| 研究課題/領域番号 |
16K06283
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子・電気材料工学
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| 研究機関 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
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研究代表者 |
吉武 道子 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点, 主席研究員 (70343837)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2018年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2017年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2016年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
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| キーワード | 電気計測 / プローブ / 非破壊 / 非破壊プローブ / リソグラフィー / CV測定 / 非破壊測定 / 電気プローブ / コンタクトプローブ / 電気測定 / C-V |
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| 研究成果の概要 |
ナノメーター程度の薄膜や、グラフェンなどの二次元物質、壊れやすい材料などに、試料を破壊することなく電気的コンタクトを取り、電気特性測定などを可能にするプローブを開発し、その有効性を実証した。
また、プローブの先端付近の電気的接触部分の面積を制御する方法を開発し、面積制御ができていることを確認するとともに、電気的接触面積制限プローブと、マスク蒸着電極膜による電気特性測定結果を比較し、電気的接触面積制限プローブによる測定の利点を実証した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
様々な最先端の材料開発において、特性測定のための試料調整の手間と時間を大幅に短縮することに貢献し、新しい材料が市場に投入されるまでの時間とコストを圧縮する。
また、不均一な材料において、特性測定を的確に行う手段を提供し、新たな材料の特性を正確に測定することを容易にし、材料ー特性相関の効率的解明に寄与する。
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