| 研究課題/領域番号 |
16K06327
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
電子デバイス・電子機器
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| 研究機関 | 大阪工業大学 |
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研究代表者 |
前元 利彦 大阪工業大学, 工学部, 教授 (80280072)
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| 研究分担者 |
吉村 勉 大阪工業大学, 工学部, 教授 (00460767)
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| 研究期間 (年度) |
2016-04-01 – 2019-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2018年度)
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| 配分額 *注記 |
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2018年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2017年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2016年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
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| キーワード | 酸化物半導体 / 透明ダイオード / レクテナ / エナジーハーベスティング / 酸化亜鉛 / RFID / フレキシブル / セルフスイッチングダイオ ード / 薄膜トランジスタ / セルフスイッチングダイオード / 環境発電 / 自己整流型ダイオード |
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| 研究成果の概要 |
シクロオレフィンポリマーをフレキシブル基板とする酸化亜鉛薄膜トランジスタの作製プロセスを開発し、曲げ耐性試験及び特性劣化のメカニズムを解明した。繰り返しの曲げ耐性試験では，曲率半径5 mmで100回の繰り返しでもTFTは安定に動作したことから、酸化物材料でも有機材料並みの柔軟性を有することを明らかにした。他方、MIS構造を有する酸化物ダイオードを開発し、最大電流値7.0 mA/mm、4桁以上の整流比が得られた。また、フレキシブルTFTの作製プロセスを用いて、曲率15 mmの曲げに対してもフラットな状態と比べてほぼ整流比の低下のないフレキシブルな酸化物ダイオードの作製にも成功した。
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| 研究成果の学術的意義や社会的意義 |
本研究では、酸化物ワイドバンドギャップ半導体でかつ透明な酸化亜鉛を用いて完全透明なプレーナ型の酸化物ダイオードを開発することを目的として研究を行った。さらに応用展開として、マイクロ波を直流電流に整流変換するアンテナであるレクテナへ利用することで、微弱電波やマイクロ波エネルギーを高効率で電流に常時変換できるエナジーハーベスティング回路への応用を目指した。酸化物デバイスが有機材料並みの柔軟性を有することを明らかにし、柔らかいフィルム素材の上に酸化物半導体を形成する技術は、ウエラブルセンサなど人間の生体情報を計測する技術への応用も期待できる。
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