模集積回路(LSI)チップ内に共存できるシリコン(Si)系発光素子は、信号伝達や小型ディスプレイ等の光デバイスへの応用が期待される。本研究では、低コストでの可視および紫外領域の発光を目指して、様々な組み合わせの希土類元素と添加物を導入した酸化膜を持つMOS型素子をスピンコート技術によってシリコン基板上に作製、解析した。紫外・青色発光にはGdの導入が効果的であり、TbとEuの配合比によって緑から赤の間で発光色を制御できることを示した。シリコン基板から酸化膜に高エネルギーの電子が注入され、それによって励起された希土類イオンのエネルギー遷移が発光となるモデルを提案した。
|
| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
シリコン（Si）は、ほとんどの大規模集積回路（LSI）の主要材料であるが、発光しにくい半導体である。本研究は、希土類元素を導入した酸化膜を持つMOS型素子をスピンコート技術によって低コストでシリコン基板上に形成している。様々な希土類元素と添加元素を組み合わせることで、青や紫外領域の発光を確認し、緑から赤までの発光色を制御する方法を示した。また、酸化膜へ注入された電子による希土類イオンのエネルギー遷移で発光するというモデルを提案した。
|
