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光アクチュエータを指向した強誘電体薄膜における異常光起電力効果の増強

研究課題

研究課題/領域番号 16K06272
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 電子・電気材料工学
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

中嶋 誠二  兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 (80552702)

研究協力者 藤沢 浩訓  
清水 勝  
研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2016年度: 1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
キーワード強誘電体 / 薄膜 / バルク光起電力効果 / 異常光起電力効果 / 光アクチュエータ / 光起電力効果 / BiFeO3 / 異常光起電力 / 電子・電気材料
研究成果の概要

本研究では、光を照射することで電圧を発生させ、その電圧で歪をすることで光駆動アクチュエータの作製を試みた。そのために強誘電体BiFeO3(BFO)薄膜を用いた。BFOは可視光を照射することで電圧を発生するバルク光起電力効果と電圧を印加することで結晶が歪む逆圧電効果を呈することから光アクチュエータへの応用に適した材料である。本研究ではBFOにMnをドープすることで光起電力のが向上し、室温にて約11.7 kV/cmの電場をBFO自身に発生することができ、15 mm × 1.5 mm × 70 umtのカンチレバー上光アクチュエータ先端において約 8 umの変位量を確認した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

光アクチュエータは有機材料、特に生体材料において大きな歪が報告されている。しかし、その応答速度はmsオーダーで遅い。方、強誘電体では、変位量は今のところ小さいが応答速度が速くnsオーダーの高速応答が可能である。また、光アクチュエータは無配線給電が可能となるシステムであることから、宇宙空間や原発廃炉内といった極限環境下で駆動するアクチュエータに適用可能なシステムであり、本研究はこのようなシステム実現に貢献するものである。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (44件)

すべて 2019 2018 2017 2016

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 6件、 謝辞記載あり 2件) 学会発表 (38件) (うち国際学会 13件、 招待講演 5件)

  • [雑誌論文] Bulk photovoltaic effects in Mn-doped BiFeO3 thin films and the optical strains2018

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima、R. Hayashimoto、H. Fujisawa、and M. Shimizu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 57 号: 11S ページ: 11UF11-11UF11

    • DOI

      10.7567/jjap.57.11uf11

    • NAID

      210000149820

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electric-field-induced lattice distortion in epitaxial BiFeO3 thin films as determined by in situ time-resolved x-ray diffraction2017

    • 著者名/発表者名
      Nakashima Seiji、Sakata Osami、Funakubo Hiroshi、Shimizu Takao、Ichinose Daichi、Takayama Kota、Imai Yasuhiko、Fujisawa Hironori、Shimizu Masaru
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 111 号: 8 ページ: 082907-082907

    • DOI

      10.1063/1.5000495

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Domain structure of BiFeO3 thin films grown on patterned SrTiO3(001) substrates2017

    • 著者名/発表者名
      Nakashima Seiji、Seto Shota、Kurokawa Yuta、Fujisawa Hironori、Shimizu Masaru
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 10S ページ: 10PF17-10PF17

    • DOI

      10.7567/jjap.56.10pf17

    • NAID

      210000148394

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-regulation of Bi/(Bi+Fe) ratio in metalorganic chemical vapor deposition of BiFeO3 thin films2017

    • 著者名/発表者名
      Fujisawa Hironori、Yoshimura Nao、Nakashima Seiji、Shimizu Masaru
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 10S ページ: 10PF05-10PF05

    • DOI

      10.7567/jjap.56.10pf05

    • NAID

      210000148382

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Growth of epitaxial Mn and Zn codoped BiFeO3 thin films and an enhancement of photovoltage generated by a bulk photovoltaic effect2016

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, K. Takayama, K. Shigematsu, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Phisycs

      巻: 55 号: 10S ページ: 10TA07-10TA07

    • DOI

      10.7567/jjap.55.10ta07

    • NAID

      210000147157

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Strain evolution of epitaxial tetragonal-like BiFeO3 thin films on LaAlO3(001) substrates prepared by sputtering and their bulk photovoltaic effect2016

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, T. Uchida, K. Doi, K. Saitoh, H. Fujisawa, O. Sakata, Y. Katsuya, N. Tanaka, and M. Shimizu
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Phisycs

      巻: 55 号: 10 ページ: 101501-101501

    • DOI

      10.7567/jjap.55.101501

    • NAID

      210000147119

    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [学会発表] 蛍光X線ホログラフィを用いたMnドープBiFeO3薄膜の局所構造解析2019

    • 著者名/発表者名
      渕脇 八雲、 中嶋 誠、 藤澤 浩、 黒川 悠太、 八方 直久、 林 好一、 木村 耕治、 山本 裕太、 松本 亮平
    • 学会等名
      2019年第66回応用物理学春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] ドットパターンを形成したSrTiO3(001)基板上へのBiFeO3薄膜の製作2019

    • 著者名/発表者名
      木村 伶志、 黒川 悠太、 中嶋 誠二、 藤沢 浩訓
    • 学会等名
      2019年第66回応用物理学春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] マルチフェロイック材料の物性とその応用2019

