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酸化物ナノシート表面におけるPZT薄膜の配向成長およびドメイン形成機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 16K06731
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 無機材料・物性
研究機関上智大学

研究代表者

内田 寛  上智大学, 理工学部, 教授 (60327880)

研究期間 (年度) 2016-04-01 – 2019-03-31
研究課題ステータス 完了 (2018年度)
配分額 *注記
4,160千円 (直接経費: 3,200千円、間接経費: 960千円)
2018年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2017年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2016年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
キーワード強誘電体 / 薄膜 / チタン酸ジルコン酸鉛 / 分極 / 結晶配向性 / ナノシート / ゾルゲル / 圧電体 / 無機材料
研究成果の概要

擬ペロブスカイト型結晶構造を有する酸化物ナノシート表面におけるチタン酸ジルコン酸鉛Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) 薄膜の結晶成長とドメイン形成の機構を検証した。ペロブスカイト型酸化物と良好な格子整合性を有するCa2Nb3O10などのナノシートを担持した基板上においてPZT結晶の選択的な結晶配向性長を確認することができた。更に、その結晶配向性はナノシートを担持した基板材用の熱膨張係数に由来して発生する“熱応力”によって更に制御することができた。これらの特性を組み合わせることで、エピタキシャルPZT薄膜に匹敵する分極特性を汎用基板上に堆積した配向性PZT薄膜においても発現することに成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

本研究の最重要点は、酸化物ナノシート上でのPZT薄膜の結晶成長挙動を十分理解した上でその知見を有効に応用し、これまで単結晶基板上のエピタキシャルPZT薄膜でしか達成できなかった分極軸配向ならびに巨大分極発現を他の汎用基板上においても効果的に実現できることを実証した点にある。このの成果は、単結晶表面上でのペロブスカイト型酸化物のエピタキシャル成長機構をより詳しく解明するといった学理的な観点、ならびにMEMSアクチュエータ/エナジーハーベスタなどの強誘電体薄膜素子を利用した電子デバイスの機能向上といった応用的な観点、といった各観点より学術ならびに産業の発展に寄与することものと期待する。

報告書

(4件)
  • 2018 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2017 実施状況報告書
  • 2016 実施状況報告書
  • 研究成果

    (4件)

すべて 2017 2016

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件)

  • [雑誌論文] Polarization switching behavior of one-axis-oriented lead zirconate titanate films fabricated on metal oxide nanosheet layer2017

    • 著者名/発表者名
      Uchida Hiroshi、Ichinose Daichi、Shiraishi Takahisa、Shima Hiromi、Kiguchi Takanori、Akama Akihiko、Nishida Ken、Konno Toyohiko J.、Funakubo Hiroshi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 10S ページ: 10PF10-10PF10

    • DOI

      10.7567/jjap.56.10pf10

    • NAID

      210000148387

    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ナノシート界面上に作製された一軸配向性チタン酸ジルコン酸鉛膜の特性評価2017

    • 著者名/発表者名
      内田 寛、一ノ瀬大地、島宏美、白石貴久、木口賢紀、赤間章裕、西田 謙、今野豊彦、舟窪 浩
    • 学会等名
      第33回強誘電体応用会議 (FMA34)
    • 関連する報告書
      2017 実施状況報告書
  • [学会発表] ナノシート界面層上におけるPZT膜の一軸配向成長2016

    • 著者名/発表者名
      宮崎竜斗, 一ノ瀬大地, 金 鎭雄, 島 宏美, 木口賢紀, 赤間章裕, 西田 謙, 今野豊彦, 舟窪 浩, 内田 寛
    • 学会等名
      日本セラミックス協会電子材料部会 第36回エレクトロセラミックス研究討論会
    • 発表場所
      ユニオンビル(富士通労働会館), 川崎
    • 年月日
      2016-10-13
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書
  • [学会発表] 金属酸化物ナノシート層を利用したBaTiO3薄膜の結晶配向制御2016

    • 著者名/発表者名
      大井智雄, 野口慶人, 茂木翔太, 金 鎭雄, 島 宏美, 西田 謙, 木口賢紀, 赤間章裕, 今野豊彦, 舟窪 浩, 内田 寛
    • 学会等名
      第33回強誘電体応用会議 (FMA33)
    • 発表場所
      コープイン京都、京都
    • 年月日
      2016-05-28
    • 関連する報告書
      2016 実施状況報告書

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公開日: 2016-04-21   更新日: 2020-03-30  

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