    • 著者名/発表者名
      中嶋誠二、藤沢浩訓、清水勝
    • 学会等名
      第10回電気学会圧電MEMS調査専門委員会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] “Evidence of Acceptor Doping to BiFeO3 Thin Films by Mn doping and Their Bulk Photovoltaic Effect2018

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, K. Takayama, H. Fujisawa, T. Higuchi, A. Yasui, T. Kinoshita and M. Shimizu
    • 学会等名
      2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Growth Window in Metalorganic Chemical Vaper Deposition of BiFeO3 Thin Films2018

    • 著者名/発表者名
      N. Yoshimura, T. Tanaka, S. Nakashima, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 学会等名
      2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Formation of Ferroelectric Domain Walls into (110)-oriented BiFeO3 Thin Films2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Kurokawa, S. Nakashima, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 学会等名
      2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 強誘電体バルク光起電力効果とそれを用いた光アクチュエータ2018

    • 著者名/発表者名
      中嶋誠二, 林本竜、藤沢浩訓、清水勝、樋口透、保井晃、木下豊彦
    • 学会等名
      第13回日本セラミックス協会関西支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 強誘電体BiFeO3を用いたpn接合の形成とその電気的特性2018

    • 著者名/発表者名
      渕脇八雲、中嶋誠二、藤沢浩訓、清水勝
    • 学会等名
      第13回日本セラミックス協会関西支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Optical Strains of Mn-doped BiFeO3 Thin Films Induced by Bulk Photovoltaic Effect and Inverse Piezoelectric Effect2018

    • 著者名/発表者名
      R. Hayashimoto, S. Nakashima, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 学会等名
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Metalorganic Chemical Vapor Deposition of BiFeO3 Thin Films Using FeOx Seed Layer2018

    • 著者名/発表者名
      N. Yoshimura, T. Tanaka, H. Fujisawa, S. Nakashima, and M. Shimizu
    • 学会等名
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MnドープBiFeO3薄膜のバルク光起電力効果とそれによって発生する光誘起歪2018

    • 著者名/発表者名
      林本 竜、中嶋 誠二、藤沢 浩訓、清水 勝
    • 学会等名
      2018年第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Fe2O3シード層がBiFeO3薄膜のMOCVD成長に及ぼす影響2018

    • 著者名/発表者名
      吉村 奈緒、 藤沢 浩訓、 中嶋 誠二、 清水 勝
    • 学会等名
      2018年第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] パターン化傾斜SrTiO3(110)基板上のBiFeO3薄膜への帯電ドメインウォールの形成2018

    • 著者名/発表者名
      黒川 悠太、中嶋 誠二、藤沢 浩訓、清水 勝
    • 学会等名
      第28回日本MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Fe2O3シード層を用いたMOCVD法によるBiFeO3薄膜の成長2018

    • 著者名/発表者名
      今井 友哉、中嶋 誠二、藤沢 浩訓、清水 勝
    • 学会等名
      第28回日本MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] AlドープZnO/MnドープBiFeO3構造の整流特性2018

    • 著者名/発表者名
      中嶋 誠二、藤原 拓生、淵脇 八雲、藤沢 浩訓、清水 勝
    • 学会等名
      2018 年 強的秩序とその操作に関する 第 6 回研究会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] (110)配向BiFeO3薄膜への帯電ドメインウォールの導入2018

    • 著者名/発表者名
      黒川 悠太 , 中嶋 誠二 , 藤沢 浩訓 , 清水 勝
    • 学会等名
      平成30年第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] BiFeO3薄膜のMOCVD成長における成膜圧力の影響2018

    • 著者名/発表者名
      吉村 奈緒 , 田中 拓人 , 藤沢 浩訓 , 中嶋 誠二 , 清水 勝
    • 学会等名
      平成30年第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] Enhancement of bulk photovoltaic effect in BiFeO3 thin films by Mn doping2017

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, K. Takayama, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 学会等名
      The 14th International Meeting on Ferroelectricity (IMF2017)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] In-situ observation of an electric-field-induced lattice distortion of BiFeO3 thin films2017

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, O. Sakata, H. Funakubo, T. Shimizu, D. Ichinose, Y. Imai, H. Fujisaw, and M. Shimizu
    • 学会等名
      The 14th International Meeting on Ferroelectricity (IMF2017)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Preparation of BiFeO3 thin films by MOCVD2017

    • 著者名/発表者名
      M. Shimizu, N. Yoshimura, H. Fujisawa, and S. Nakashima
    • 学会等名
      The 14th International Meeting on Ferroelectricity (IMF2017)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Introduction of Ferroelectric Domain Walls into a BiFeO3 Thin Film on a Vicinal SrTiO3 (110) Substrate2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Kurokawa, S. Seto, S. Nakashima, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 学会等名
      The 6th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO2017)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 非鉛強誘電体BiFeO3薄膜における異常光起電力効果2017

    • 著者名/発表者名
      中嶋誠二、藤沢浩訓、清水勝
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部平成29年第1回講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MOCVD法によるBiFeO3薄膜の作製~精密な組成制御の検討~2017

    • 著者名/発表者名
      吉村 奈緒, 藤沢 浩訓,清水 勝, 中嶋 誠二
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部平成29年第1回講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] 低環境負荷非鉛BiFeO3薄膜に導入された帯電ドメインウォールが示す特異な電気伝導2017

    • 著者名/発表者名
      黒川 悠太, 中嶋 誠二, 藤沢 浩訓,清水 勝
    • 学会等名
      応用物理学会関西支部平成29年第1回講演
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] SrTiO3表面のステップ形状を用いたBiFeO3薄膜への強誘電ドメインウォールの形成2017

    • 著者名/発表者名
      中嶋 誠二、瀬戸 翔太、黒川 悠太、藤沢 浩訓、清水 勝
    • 学会等名
      第34回強誘電体応用会議
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] MOCVD法によるBiFeO3薄膜の作製2017

    • 著者名/発表者名
      吉村 奈緒、藤沢 浩訓、清水 勝、中嶋 誠二
    • 学会等名
      第34回強誘電体応用会議
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] エピタキシャルBiFeO3薄膜における電場印加下の格子歪2017

    • 著者名/発表者名
      中嶋 誠二,藤沢 浩訓, 坂田 修身, 舟窪 浩, 清水 莊雄、一ノ瀬 大地, 今井 康彦, 清水 勝
    • 学会等名
      平成29年第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] BiFeO3薄膜のMOCVD成長におけるプロセスウィンドウの検討2017

    • 著者名/発表者名
      吉村 奈緒、藤沢 浩訓、中嶋 誠二、清水 勝
    • 学会等名
      平成29年第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] MnドーピングによるBiFeO3薄膜の異常光起電力効果の増強2016

    • 著者名/発表者名
      高山 幸太、中嶋 誠二、藤沢 浩訓、清水 勝
    • 学会等名
      日本MRS第26回年次大会シンポジウム
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2016-12-19
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] パターン化SrTiO3基板によるBiFeO3薄膜への帯電ドメインウォールの導入2016

    • 著者名/発表者名
      瀬戸 翔太、中嶋 誠二、藤沢 浩訓、清水 勝
    • 学会等名
      日本MRS第26回年次大会シンポジウム
    • 発表場所
      横浜市開港記念会館(神奈川県横浜市)
    • 年月日
      2016-12-19
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] パターン化 SrTiO3 基板上への BiFeO3 薄膜の作製2016

    • 著者名/発表者名
      瀬戸 翔太, 中嶋 誠二, 藤沢 浩訓, 清水 勝
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] 遷移金属元素をドープした単一ドメイン BiFeO3 薄膜の異常光起電力効果 (Ⅲ)2016

    • 著者名/発表者名
      高山 幸太, 中嶋 誠二, 藤沢 浩訓, 清水 勝
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] Bulk Photovoltaic Effect in Multiferroic BiFeO3 Thin Films2016

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, K. Takayama, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 学会等名
      20th International Conference on Ternary and Multinary Compounds (ICTMC 20)
    • 発表場所
      ハレ(ドイツ)
    • 年月日
      2016-09-05
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Influence of transitionmetal doping on the anomalous photovoltaic effectin single-domain BiFeO3 thin films2016

    • 著者名/発表者名
      K. Takayama, S. Nakashima, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 学会等名
      11th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics
    • 発表場所
      ソウル(韓国)
    • 年月日
      2016-08-07
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Charged Domain Walls in BiFeO3 Thin Film Induced by Patterned SrTiO3 Substrate2016

    • 著者名/発表者名
      S. Seto, Y. Hata, S. Nakashima, H. Fujisawa, and M. Shimizu
    • 学会等名
      11th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics
    • 発表場所
      ソウル(韓国)
    • 年月日
      2016-08-07
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Epitaxial growth of BiFeO3 thin films by rf and dual ion beam sputtering2016

    • 著者名/発表者名
      S. Nakashima, M. Shimizu, and H. Fujisawa
    • 学会等名
      2016 International Conferences on Modern Materials and Technologies (CIMTEC2016)
    • 発表場所
      ペルージャ(イタリア)
    • 年月日
      2016-06-05
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] 電場印加下のエピタキシャル BiFeO3 薄膜における格子歪のその場観察2016

    • 著者名/発表者名
      中嶋 誠二,坂田修身,舟窪 浩,高山幸太,藤沢浩訓,清水荘雄,一ノ瀬大地,今井康彦,清水 勝
    • 学会等名
      第33回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都(京都府京都市)
    • 年月日
      2016-05-25
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] 遷移金属元素ドープが単一ドメイン BiFeO3 薄膜の異常光起電力効果に与える影響2016

    • 著者名/発表者名
      高山幸太,中嶋 誠二,藤沢浩訓,清水 勝
    • 学会等名
      第33回強誘電体応用会議
    • 発表場所
      コープイン京都(京都府京都市)
    • 年月日
      2016-05-25
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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